一种芯片产品清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片产品清洗装置，涉及芯片清洁技术领域。本实用新型专利技术包括清洗池，设于所述清洗池上的驱动机构，以及连接在所述驱动机构上的清洗机构；所述清洗机构包括设于所述驱动机构上的振动组件，以及连接在所述震动组件上的夹持组件；所述震动组件包括横向连接在所述驱动机构上的清洗臂，连接在所述清洗臂与夹持组件之间的多个振动弹簧，以及设于所述夹持组件上的振动电机。大提高了对芯片的清洗的效率。的清洗的效率。的清洗的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片产品清洗装置


[0001]本技术属于芯片清洁
，特别是涉及一种芯片产品清洗装置。

技术介绍

[0002]在半导体芯片制作过程中，芯片的制作步骤为：先将铜片切割成所需矩形规格，再将铜片上下表面和边缘进行打磨，打磨后对芯片进行清洗，清洗后对铜片进行弯折，最后在铜片上焊接引脚。
[0003]其中清洗制程是在包括有数个提供不同化学物质溶液、氨水/过氧化氢混合溶液的槽体的湿式清洗台设备中进行。目前，在芯片片的清洗工序中,大部分采用的是人工刷洗,工作效率不高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种芯片产品清洗装置，解决了上述技术背景中的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]本技术为一种芯片产品清洗装置，包括清洗池，设于所述清洗池上的驱动机构，以及连接在所述驱动机构上的清洗机构；
[0007]所述清洗机构包括设于所述驱动机构上的振动组件，以及连接在所述震动组件上的夹持组件；
[0008]所述震动组件包括横向连接在所述驱动机构上的清洗臂，连接在所述清洗臂与夹持组件之间的多个振动弹簧，以及设于所述夹持组件上的振动电机。
[0009]进一步地，所述夹持组件包括连接在所述振动弹簧上的连接板，设于所述连接板两端的导向柱，以及多个套接在所述导向柱上的夹持板。
[0010]进一步地，所述夹持板相对称的两个侧面上开设有放置槽，所述放置槽内部设置有磁铁，两个所述磁铁的磁性相反。
[0011]进一步地，所述清洗池内部设置有多个隔板将清洗池内部分为多个子清洗池。
[0012]进一步地，所述驱动机构包括两个结构相同的驱动组件，其中一个所述驱动组件与所述清洗池保持水平，另一个所述驱动组件与所述清洗池保持垂直。
[0013]进一步地，所述驱动组件包括两个平设置的连接柱，连接在所述连接柱两端的固定板，两端分别活动连接在两个固定板上的丝杆，分别套接在所述丝杆和连接柱上的移动块，以及设于其中一个所述伺服电机上并用于驱动所述丝杆转动的伺服电机。
[0014]进一步地，所述导向柱上连有用于将多个所述夹持板固定连接的固定栓。
[0015]本技术具有以下有益效果：
[0016]本技术通过清洗机构机构，清洗机构包括设于驱动机构上的振动组件，以及连接在震动组件上的夹持组件；震动组件包括横向连接在驱动机构上的清洗臂，连接在清洗臂与夹持组件之间的多个振动弹簧，以及设于夹持组件上的振动电机；通过驱动组件带
动清洗机构使的移动，对芯片进行清洗，同时通过震动组件产生振动，使得对芯片的清洗更加干净，大大提高了对芯片的清洗的效率。
[0017]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为一种芯片产品清洗装置的结构示意图；
[0020]图2为本技术图1中A部分的放大结构示意图；
[0021]图3为本技术夹持组件的结构示意图；
[0022]图4为本技术夹持板的结构示意图；
[0023]图5为本技术驱动组件的结构示意图；
