填充塔制造技术

公开一种填充塔。所述用于处理来自消减装置的包括流体和颗粒的流出物流的填充塔包括：填充塔壳体，所述填充塔壳体具有：用于接收流出物流的入口；用于排出流出物流的出口；在所述入口与所述出口之间容纳在所述填充塔壳体内的填充基材，所述填充基材被配置成当流出物流从中流过时从所述流体带走所述颗粒中的至少一些；以及容纳在所述填充塔壳体内的风扇，所述风扇被配置成从入口朝向出口推进流出物流，并且从所述流体去除所述颗粒中的至少一些。以此方式，所述风扇帮助产生负压以将流出物流抽吸到填充塔中并通过填充基材，这减小由例如提供流出物流的半导体加工工具经历的背压，改善流出物流通过填充塔和上游消减装置的流动，并且帮助改善颗粒从流出物流内的去除。并且帮助改善颗粒从流出物流内的去除。并且帮助改善颗粒从流出物流内的去除。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】填充塔


[0001]本专利技术的
涉及一种填充塔（packed tower）。

技术介绍

[0002]已知消减处理装置。此类装置用于处理来自例如在半导体或平板显示器制造行业中使用的制造加工工具的流出物气流。在这种制造期间，热消减室通常产生固体颗粒和气态副产物，这些固体颗粒和气态副产物是由在所述室内发生的过程产生的。例如，当硅烷燃烧时，产生大量二氧化硅（SiO2）颗粒。同样，当减少六氟化钨（WF6）时，除气态氟化氢（HF）以外，还产生大量固体氧化钨颗粒。
[0003]在流出物气流排出到大气中之前，对其进行处理以从其去除选定气体和固体颗粒。通常使用填充塔洗涤器从流出物气流去除诸如HF和HCl等酸性气体，其中所述酸性气体通过流过所述洗涤器的洗涤液体而带到溶液中。另外，颗粒可以通过填充塔洗涤器内的洗涤液体被带到悬浮液中。
[0004]虽然此类填充塔提供对流出物气流的处理，但是其具有许多缺点。因此，期望提供一种经改进填充塔。
[0005]从GB2528444B2还已知在高程上在填充塔下方提供径向风扇以在流出物气流进入填充塔之前从其去除颗粒。

