用于电子元件的测试装置及测试系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于电子元件的测试装置及测试系统，该测试装置装设于机架上，机架具有下端板，测试装置包括压头组件、和载物座和力平衡支架。压头组件设有流道，冷媒在流道内与压头组件发生热交换。载物座装设于下端板，且载物座用于放置电子元件，压头组件能够朝向载物座移动以压接电子元件，或者，压头组件能够远离载物座移动。本实用新型专利技术提供的用于电子元件的测试装置及测试系统，解决了现有的测试装置无法在低温条件下或者高温条件下测试电子元件的性能的问题。试电子元件的性能的问题。试电子元件的性能的问题。

【技术实现步骤摘要】
用于电子元件的测试装置及测试系统


[0001]本技术涉及芯片制造
，特别是涉及一种用于电子元件的测试装置及测试系统。

技术介绍

[0002]用于测试芯片的测试装置通常装设于机架上，机架具有上端板和下端板，待测试的芯片放置于机架的下端板上。测试装置包括压头组件和载物座。载物座装设于下端板，且载物座用于放置芯片或者其他电子元件，压头组件能够朝向载物座移动以压接芯片。但是现有的测试装置无法在低温条件下或者高温条件下测试芯片的性能。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，有必要提供一种用于电子元件的测试装置及测试系统，解决现有的测试装置无法在低温条件下或者高温条件下测试电子元件的性能的问题。
[0004]本技术提供一种用于电子元件的测试装置，该测试装置装设于机架上，机架具有下端板，测试装置包括压头组件和载物座。压头组件设有流道，冷媒在流道内与压头组件发生热交换。载物座装设于下端板，且载物座用于放置电子元件，压头组件能够朝向载物座移动以压接电子元件，或者，压头组件能够远离载物座移动。
[0005]于本技术的一实施例中，压头组件包括动力组件和压接组件，压接组件包括控温组件和测试头，流道设于控温组件内，且控温组件能够提供恒定的热源，测试头能够传导控温组件产生的热量。控温组件可移动地连接动力组件，测试头设于控温组件远离动力组件的一端，动力组件能够驱动控温组件朝向或者远离载物座移动，以使测试头压接或者远离电子元件。
[0006]于本技术的一实施例中，测试装置还包括力平衡支架，力平衡支架与载物座配合，力平衡支架能够钩住载物座并对载物座施加远离下端板的作用力。
[0007]于本技术的一实施例中，力平衡支架连接压头组件，当压头组件朝向载物座压接电子元件时，力平衡支架能够朝向远离载物座的方向移动并钩住载物座，以对载物座施加远离下端板的作用力。
[0008]于本技术的一实施例中，力平衡支架通过中间件连接压头组件，当压头组件朝向载物座压接电子元件时，压头组件能够驱动中间件连接力平衡支架的一端朝向远离载物座的方向移动，以使力平衡支架能够朝向远离载物座的方向移动并对载物座施加远离下端板的作用力。
[0009]于本技术的一实施例中，压头组件包括动力组件和压接组件，压接组件可移动地连接于动力组件，动力组件能够驱动压接组件朝向或者远离载物座移动，以压接或者远离电子元件，力平衡支架固定连接动力组件，当压接组件抵接于电子元件时，压接组件能够反向推动动力组件朝向远离下端板的方向移动，且力平衡支架能够钩住载物座并对载物座施加远离下端板的作用力。
[0010]于本技术的一实施例中，动力组件包括驱动气缸，驱动气缸包括缸体和活塞，活塞一端可活动地连接缸体，另一端连接压接组件，驱动气缸能够通过活塞驱动压接组件移动。
[0011]于本技术的一实施例中，力平衡支架设有第一抵推部，载物座设有与第一抵推部相配合的第二抵推部。第一抵推部设于第二抵推部靠近下端板的一侧，当动力组件带动力平衡支架朝向远离下端板的方向移动时，第一抵推部能够止挡于第二抵推部并对第二抵推部施加远离下端板的作用力。
[0012]于本技术的一实施例中，载物座具有主座体，主座体装设于下端板，且主座体远离下端板一端的边缘朝向力平衡支架延伸形成第二抵推部，主座体与第二抵推部连接形成第二钩状结构。力平衡支架具有支架主体，支架主体一端可拆卸连接于压头组件，另一端朝向主座体延伸形成第一抵推部，支架主体与第一抵推部连接形成第一钩状结构。当压头组件带动力平衡支架朝向远离下端板的方向移动时，第一钩状结构能够卡接于第二钩状结构并对第二钩状结构施加远离下端板的作用力。
[0013]于本技术的一实施例中，载物座具有主座体，主座体装设于下端板，且主座体远离下端板一端的边缘朝向力平衡支架延伸形成第二抵推部，且第二抵推部设有穿孔。力平衡支架具有支架主体，支架主体一端可拆卸连接于压头组件，另一端可活动地穿设于穿孔，且支架主体远离压头组件的一端边缘部分朝向主座体延伸形成第一抵推部，第一抵推部可拆卸连接于支架主体，第一抵推部能够止挡于第二抵推部靠近下端板的一侧。
[0014]于本技术的一实施例中，机架还包括与下端板固定连接的上端板，力平衡支架固定连接上端板，力平衡支架能够钩住载物座并对载物座施加远离下端板的作用力。
[0015]于本技术的一实施例中，压头组件包括动力组件和压接组件，压接组件可移动地连接于动力组件，动力组件能够驱动压接组件朝向或者远离载物座移动，以压接或者远离电子元件，测试装置还包括导向组件，导向组件相对上端板固定设置，导向组件设有导向轴，导向轴依次穿设于动力组件和压接组件，以使动力组件和压接组件沿着导向轴移动。
[0016]本技术还提供一种测试系统，测试系统包括机架和以上任意一个实施例所述的测试装置，机架上设有多个测试装置，且多个测试装置均装设于机架的下端板上。
