一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计制造技术

本发明专利技术涉及一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计，包括真空密封件和两个TO部件；真空密封件包括一两端开口的密封腔体；两个TO部件对称封装于密封腔体的两端；每一TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；该表头模组采用两个对称封装于密封腔体的两端的TO部件，形成差分模式结构，环境适应性好，全温范围内精度高；加速度计由四组独立的表头模组，通过冗余配置布局集成，相比安装三轴独立的加速度计，该方案质量和体积小，结构紧凑、精度和可靠性更高。性更高。性更高。

【技术实现步骤摘要】
一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计


[0001]本专利技术涉及石英谐振梁加速度计
，具体涉及一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计。

技术介绍

[0002]石英谐振梁加速度计是一种利用谐振式测量原理，将被测加速度转换成石英谐振梁固有频率变化的传感器，因其具有大量程、高精度、小体积、低功耗、数字输出等优势，可广泛用于导弹姿态控制、惯性导航，地球资源勘探等领域，有着重要的军用价值和民用价值。
[0003]目前，石英谐振梁加速度计的核心敏感元件是谐振梁芯片，其工作原理是：基于单晶石英的逆压电效应，谐振梁工作在谐振状态，利用谐振梁芯片的微杠杆结构将作用在芯片质量块上的惯性力转换为谐振梁的轴向力，谐振梁轴向力的变化引起其谐振频率发生变化，通过检测谐振频率变化值，以此来感测外界惯性力。谐振梁芯片必须工作在真空环境下，采用真空密封件气密封装后，工作在开环状态，工作时环境温度对零偏影响较大。而且其配合的振荡电路一般装配在真空密封件之外，也会受环境影响产生较大的相位漂移。另外，真空密封件在长期工作中会释放杂气，腔内真空环境的变化引起谐振梁芯片工作特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，包括真空密封件和两个TO部件；所述真空密封件包括一两端开口的密封腔体；两个所述TO部件对称封装于所述密封腔体的两端；每一所述TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；所述TO底座上形成有一端开口的容置腔，所述插针连接于所述TO底座上并伸入所述容置腔，所述陶瓷柱安装于所述插针外侧以保证插针和所述TO底座的绝缘，所述ASIC混合集成电路安装于所述陶瓷柱的端面，所述谐振梁芯片连接于插针的端部，且所述ASIC混合集成电路位于所述谐振梁芯片和所述容置腔的底面之间，所述吸气剂组件安装于所述TO底座且固定连接于所述ASIC混合集成电路远离所述谐振梁芯片的一侧，所述吸气剂挡板安装于所述TO底座的容置腔开口处，所述吸气剂组件和所述ASIC混合集成电路分别位于所述吸气剂挡板的两侧；两个所述TO部件具有谐振梁芯片的一端相对设置。2.根据权利要求1所述的单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，每一所述吸气剂组件包括吸气剂、两个吸气剂引线、两个引线焊盘、两个吸气剂陶瓷柱和两个吸气剂插针，两个所述吸气剂引线分别连接于所述吸气剂的两端，所述吸气剂插针间隔安装于所述TO底座并一端伸入所述容置腔，所述吸气剂陶瓷柱安装于所述吸气剂插针外侧以保证吸气剂插针和所述TO底座的绝缘，两个吸气剂引线分别通过两个所述引线焊盘连接在两个吸气剂插针的端部。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文明，马东，曲天良，冷悦，张红波，宣扬，尹业宏，余文毅，张子康，马晓，
申请(专利权)人：华中光电技术研究所中国船舶重工集团公司第七一七研究所，
类型：发明
国别省市：