高稳定氦氖激光器制造技术

一种Ｈｅ－Ｎｅ激光器，用二个中心波长不同的介质膜反射镜，用可切削微晶玻璃和带环形槽的可伐材料做成整体的反射镜调节头，采用微晶玻璃作为谐振腔的支撑体．采用腔体与放电管动态连接的旁轴式半外腔结构，激励条件中Ｐｄ值为１７－２１乇．ｍｍ，充气配比ｐＨｅ：ｐＮｅ＝９：１－１２：１，此种Ｈｅ－Ｎｅ激光器可用于光纤技术和半导体外延技术．（*该技术在1995年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本专利技术是一种He-Ne激光器。早在1964年Zitter等人用10米长的谐振腔实现了1.5231μm谱线的振荡(J·Appl、Phys、35、P30701964)但由于许多参数不清楚，20年来没有研制出具有高稳定性的该种激光器。本专利技术的目的在于研制一种能够实际运用高稳定的1.5231μmHe-Ne激光器。本专利技术的要点在于借助于两个中心波长不同的反射镜构成的带宽为1.3-1.7μm的谐振腔及Pd值为17-21乇·mm，气压配比为PHe∶PNe＝9∶1～12∶1的激励条件，采用比一般He-Ne激光器小的工作电流(视腔长而定)实现1.5231μm谱线的振荡；从解决功率和频率稳定性出发，采用了膨胀系数比石英玻璃小一个数量级的微晶玻璃管作为谐振腔的支撑体，采用可切削的微晶玻璃与带环形槽的可伐材料做成整体的反射镜调节头，采用腔支撑体与放电管动态连接的旁轴式半外腔结构；以上结构和材料还可用于1.5231μm单模稳频He-Ne激光器。本专利技术保证了1.5231μm谱线的激光输出，结构合理，取材经济，使用可靠，稳定性高，如腔长为500mm，采用白宝石作为布氏窗输出功率可大于1mW，功率时间稳定性小于±1.5％，方位稳定性小于2.5％偏振光的偏振度为99.5％。这种He-Ne激光器可用于光纤测量技术，相干光纤通信，半导体外延厚度测量等方面。附图为本专利技术的结构示意图，图中1为微晶玻璃谐振腔支撑体；2为可切削微晶玻璃空心圆盘；3为楔形输出镜；4为殷纲弹性片(三个)；5为白宝石布氏窗片；6为全反镜；7为带环形槽的可伐调节头。本专利技术的最佳激励条件中，最佳Pd值为17-19乇·mm，最佳配比为10∶1～11∶1，如腔长为500mm，d＝2.2mm时可得到基模输出，P＝8.5乇时输出功率最大；用可切削的微晶玻璃做成空心圆盘，再将空心圆盘与楔形输出镜片固定，装入腔体中，再用殷钢弹性片将放电管芯固定，构成动态连接，反射镜放入一个带环形槽的可伐整体调节头中，再将整体调节头与腔体的另一端固定，可用起子插入环形槽中在不同的位置调节槽的宽度(薄的可伐有可变性)来调整激光输出的耦合度，达到最大输出，以上结构和参数也可用于腔长为200mm，全反镜一端加上PZT后，可以做成1.5231μm单模稳频He-Ne激光器。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｈ↓〔ｅ〕—Ｈ↓〔ｅ〕激光器由光学谐振腔和放电管芯组成。其特征为：带宽为１．３—１．７ｕｍ的谐振腔，该谐振腔由二个中心波长不同的反射镜构成，反射镜固定在腔体支撑体［１］（如外壳）端面的用可切削微晶玻璃与带环形槽的可伐做成的整体调节头［７］中，放电管中的Ｐｄ值为１７—２１＊.ｍｍ，充气配比为Ｐ↓〔Ｈｅ〕∶Ｐ↓〔Ｎｅ〕＝９∶１～１２∶１；采用谐振腔支撑体（如外壳）与放电管芯动态连接的结构。

【技术特征摘要】
1.一种He-Ne激光器由光学谐振腔和放电管芯组成。其特征为带宽为1.3-1.7μm的谐振腔。该谐振腔由二个中心波长不同的反射镜构成，反射镜固定在腔体支撑体〔1〕(如外壳)端面的用可切削微晶玻璃与带环形槽的可伐做成的整体调节头〔7〕中，放电管中的Pd值为17-21乇·mm，充气配比为PHe∶PNe＝9∶1～12∶1；采用谐振腔支撑体(如外壳)与放电管芯动态连接的结构。2.按照权利要求1所述的He-Ne激光器...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡正荣，陈松生，
申请(专利权)人：南京工学院，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]