[0017]本技术提供的用于电子元件的测试装置及测试系统，由于压头组件设有能够流通冷媒的流道，当温度较高的气态冷媒进入流道时，气态冷媒在流道内从气态凝结为液态冷媒并释放大量的热量，从而提高电子元件的环境温度，使得电子元件能够在高温条件下进行测试。而当温度较低的液态冷媒进入流道时，液态冷媒在流道内吸收大量的热量，从而降低电子元件的环境温度，使得电子元件能够在低温条件下进行测试。从而解决了现有的测试装置无法在低温条件下或者高温条件下测试电子元件的性能的问题。
附图说明
[0018]图1为本技术一实施例的测试装置的结构示意图；
[0019]图2为本技术一实施例的测试系统的状态图一；
[0020]图3为本技术一实施例的测试系统的状态图二；
[0021]图4为本技术一实施例的测试系统的状态图三；
[0022]图5为本技术一实施例的动力组件的结构示意图；
[0023]图6为本技术一实施例的测试装置的受力简图；
[0024]图7为本技术另一实施例的测试装置的受力简图；
[0025]图8为本技术一实施例的压接组件的结构示意图；
[0026]图9为本技术一实施例的导向组件的结构示意图。
[0027]附图标记：1、上端板；2、下端板；3、电子元件；4、载物座；41、主座体；42、第二抵推部；5、力平衡支架；51、支架主体；52、第一抵推部；53、第一支架；54、第二支架；6、压头组件；61、压接组件；611、第二安装支架；612、控温组件；613、测试头；614、第二挡片；62、动力组件；621、缸体；622、活塞；623、第一安装支架；624、第一挡片；625、第一进气口；626、第二进气口；7、导向组件；71、导向轴；72、第一凸起；73、第一限位件；74、第二凸起；75、第二限位件。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子元件(3)的测试装置，所述测试装置装设于机架上，机架具有下端板(2)，其特征在于，包括压头组件(6)和载物座(4)，所述压头组件(6)设有流道，冷媒在所述流道内与所述压头组件(6)发生热交换；所述载物座(4)装设于下端板(2)，且所述载物座(4)用于放置电子元件(3)，所述压头组件(6)能够朝向所述载物座(4)移动以压接电子元件(3)，或者，所述压头组件(6)能够远离所述载物座(4)移动。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述压头组件(6)包括动力组件(62)和压接组件(61)，所述压接组件(61)包括控温组件(612)和测试头(613)，所述流道设于所述控温组件(612)内，且所述控温组件(612)能够提供恒定的热源，所述测试头(613)能够传导所述控温组件(612)产生的热量；所述控温组件(612)可移动地连接所述动力组件(62)，所述测试头(613)设于所述控温组件(612)远离所述动力组件(62)的一端，所述动力组件(62)能够驱动所述控温组件(612)朝向或者远离所述载物座(4)移动，以使所述测试头(613)压接或者远离电子元件(3)。3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还包括力平衡支架(5)，所述力平衡支架(5)与所述载物座(4)配合，所述力平衡支架(5)能够钩住所述载物座(4)并对所述载物座(4)施加远离下端板(2)的作用力。4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述力平衡支架(5)连接所述压头组件(6)，当所述压头组件(6)朝向所述载物座(4)压接电子元件(3)时，所述力平衡支架(5)能够朝向远离所述载物座(4)的方向移动并钩住所述载物座(4)，以对所述载物座(4)施加远离下端板(2)的作用力。5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述力平衡支架(5)通过中间件连接所述压头组件(6)，当所述压头组件(6)朝向所述载物座(4)压接电子元件(3)时，所述压头组件(6)能够驱动所述中间件连接所述力平衡支架(5)的一端朝向远离所述载物座(4)的方向移动，以使所述力平衡支架(5)能够朝向远离所述载物座(4)的方向移动并对所述载物座(4)施加远离下端板(2)的作用力。6.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述压头组件(6)包括动力组件(62)和压接组件(61)，所述压接组件(61)可移动地连接于所述动力组件(62)，所述动力组件(62)能够驱动所述压接组件(61)朝向或者远离所述载物座(4)移动，以压接或者远离电子元件(3)，所述力平衡支架(5)固定连接所述动力组件(62)，当所述压接组件(61)抵接于电子元件(3)时，所述压接组件(61)能够反向推动所述动力组件(62)朝向远离下端板(2)的方向移动，且所述力平衡支架(5)能够钩住所述载物座(4)并对所述载物座(4)施加远离下端板(2)的作用力。7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述动力组件(62)包括驱动气缸，所述驱动气缸包括缸体(621)和活塞(622)，所述活塞(622)一端可活动地连接所述缸体(621)，另一端连接压接组件(61)，所述驱动气缸能够通过所述活塞(622)驱动所述压接组件(61)移动。8.根据权利要求6...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐铭阳，胡冲，鲍军其，王昭敦，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：