提供了一种蒸发源(100)。所述蒸发源包括：蒸气分配组件(130)，所述蒸气分配组件具有多个蒸气喷嘴(131)，用于朝向基板喷出蒸发的源材料(15)；以及遮板装置(120)，所述遮板装置具有至少一个材料收集空腔(313)，用于阻挡从所述多个喷嘴喷出的所述蒸发的源材料。另外，提供了一种用于蒸发源的遮板装置(120)和一种蒸发方法。发方法。发方法。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸发源、遮板装置和蒸发方法
[0001]本公开内容的实施方式涉及用于在真空腔室中的基板上沉积蒸发的源材料、例如蒸发的有机材料的蒸发源。本公开内容的实施方式进一步涉及一种用于蒸发源的遮板装置以及一种蒸发方法。
技术介绍
[0002]蒸发源是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管用于制造电视机屏幕、计算机监视器、移动电话和其他手持式装置以用于显示信息。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器的色彩、亮度和视角的可能范围比传统的LCD显示器的色彩、亮度和视角的可能范围大，因为OLED像素直接地发射光而不要求背光。因此，OLED显示器的能量消耗远低于传统的LCD显示器的能量消耗。另外，OLED可被制造到柔性基板上这一事实产生进一步应用。典型的OLED显示器例如可包括安置在两个电极之间的有机材料层，这些有机材料层全部以形成具有可单独地激励的像素的矩阵显示面板的方式沉积在基板上。OLED一般置于两个玻璃面板之间，并且该玻璃面板的边缘被密封以将OLED封装在其中。
[0003]在制造这样的显示装置时遇到许多挑战。OLED显示器包括若干有机材料堆叠，若干有机材料堆叠典型地在真空腔室中蒸发。蒸发的材料随后以通过阴影掩模的方式沉积。为了高效率地制造OLED堆叠，两种或更多种材料(例如，主体和掺杂剂)共沉积或共蒸发以产生混合/掺杂的层是有益的。
[0004]为了在基板上沉积源材料，加热源材料，直到材料蒸发。蒸发的源材料穿过蒸气分配组件朝向多个蒸气喷嘴引导。蒸发的源材料由多个蒸气喷嘴穿过掩模朝向基板喷出，该掩模包括用于在基板上形成单独像素的多个小开口。
[0005]在各种情况下，停止蒸发的材料从蒸气喷嘴喷出可能是有益的，例如有益于维护蒸发源、用于更换基板或掩模或用于进行品质检查。然而，蒸发源的完全关闭非常耗时，因为在蒸发源内部的温度只能缓慢地变化。由于高材料温度，向蒸发源中添加阻挡阀有挑战性。另外，在蒸发源内部的阻挡阀可能引起蒸气分配组件中不希望的压力变化。另外，常规的遮板增加了蒸发系统的清洁工作并且很快地被源材料污染。
[0006]鉴于以上情况，提供一种允许高正常运行时间并且可快速地进入停止材料喷出的空闲状态的蒸发源将是有益的。另外，提供允许减少维护时间并且确保高沉积品质的蒸发方法将是有益的。
技术实现思路
[0007]鉴于以上内容，公开了一种蒸发源、一种遮板装置以及一种蒸发方法。
[0008]根据本公开内容的第一方面，提供了一种蒸发源。所述蒸发源包括：蒸气分配组件，所述蒸气分配组件具有多个蒸气喷嘴，用于朝向基板喷出蒸发的源材料；以及遮板装置，所述遮板装置具有至少一个材料收集空腔，用于阻挡从所述多个蒸气喷嘴喷出的所述
蒸发的源材料。
[0009]所述遮板装置基本上完全地阻挡从所述多个蒸气喷嘴喷出的所述蒸发的源材料并且可将所述阻挡的源材料收集在所述至少一个材料收集空腔中。所述遮板装置可保持在所述多个蒸气喷嘴前方，使得所述喷出的源材料基本上完全地被阻挡。
[0010]在一些实施方式中，所述遮板装置附接到所述蒸气分配组件。特别地，所述遮板装置可可拆卸地保持在所述蒸气分配组件处、特别是磁性地保持在所述蒸气分配组件处。因此，所述遮板装置可在真空条件下快速地且容易地从所述蒸气分配组件中移除。
[0011]根据本公开内容的第二方面，提供了一种用于阻挡从多个蒸气喷嘴喷出的蒸发的源材料的遮板装置。所述遮板装置包括细长杆元件，其中所述细长杆元件中设置有至少一个材料收集空腔，所述至少一个材料收集空腔由周向侧壁和封闭所述周向侧壁的空腔前壁限定。
[0012]在一些实施方式中，多个材料收集空腔设置在所述细长杆元件中，所述多个材料收集空腔中的每个材料收集空腔由相应周向侧壁和封闭所述周向侧壁的空腔前壁限定。所述多个材料收集空腔可设置成线性阵列。
[0013]根据本公开内容的第三方面，提供了一种蒸发方法。所述蒸发方法包括从真空腔室中的分配组件的多个蒸气喷嘴喷出蒸发的源材料，并且用保持在所述多个蒸气喷嘴前方的遮板装置的至少一个材料收集空腔阻挡由所述多个蒸气喷嘴喷出的所述蒸发的源材料。
[0014]所述遮板装置可磁性地和/或机械地保持在所述蒸气分配组件处。
[0015]特别地，所述遮板装置可以可更换方式保持在所述蒸气分配组件处，使得所述遮板装置可与用于疏通例如用于将所述蒸发的源材料引导到要涂覆的基板上的所述多个蒸气喷嘴的屏蔽处理设备分离。在一些实施方式中，所述遮板装置可由屏蔽装置代替、特别是由成形装置代替。
