具有倒台面支承结构的铟镓砷磷/铟磷隐埋条形质量输运激光器制造技术

技术编号:3316324 阅读:236 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
具有倒台面支承结构的铟镓砷磷/铟磷隐埋条形质量输运激光器.是在外延片上淀积掩模层,利用光刻沿011方向形成条形,通过选择性腐蚀形成上宽下窄的倒台面新结构,本结构有三层外延层和四层外延层两种,这两种都可以有不同的形式.具有本结构的激光器在保持有源区很窄的前提下可以在较宽的台面顶部制作电极,并且可以作成良好的欧姆接触,降低接触电阻,减少解理后续工艺中对有源区条形的破坏,提高器件的性能、成品率及稳定性.(*该技术在2005年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种铟镓砷磷/铟磷隐埋条形质量输运激光器,它在InP导电衬底上依次生长有InP限制层、非故意掺杂InGaAsP有源层InP限制层,并通过InP质量输运形成完全隐埋结构,其特征是,在三层外延层上还生长有一接触顶层,在接触顶层上淀积Si↓〔3〕N↓〔4〕或其它适当掩模层,通过光刻及选择性腐蚀沿011方向形成上宽下窄的倒台面支承结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈倜荣
申请(专利权)人:电子科技大学
类型:发明
国别省市:51[中国|四川]

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