[0024]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0025]1、清洗池；2、隔板；3、驱动机构；4、驱动组件；5、清洗臂；6、夹持组件；7、排液阀；8、连接板；9、导向柱；10、夹持板；11、固定栓；12、振动弹簧；13、振动电机；14、移动块；15、伺服电机；16、丝杆；17、连接柱；18、固定板；19、磁铁。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1，本技术为一种芯片产品清洗装置，包括清洗池1，设于所述清洗池1上的驱动机构3，以及连接在所述驱动机构3上的清洗机构，通过驱动组件带动清洗的移动，使得清洗机构移动至清洗池1内部对芯片进行清洁。
[0028]所述清洗机构包括设于所述驱动机构3上的振动组件，以及连接在所述震动组件上的夹持组件6，夹持组件6用于固定芯片，振动组件用于产生产生，从而使得芯片在清洗池1内部清洗的更加干净。
[0029]其中如图2所示，所述震动组件包括横向连接在所述驱动机构3上的清洗臂5，连接在所述清洗臂5与夹持组件6之间的多个振动弹簧12，以及设于所述夹持组件6上的振动电机13，通过振动电机13使得夹持组件产生的振动，振动弹簧12保证了夹持组件有足够的空间的产生振动。
[0030]其中如图3所示，所述夹持组件6包括连接在所述振动弹簧12上的连接板8，设于所述连接板8两端的导向柱9，以及多个套接在所述导向柱9上的夹持板10，芯片放置在两个夹持板10之间，这样整体可以同时固定多个芯片同时进行清洁，有利于增加清洁的效率。
[0031]其中如图4所示，所述夹持板10相对称的两个侧面上开设有放置槽，所述放置槽内部设置有磁铁19，两个所述磁铁19的磁性相反，这样在对芯片进行固定时，通过两个磁铁19
产生吸引力，使得两个夹持板10相互贴合，将芯片初步夹住。
[0032]其中，所述清洗池1内部设置有多个隔板2将清洗池1内部分为多个子清洗池，不同的子清洗池内部,放置不同的清洗液，通过驱动机构的带动使得芯片分别移动至不同的子清洁池内部机芯清洗，每个子清洁池上都连接有一个排液阀7用于讲清洗液排出。
[0033]其中，所述驱动机构3包括两个结构相同的驱动组件4，其中一个所述驱动组件4与所述清洗池1保持水平，另一个所述驱动组件4与所述清洗池1保持垂直，两个驱动组件4分别带动清洗组件竖直移动和水平移动，从而移动至不同的子清洗池内部。
[0034]其中，所述驱动组件4包括两个平设置的连接柱17，连接在所述连接柱17两端的固定板18，两端分别活动连接在两个固定板18上的丝杆16，分别套接在所述丝杆16和连接柱17上的移动块14，以及设于其中一个所述伺服电机15上并用于驱动所述丝杆16转动的伺服电机15，移动块14与丝杆16螺纹连接，驱动伺服电机15带动丝杆16移动，从而带动移动块14沿着两个连接柱移动，从而使得两个驱动组件4配合带动清洗机构移动。
[0035]其中，所述导向柱9上连有用于将多个所述夹持板10固定连接的固定栓11，当夹持板10上的芯片固定完成后，将固定栓11连接在导向柱9上，将多个夹持板10锁紧，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片产品清洗装置，其特征在于：包括清洗池(1)，设于所述清洗池(1)上的驱动机构(3)，以及连接在所述驱动机构(3)上的清洗机构；所述清洗机构包括设于所述驱动机构(3)上的振动组件，以及连接在所述振动组件上的夹持组件(6)；所述振动组件包括横向连接在所述驱动机构(3)上的清洗臂(5)，连接在所述清洗臂(5)与夹持组件(6)之间的多个振动弹簧(12)，以及设于所述夹持组件(6)上的振动电机(13)。2.根据权利要求1所述的一种芯片产品清洗装置，其特征在于，所述夹持组件(6)包括连接在所述振动弹簧(12)上的连接板(8)，设于所述连接板(8)两端的导向柱(9)，以及多个套接在所述导向柱(9)上的夹持板(10)。3.根据权利要求2所述的一种芯片产品清洗装置，其特征在于，所述夹持板(10)相对称的两个侧面上开设有放置槽，所述放置槽内部设置有磁铁(19)，两个所述磁铁(19)的磁性相反。4.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建鸿，陈慧贞，陈宜萱，林圆香，陈尹臻，
申请(专利权)人：合肥强友科技有限公司，
类型：新型
国别省市：