用于双面冷却模块的电流检测和垫块一体式电流传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种用于双面冷却模块的电流检测和垫块一体式电流传感器，包括以AlN陶瓷为骨架的罗氏线圈，所述罗氏线圈包括顶层、中层、底层，及中间垫块，中间垫块为Cu

【技术实现步骤摘要】
用于双面冷却模块的电流检测和垫块一体式电流传感器


[0001]本专利技术涉及一种电流传感器，具体涉及一种用于双面冷却模块的电流检测和垫块一体式电流传感器。

技术介绍

[0002]双面冷却模块具有低寄生电感，高散热效率的优点，成为车用功率模块的发展趋势。为对双面冷却模块内部的半导体芯片进行有效的保护，需对内部芯片进行实时准确的电流检测。
[0003]目前市面上常用的与模块集成的电流检测装置，例如霍尔电流传感器和电流互感器，以感知电力设备的输出电流，然而，这两种类型的电流传感器都有笨重和笨重的磁性芯，很难集成到双面冷却模块中。分流电阻器是集成在SiIPMs中最流行的电流传感器之一，但是，由于寄生电感和皮肤效应，其带宽通常不能达到碳化硅、氮化镓器件的要求。
[0004]因此，急需找到一种电流检测装置，可以集成到双面冷却模块内部，并可以满足碳化硅等器件高带宽电流检测的要求。
[0005]罗氏线圈具有体积小，不需要磁芯的优点。但目前已有的罗氏线圈传感器通常以橡胶等软材料为骨架，这会造成测量位置和测量角度不固定的问题，同时也会造成线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于双面冷却模块的电流检测和垫块一体式电流传感器，其特征在于，包括以AlN陶瓷(101)为骨架的罗氏线圈，所述罗氏线圈包括顶层、中层、底层及中间垫块(106)，中间垫块(106)为Cu
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Mo
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Cu合金结构。2.根据权利要求1所述的用于双面冷却模块的电流检测和垫块一体式电流传感器，其特征在于，所述罗氏线圈通过在AlN陶瓷(101)上覆铜及打孔得到。3.根据权利要求1所述的用于双面冷却模块的电流检测和垫块一体式电流传感器，其特征在于，顶层还包括第一输出信号引出端(104)、第二输出信号引出端(105)、顶层圆形通孔(102)及顶部鱼骨图案铜线(103)；中间层包括中间层接地回路(108)及中层圆形通孔(107)；底层包括底部布线(110)以及底层圆形通孔(109)；顶部鱼骨图案铜线(103)、中间层接地回...

【专利技术属性】
技术研发人员：王来利，朱梦宇，杨奉涛，郭伟力，杨成子，伍敏，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：