[0016]所述蒸发方法可进一步包括加热所述遮板装置以清洁所述遮板装置，特别是在所述真空腔室内进行清洁。
[0017]所述蒸发方法可进一步包括在由所述多个蒸气喷嘴喷出的蒸发的源材料被所述遮板装置阻挡并且由邻近所述多个蒸气喷嘴布置的第二多个蒸气喷嘴喷出的另一种蒸发的源材料被疏通时进行校准测量。
[0018]根据本公开内容的第四方面，提供了一种蒸发系统。所述蒸发系统包括：真空腔室；以及根据本文描述的实施方式的蒸发源，所述蒸发源布置在所述真空腔室内。所述蒸发系统进一步包括屏蔽处理设备，所述屏蔽处理设备具有用于保持遮板装置的屏蔽保持器。所述屏蔽处理设备可被配置为从所述蒸发源的蒸气分配组件上拆下所述遮板装置和/或在所述蒸气分配组件处附接另一个遮板装置或成形装置。
[0019]实施方式还涉及用于进行所公开的方法的设备并且包括用于执行每个描述的方法方面的设备部分。这些方法方面可借助于硬件部件、由适当软件编程的计算机、这两者的任何组合或以任何其他方式执行。此外，根据本公开内容的实施方式还涉及用于操作所描述的设备的方法。用于操作所描述的设备的方法包括用于进行该设备的每个功能的方法方面。实施方式还涉及制造所描述的设备和系统的方法。本公开内容的另外的方面、优点和特征从描述和附图中显而易见。
附图说明
[0020]为了可详细地理解本公开内容的上述特征，可参考实施方式来得到以上简要地概述的本公开内容的更特别的描述。附图涉及本公开内容的实施方式并且描述如下：
[0021]图1示出了根据本文描述的实施方式的蒸发源的示意性截面图；
[0022]图2A
‑
2C示出了根据本文描述的实施方式的蒸发方法的后续阶段；
[0023]图3示出了根据本文描述的实施方式的遮板装置的示意性透视图；
[0024]图4示出了根据本文描述的实施方式的遮板装置的示意性透视图；
[0025]图5示出了具有根据本文描述的实施方式的蒸发源的蒸发系统的示意图；并且
[0026]图6是示出根据本文描述的实施方式的蒸发方法的流程图。
具体实施方式
[0027]现将详细地参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例示出于各图中。在以下对附图的描述内，相同的附图标记是指相同的部件。一般来讲，仅描述了相对于单独实施方式的差异。每个本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸发源(100)，包括：蒸气分配组件(130)，所述蒸气分配组件具有多个蒸气喷嘴(131)，用于朝向基板喷出蒸发的源材料(15)；和遮板装置(120)，所述遮板装置具有至少一个材料收集空腔(313)，用于阻挡从所述多个蒸气喷嘴喷出的所述蒸发的源材料。2.如权利要求1所述的蒸发源，其中所述至少一个材料收集空腔(313)由周向侧壁(314)和封闭所述周向侧壁的空腔前壁(315)限定。3.如权利要求1或2所述的蒸发源，其中所述遮板装置包括多个材料收集空腔(313)，每个材料收集空腔被配置为阻挡从所述多个蒸气喷嘴(131)中的相关联蒸气喷嘴喷出的所述蒸发的源材料。4.如权利要求1至3中任一项所述的蒸发源，所述蒸气分配组件包括具有所述多个蒸气喷嘴从中延伸穿过的前壁(133)的蒸气分配管道(132)、特别是基本上在竖直方向上延伸并包括呈彼此堆叠的线性阵列的所述多个蒸气喷嘴的线性蒸气分配管道。5.如权利要求4所述的蒸发源，进一步包括隔离板(134)，所述隔离板由隔热材料制成，布置在所述前壁(133)前方、特别是所述前壁与所述遮板装置之间。6.如权利要求1至5中任一项所述的蒸发源，其中所述遮板装置(120)可拆卸地保持在所述蒸气分配组件(130)处，特别是磁性地保持在所述蒸气分配组件处。7.如权利要求6所述的蒸发源，其中所述蒸气分配组件包括第一磁体元件(135)，特别是铁磁或永磁板，以用于将所述遮板装置(120)磁性地保持在所述第一磁体元件上。8.如权利要求1至7中任一项所述的蒸发源，其中所述多个蒸气喷嘴(131)至少部分地突出到所述至少一个材料收集空腔(313)中、特别是穿过所述隔离板。9.如权利要求1至8中任一项所述的蒸发源，其中所述遮板装置(120)包括细长杆元件，并且所述至少一个材料收集空腔(313)设置为所述细长杆元件中的一个或多个盲孔。10.如权利要求1至9中任一项所述的蒸发源，其中所述遮板装置(120)包括多个单独阻挡单元、特别是具有封闭前侧的管筒，所述多个单独阻挡单元磁性地保持在所述蒸气分配组件处。11.如权利要求1至8中任一项所述的蒸发源，其中所述遮板装置包括在其中形成细长凹陷部的细长杆元件，以用于阻挡从所述多个蒸气喷嘴(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：佩曼，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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