半导体工艺设备中传输系统的控制方法和半导体工艺设备技术方案

本发明专利技术实施例提供了一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法和半导体工艺设备，应用于半导体装备技术领域，该方法包括：获取机械手当前时刻的位置坐标，以及各工位的干涉区域坐标，分别判断位置坐标是否与各工位的干涉区域坐标重叠，对于干涉区域坐标与位置坐标重叠的工位，向半导体工艺设备中的控制主机发送与该工位对应的互锁启动信号，禁止该工位的运动机构动作。当机械手故障时，无需停止与机械手相关的所有运动机构，可以避免降低半导体工艺设备的生产效率。设备的生产效率。设备的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
半导体工艺设备中传输系统的控制方法和半导体工艺设备


[0001]本专利技术涉及半导体装备
，特别是涉及一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法和半导体工艺设备。

技术介绍

[0002]半导体工艺设备中的传输系统通常包括一个或多个机械手，以及与机械手对应的多个工位。机械手可以在多个工位之间传输晶圆(Wafer)或晶圆盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)等物件。工位包括运动机构，通过控制运动机构动作，可以调整工位中物件的位置和状态，运动机构例如气缸和升降舵(Elevator)等升降机构。
[0003]为了避免机械手与工位中的物体发生碰撞，控制主机只能在机械手位于特定位置(如HOME位置)时，控制工位的运动机构动作。在先技术中，机械手的控制器在控制机械手完成某个动作时，会向控制主机发送通知信息，控制主机可以根据通知信息间接确定机械手的位置。该方法一定程度上可以避免机械手与工位中的物体发生碰撞，但是当通知信息错误或者机械手故障时，机械手的位置无法确定，需要停止与机械手相关的所有工位中的运动机构，会降低半导体工艺设备的生产效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例所要解决的技术问题是当控制器发送的通知信息错误或机械手故障时，会降低半导体工艺设备的生产效率的问题。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术实施例第一方面公开了一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法，所述传输系统包括机械手，以及与所述机械手对应的多个工位，所述工位包括运动机构；所述控制方法应用于所述机械手的控制器，包括：
[0006]获取所述机械手当前时刻的位置坐标，以及各所述工位的干涉区域坐标；所述工位的干涉区域坐标对应所述工位的运动机构的活动范围；
[0007]分别判断所述位置坐标是否与各所述工位的干涉区域坐标重叠；
[0008]对于所述干涉区域坐标与所述位置坐标重叠的工位，向所述半导体工艺设备控制主机发送与该工位对应的互锁启动信号，禁止该工位的运动机构动作。
[0009]本专利技术实施例第二方面公开了另一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法，所述传输系统包括机械手，以及与所述机械手对应的多个工位，所述工位包括运动机构；所述控制方法应用于所述半导体工艺设备中的控制主机，包括：
[0010]在接收到所述机械手的控制器发送的与一个或多个所述工位对应的互锁启动信号的情况下，禁止该一个或多个所述工位的运动机构动作；
[0011]其中，该互锁启动信号对应的所述工位为所述控制器在获取所述机械手当前时刻的位置坐标和各所述工位的干涉区域坐标之后，从多个所述工位中确定的干涉区域坐标与所述位置坐标重叠的工位。
[0012]本专利技术实施例第三方面公开了一种半导体工艺设备，包括传输系统，所述传输系
统包括机械手，以及与所述机械手对应的多个工位，所述工位包括运动机构；所述半导体工艺设备还包括控制主机和所述机械手的控制器；所述控制器被配置为执行如第一方面所述的方法，所述控制主机被配置为执行如第二方面所述的方法。
[0013]本专利技术包括以下优点：在本专利技术实施例中，会获取机械手当前时刻的位置坐标，以及各工位的干涉区域坐标，并分别判断位置坐标是否与各工位的干涉区域坐标重叠，对于干涉区域坐标与位置坐标重叠的工位，向半导体工艺设备中的控制主机发送与该工位对应的互锁启动信号，禁止该工位的运动机构动作。如此，本专利技术实施例可以通过对比机械手的位置坐标与工位的干涉区域坐标，确定机械手是否进入工位的运动机构的活动范围，在确定机械手进入工位的运动机构的活动范围时，使控制主机仅禁止这些工位中的运动机构动作，可以避免机械手与工位这些中的物体碰撞。因此，当机械手故障或通知信息错误时，无需停止与机械手相关的所有工位中的运动机构，可以避免降低半导体工艺设备的生产效率。
附图说明
[0014]图1示出了本实施例提供的一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法实施例的步骤流程图；
[0015]图2示出了本实施例提供的一种半导体工艺设备的结构示意图；
[0016]图3示出了本实施例提供的一种机械手的坐标示意图；