技术实现思路

[0006]根据第一方面，提供一种用于处理来自消减装置的包括流体和颗粒的流出物流的填充塔，所述填充塔包括：填充塔壳体，所述填充塔壳体具有：用于接收流出物流的入口；用于排出流出物流的出口；在所述入口与所述出口之间容纳在填充塔壳体内的填充基材，所述填充基材被配置成当流出物流从中流过时从所述流体中带走颗粒中的至少一些；以及容纳在填充塔壳体内的风扇，所述风扇被配置成从入口朝向出口推进流出物流并且从所述流体去除颗粒中的至少一些。
[0007]所述第一方面认识到，现有填充塔的问题在于其性能是次佳的。因此，提供一种填充塔。所述填充塔可以处理或加工流出物流。所述流出物流可以包括流体（例如气体）以及颗粒或固体微粒物质。所述流出物流可以由消减装置提供。所述填充塔可以包括填充塔壳体或室。所述壳体可以具有接收流出物流的入口。所述壳体可以具有排出、提供或输出流出物流的出口。所述壳体可以包括填充基材。所述填充基材可以位于入口与出口之间。所述填充基材可以在流出物流流过所述填充基材时带走或捕获流出物流内的颗粒。所述壳体可以包括位于所述壳体内的风扇。所述风扇可以在入口与出口之间推进、输送或推动流出物流通过填充基材，并且从流出物流的流体去除或分离颗粒中的至少一些。以此方式，所述风扇帮助产生负压以将流出物流抽吸到填充塔中并通过填充基材，这减小由例如提供流出物流的半导体加工工具经历的背压，改善流出物流通过填充塔和上游消减装置的流动，并且帮助改善颗粒从流出物流内的去除。
[0008]在一个实施例中，所述风扇包括组合质量流和离心分离器风扇。
[0009]在一个实施例中，所述风扇被配置成产生原动力以引发流出物流从入口到出口的流动。
[0010]在一个实施例中，所述风扇被配置成在入口与出口之间产生压力差以引发流出物流从入口到出口的流动。
[0011]在一个实施例中，所述风扇包括具有离心叶轮的轴向离心风扇。
[0012]在一个实施例中，所述离心叶轮被配置成从所述流体去除颗粒中的至少一些。因此，所述离心叶轮可以帮助从流出物流的流体去除或分离颗粒中的一些。
[0013]在一个实施例中，所述离心叶轮与流出物流从入口到出口的主要流动方向轴向对准。因此，在大致圆柱形填充塔中，所述叶轮可以在填充塔内沿周向旋转。
[0014]在一个实施例中，所述离心叶轮被配置成沿着流出物流从入口到出口的主要流动方向推进流出物流，并且在横向于所述主要流动方向的引导器中推进颗粒。因此，对于大致圆柱形填充塔，所述叶轮可以沿着填充塔的主圆柱形轴线输送流出物流，并且朝向圆柱形壁沿大致径向方向输送颗粒。
[0015]在一个实施例中，所述风扇限定被配置成朝向出口输送流出物流的至少一个轴向开口。因此，所述风扇可以设置有一个或多个开口以提供从入口到出口的流体路径。
[0016]在一个实施例中，所述风扇包括限定所述至少一个轴向开口的环形环。
[0017]在一个实施例中，所述风扇被机械地和/或电磁地和/或流体地驱动。
[0018]在一个实施例中，所述风扇包括布置在其上沿周向定位的磁体，并且填充塔包括位于填充塔壳体上的对应沿周向定位的驱动器线圈。因此，所述风扇可以作为马达被驱动，其中定子部件由填充塔上的线圈提供，并且转子部件由风扇上的磁体提供。
[0019]在一个实施例中，所述沿周向定位的驱动器线圈位于填充塔壳体的外表面上。
[0020]在一个实施例中，所述风扇包括被配置成输送塔流体的至少一个孔口，通过从所述至少一个孔口输送塔流体产生的力致使风扇旋转。因此，可以使用由风扇自身喷射的流体来使风扇旋转。
[0021]在一个实施例中，填充塔包括被配置成朝向风扇输送塔流体的至少一个孔口，通过由风扇接收塔流体产生的力致使风扇旋转。因此，可以使用被引导到风扇的流体来使风扇旋转。
[0022]在一个实施例中，填充塔壳体包括与风扇联接并且被配置成致使风扇旋转的轴。因此，可以由马达制成机械联接以使风扇旋转。
[0023]在一个实施例中，填充塔壳体包括被配置成集中流出物流朝向风扇的流动的会聚结构。因此，所述会聚或圆锥形结构可以引导和增加流出物流朝向风扇的流率。
[0024]在一个实施例中，填充塔壳体包括被配置成阻止流出物流朝向入口的流动的流体捕集器结构。所述流体捕集器结构提供背压，所述背压阻止流出物流的流动，并且反而促进朝向出口的流动。所述流体捕集器可以形成在所述圆锥形结构的外表面上。
[0025]在一个实施例中，所述会聚结构包括被配置成集中流出物流朝向风扇的中心的流动的圆锥形结构。
[0026]在一个实施例中，所述会聚结构定位在风扇的上游和入口的下游。
[0027]在一个实施例中，填充塔壳体包括被配置成接收来自风扇的流出物流的至少一个
气旋分离器。
[0028]在一个实施例中，所述至少一个气旋分离器定位在风扇的下游和出口的上游。
[0029]在一个实施例中，填充塔壳体包括被配置成用塔流体喷洒风扇的至少一个喷洒喷嘴。
[0030]在所附独立权利要求和从属权利要求中阐述另外特定且优选方面。从属权利要求的特征可以视情况并且以除权利要求中明确阐述的那些组合以外的组合与独立权利要求的特征组合。
[0031]在一装置特征被描述为可操作以提供一功能的情况下，将了解，这包括提供所述功能或者被适于或配置成提供所述功能的装置特征。
附图说明
[0032]现在将参考附图进一步描述本专利技术的实施例，其中：图1是根据一个实施例的并入风扇的填充塔的一部分的示意图；图2是风扇的下侧的示意图；图3是风扇的示意性立体图。
具体实施方式
[0033]在论述实施例之前，将首先提供概述。实施例提供一种具有风扇的填充塔装置，所述风扇促进进入的流出物流的流动，并且帮助从流出物流去除颗粒。这帮助减本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1. 一种用于处理来自消减装置的包括流体和颗粒的流出物流的填充塔，所述填充塔包括：填充塔壳体，所述填充塔壳体具有用于接收所述流出物流的入口；用于排出所述流出物流的出口；在所述入口与所述出口之间容纳在所述填充塔壳体内的填充基材，所述填充基材被配置成当所述流出物流从中流过时从所述流体带走所述颗粒中的至少一些；以及容纳在所述填充塔壳体内的风扇，所述风扇被配置成从所述入口朝向所述出口推进所述流出物流并且从所述流体去除所述颗粒中的至少一些。2.根据权利要求1所述的填充塔，其中所述风扇被配置成产生原动力以引发所述流出物流从所述入口到所述出口的流动。3.根据权利要求1或2所述的填充塔，其中所述风扇包括具有离心叶轮的轴向离心风扇，优选地其中所述离心叶轮被配置成从所述流体去除所述颗粒中的至少一些。4.根据权利要求3所述的填充塔，其中所述离心叶轮与所述流出物流从所述入口到所述出口的主要流动方向轴向对准。5.根据权利要求3或4中的任何一项权利要求所述的填充塔，其中所述离心叶轮被配置成沿着所述流出物流从所述入口到所述出口的所述主要流动方向推进所述流出物流，并且在横向于所述主要流动方向的引导器中推进所述颗粒。6.根据任何前述权利要求所述的填充塔，其中所述风扇限定被配置成朝向所述出口输送所述流出物流的至少一个轴向开口，优选地其中所述风扇包括限定所述至少一个轴向开口的环形环。7.根据任何前述权利要求所述的填充塔，其中所述风扇是机械驱动、电磁驱动和流体驱动的中的至少一者，和/或其中所述风...

【专利技术属性】
技术研发人员：D，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：