【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种铟镓砷磷/铟磷隐埋条形质量输运激光器,它在InP导电衬底上依次生长有InP限制层、非故意掺杂InGaAsP有源层InP限制层,并通过InP质量输运形成完全隐埋结构,其特征是,在三层外延层上还生长有一接触顶层,在接触顶层上淀积Si↓〔3〕N↓〔4〕或其它适当掩模层,通过光刻及选择性腐蚀沿011方向形成上宽下窄的倒台面支承结构。
【技术特征摘要】
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