[0017]图4示出了本实施例提供的一种目标工位确定流程示意图；
[0018]图5示出了本实施例提供的一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法实施例的步骤流程图。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术实施例作进一步详细的说明。
[0020]参照图1，示出了本实施例提供的一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法实施例的步骤流程图，该方法可以包括如下步骤：
[0021]步骤101、获取机械手当前时刻的位置坐标，以及各工位的干涉区域坐标。
[0022]其中，工位的干涉区域坐标对应工位的运动机构的活动范围。
[0023]本实施例中，半导体工艺设备中的传输系统包括机械手，以及与机械手对应的多个工位，工位包括运动机构；控制方法应用于机械手的控制器。控制器与机械手的驱动机构连接，可以向驱动机构发送控制指令，控制机械手动作，使机械手在半导体工艺设备中的多个工位之间传递晶圆或晶圆盒等物件。如图2所示，图2示出了本实施例提供的一种半导体工艺设备的结构示意图，半导体工艺设备中包括工位A、工位B、工位C、工位D和工位E，以及第一机械手201和第二机械手202，第一机械手201用于将工位A和工位B中的物件传递至工位C和工位D，第二机械手202用于将工位C和工位D中的物件传递至工位E。以立式炉为例，工位A和工位B可以是装载端口(Loadport)，工位C和工位D可以是设备前端模块(Equipment Front End Module，EFEM)中的传片工位，工位E中设置有晶舟。装载端口用于放置装载晶圆的晶圆盒，晶圆盒内可以容纳多个晶圆。第一机械手201可以从工位A和工位B抓取晶圆盒，
然后将抓取的晶圆盒放入工位C或工位D，第二机械手202可以从工位C和工位D上的晶圆盒中抓取晶圆，放入工位E中的晶舟中。以上仅为示例性举例，半导体工艺设备的具体结构和类型可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
[0024]实际应用中，用户可以根据工位的运动机构的活动范围，预先设置工位的干涉区域坐标，并输入到控制器中的预设位置存储。运动机构的活动范围可以包括运动机构自身的活动范围，以及运动机构带动的物件的活动范围，工位的干涉区域坐标由由工位的运动机构在每个坐标方向上的最大坐标和/或最小坐标组成。以图2中的工位D为例，用户可以根据工位D中运动机构和运动机构带动的物件的活动范围设置工位D的干涉区域坐标。如图3所示，图3示出了本实施例提供的一种机械手的坐标示意图，图3中第一机械手的位置坐标与工位D的干涉区域坐标位于同一个坐标系内，坐标系的原点为第一机械手201的坐标原点，坐标系包括水平方向上相互垂直的X轴和A轴，以及竖直方向上的Z轴，图2中符号A+表示A轴方向上的正方向，符号Z+表示Z轴方向上的正方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法，其特征在于，所述传输系统包括机械手，以及与所述机械手对应的多个工位，所述工位包括运动机构；所述控制方法应用于所述机械手的控制器，包括：获取所述机械手当前时刻的位置坐标，以及各所述工位的干涉区域坐标；所述工位的干涉区域坐标对应所述工位的运动机构的活动范围；分别判断所述位置坐标是否与各所述工位的干涉区域坐标重叠；对于所述干涉区域坐标与所述位置坐标重叠的工位，向所述半导体工艺设备中的控制主机发送与该工位对应的互锁启动信号，禁止该工位的运动机构动作。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：对于所述干涉区域坐标未与所述位置坐标重叠的工位，向所述控制主机发送与该工位对应的互锁解除信号，允许该工位的运动机构动作。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别判断所述位置坐标是否与各所述工位的干涉区域坐标重叠，包括：根据多个所述工位的优先级顺序，从优先级最大的工位开始，依次判断所述位置坐标是否与各所述工位的干涉区域坐标重叠。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：在接收到所述控制主机发送的与当前工位对应的停机信号的情况下，停止判断所述位置坐标是否与所述当前工位的干涉区域坐标重叠。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工位的干涉区域坐标由所述工位的运动机构在每个坐标方向上的最大坐标和/或最小坐标组成；所述分别判断所述位置坐标是否与各所述工位的干涉区域坐标重叠，包括：对任意一个所述工位，在任意一个所述坐标方向上，若所述位置坐标对应于该坐标方向的坐标数据位于所述干涉区域坐标在该坐标方向上的最大坐标与最小坐标之间的区间内，或大于等于所述干涉区域坐标在该坐标方向上的最小坐标，或小于等于所述干涉区域坐标在该坐标方向上的最大坐标，则确定所述位置坐标与所述干涉区域坐...

【专利技术属性】
技术研发人员：周明，王凯，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：