原料供给装置和原料供给方法制造方法及图纸

本发明专利技术的一个方式的原料供给装置包括：容器，其用于贮存使第一固体原料溶解于溶剂而得到的溶液或使第一固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其用于将所述溶液或所述分散体系进行喷雾而注入到所述容器内；排气口，其用于对所述容器内进行排气；加热部，其用于对通过从所述溶液或分散体系除去所述溶剂或所述分散介质而形成的第二固体原料进行加热；和设置在所述容器内的所述注入部与所述排气口之间的堆积部，其用于使所述第二固体原料堆积。料堆积。料堆积。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】原料供给装置和原料供给方法


[0001]本专利技术涉及原料供给装置和原料供给方法。

技术介绍

[0002]已知有如下技术：将固体原料溶解在溶剂中并喷雾喷射到处理室内之后，对处理室内进行加热将溶剂除去使固体原料留下，接着，对处理室内进行加热使固体原料升华，生成相应的气体(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2004
‑
115831号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]本专利技术提供能够提高处理装置的运转率的技术。
[0008]用于解决技术问题的手段
[0009]本专利技术的一个方式的原料供给装置包括：容器，其用于贮存使第一固体原料溶解于溶剂而得到的溶液或使第一固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其用于将所述溶液或所述分散体系进行喷雾而注入到所述容器内；排气口，其用于对所述容器内进行排气；加热部，其用于对通过从所述溶液或所述分散体系除去所述溶剂或所述分散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种原料供给装置，其特征在于，包括：容器，其用于贮存使第一固体原料溶解于溶剂而得到的溶液或使第一固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其用于将所述溶液或所述分散体系进行喷雾而注入到所述容器内；排气口，其用于对所述容器内进行排气；加热部，其用于对通过从所述溶液或所述分散体系除去所述溶剂或所述分散介质而形成的第二固体原料进行加热；和设置在所述容器内的所述注入部与所述排气口之间的堆积部，其用于使所述第二固体原料堆积。2.如权利要求1所述的原料供给装置，其特征在于：所述堆积部将所述容器内划分为：包含所述注入部的区域；和包含所述排气口的区域。3.如权利要求1或2所述的原料供给装置，其特征在于：所述堆积部由多孔性材料形成。4.如权利要求1～3中任一项所述的原料供给装置，其特征在于：所述注入部能够在所述溶液或所述分散体系到达所述堆积部之前使所述溶剂或所述分散介质气化。5.如权利要求1～4中任一项所述的原料供给装置，其特征在于：所述排气口能够与处理装置连接，该处理装置能够使用所述第二固体原料被加热而升华得到的反应性气体进行处理。6.如权利要求1～5中任一项所述的原料供给装置，其特征在于：所述排气口能够与用于对所述容器内进行排气的排气装置连接。7.一种原料供给装置，其特征在于，包括：容器，其用于贮存使第一固体原料分散于分散介质而得到的分散体系；注入部，其用于将所述分散体系进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈部庸之，小森荣一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：