曝光设备及近眼显示设备制造技术

本申请实施例公开了一种曝光设备及近眼显示设备，属于光学技术领域。该曝光设备包括：激光器、光束转换组件、液晶空间光调制器、分束组件、第一反射组件、第二反射组件和耦合组件；激光器用于出射光束；光束转换组件位于液晶空间光调制器的入光侧或者分束组件的出光侧；液晶空间光调制器位于分束组件的入光侧，用于调制入射的光束的波前相位分布，使出射的光束在两个不同方向上存在相位差；第一反射组件位于分束组件的第一出光侧，第二反射组件位于分束组件的第二出光侧；耦合组件用于承载涂覆有光致聚合物材料的全息衍射基板，第一反射组件和第二反射组件出射的光束在涂敷有光致聚合物材料的全息衍射基板上能够形成二维全息衍射光栅。光栅。光栅。

【技术实现步骤摘要】
曝光设备及近眼显示设备


[0001]本申请实施例涉及光学
，特别涉及一种曝光设备及近眼显示设备。

技术介绍

[0002]现代投影显示技术的发展，促进了近眼显示设备的出现。近眼显示设备主要包括投影组件和显示组件。其中，投影组件用于将图像以光束的方式投影到显示组件上，显示组件用于按照投影组件投影的光束在用户的观测范围内呈现一个虚拟的图像。目前，显示组件包括光波导镜片，以及设置于光波导镜片上的一维的第一衍射光栅和第二衍射光栅，第一衍射光栅用于将投影组件投影的光束耦合进入光波导镜片中，光束在光波导镜片中进行全反射之后，再经过第二衍射光栅在同一个方向上进行多次衍射后耦合出光波导镜片。
[0003]由于第二衍射光栅只能在同一个方向上(横向或纵向)进行多次衍射，在该方向上，投影组件的尺寸可以设置的小一些，但在无法进行多次衍射的另一方向上，投影组件的尺寸会比较大，投影组件设计难度大，成本高。因此，为了在减小投影组件的尺寸，进而增大视场角，通常需要通过显示组件对光束在两个方向上进行多次衍射，也即是，第二衍射光栅应该采用二维的衍射光栅。
[0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光设备，其特征在于，所述曝光设备包括：激光器(01)、光束转换组件(02)、液晶空间光调制器(03)、分束组件(04)、第一反射组件(05)、第二反射组件(06)和耦合组件(07)；所述激光器(01)用于出射光束，所述液晶空间光调制器(03)位于所述分束组件(04)的入光侧，所述光束转换组件(02)位于所述液晶空间光调制器(03)的入光侧或者所述分束组件(04)的出光侧，所述液晶空间光调制器(03)用于对入射的光束的波前相位分布进行调制，以使所述液晶空间光调制器(03)出射的光束在两个不同方向上存在相位差，所述光束转换组件(02)用于转换入射光束的偏振方向；所述第一反射组件(05)位于所述分束组件(04)的第一出光侧，所述第二反射组件(06)位于所述分束组件(04)的第二出光侧，所述耦合组件(07)位于所述第一反射组件(05)的出光侧和所述第二反射组件(06)的出光侧的交叠区域，所述耦合组件(07)用于承载涂覆有光致聚合物材料的全息衍射基板(08)，且所述第一反射组件(05)和所述第二反射组件(06)出射的光束在涂敷有所述光致聚合物材料的全息衍射基板(08)上能够形成二维全息衍射光栅。2.如权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述光束转换组件(02)包括第一半波片(021)和偏振分束镜(022)，所述分束组件(04)包括分束镜(041)；所述第一半波片(021)位于所述激光器(01)的出光侧，所述第一半波片(021)用于接收所述激光器(01)出射的光束，并将所述光束转换为S偏振光；所述偏振分束镜(022)位于所述第一半波片(021)的出光侧，且位于所述液晶空间光调制器(03)与所述分束镜(041)之间，所述偏振分束镜(022)的第一出光侧(0221)朝向所述液晶空间光调制器(03)且背向所述分束镜(041)，所述液晶空间光调制器(03)为反射式结构的空间光调制器，且用于对所述S偏振光的波前相位分布进行调制，以使所述S偏振光在两个不同方向上存在相位差，并将所述S偏振光转换为P偏振光；其中，所述偏振分束镜(022)的第一出光侧(0221)为所述偏振分束镜(022)反射的S偏振光的出光侧。3.如权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述光束转换组件(02)包括第一半波片(021)和偏振分束镜(022)，所述分束组件(04)包括分束镜(041)；所述第一半波片(021)位于所述激光器(01)的出光侧，所述第一半波片(021)用于接收所述激光器(01)出射的光束，并将所述光束转换为S偏振光；所述偏振分束镜(022)位于所述第一半波片(021)的出光侧，所述液晶空间光调制器(03)位于所述偏振分束镜(022)的第一出光侧(0221)，所述分束镜(041)位于所述液晶空间光调制器(03)的出光侧，所述液晶空间光调制器(03)为透射式结构的空间光调制器，且用于对所述S偏振光的波前相位分布进行调制，以使所述S偏振光在两个不同方向上存在相位差，并将所述S偏振光转换为P偏振光；其中，所述偏振分束镜(022)的第一出光侧(0221)为所述偏振分束镜(022)反射的S偏振光的出光侧。4.如权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述光束转换组件(02)包括第一半波片(021)和偏振分束镜(022)，所述分束组件(04)包括分束镜(041)；所述第一半波片(021)位于所述激光器(01)的出光侧，所述第一半波片(021)用于接收
所述激光器(01)出射的光束，并将所述光束转换为P偏振光；所述偏振分束镜(022)位于所述第一半波片(021)的出光侧，所述液晶空间光调制器(03)位于所述偏振分束镜(022)的第二出光侧(0222)，所述分束镜(041)位于所述液晶空间光调制器(03)的出光侧，所述液晶空间光调制器(03)为透射式结构的空间光调制器，且用于对所述P偏振光的波前相位分布进行调制，以使所述P偏振光在两个不同方向上存在相位差，并将所述P偏振光转换为S偏振光；其中，所述偏振分束镜(022)的第二出光侧(0222)为所述偏振分束镜(022)透射的P偏振光的出光侧。5.如权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述分束组件(4)包括偏振分束镜(042)，所述光束转换组件(02)包括第二半波片(023)；所述偏振分束镜(042)位于所述液晶空间光调制器(03)的出光侧，所述液晶空间光调制器(03)为透射式结构的空间光调制器，所述液晶空间光调制器(03)用于接收所述激光...

【专利技术属性】
技术研发人员：江丽，于超，蔡宏，毛慧，浦世亮，
申请(专利权)人：杭州海康威视数字技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：