直接飞行时间DToF传感器以及用于其的电容器制造技术

本发明专利技术提供了一种直接飞行时间DToF传感器以及用于其的电容器，所述电容器包括：第一极板，所述第一极板被配置为传感单元的隔离区上的N个电容焊盘，并且连接到所述传感单元的电源节点；第二极板，所述第二极板被配置为DToF传感器的传感器外壳的挡墙，并且连接到接地节点；以及填充层，所述填充层被填充在所述挡墙和所述传感单元的隔离区之间，以连接所述挡墙和所述隔离区，并且由绝缘材料组成。并且由绝缘材料组成。并且由绝缘材料组成。

【技术实现步骤摘要】
直接飞行时间DToF传感器以及用于其的电容器


[0001]本专利技术总体上涉及传感器领域，特别的，涉及用于直接飞行时间(DToF,direct time of flight)传感器的电容器以及包括该电容的DToF传感器。

技术介绍

[0002]直接飞行时间传感器(DToF)技术被认为是最优越的传感器技术之一，由于它的出现，引起了在各种应用场景中应用的移动设备中装载3D摄像头的趋势，并且随着物联网技术以及半导体技术的发展，其应用领域还将继续得到拓展，此外，对其性能进行提升的相应研究也正在进行。
[0003]直接飞行时间(DToF)传感器是一种主动光传感器，至少包含发射端Tx和接收端Rx两个主要部分。Tx发射短脉冲激光，照射到被测物体，部分激光反射后被Rx接受。由于Tx与Rx存在同步信号，控制电路可以记录激光在空中来回飞行的时间t,已知光速C，可以得到物体的距离d＝1/2*C*t。

技术实现思路

[0004]技术问题
[0005]在DToF传感器的传感单元(sensor)(或者也可以称为传感芯片)内部空间有限时，滤波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于直接飞行时间DToF传感器的电容器，包括：第一极板，所述第一极板被配置为传感单元的隔离区上的N个电容焊盘，并且连接到所述传感单元的电源节点；第二极板，所述第二极板被配置为DToF传感器的传感器外壳的挡墙，并且连接到接地节点；以及填充层，所述填充层被填充在所述挡墙和所述传感单元的隔离区之间，以连接所述挡墙和所述隔离区，并且由绝缘材料组成。2.根据权利要求1所述的电容器，其中，所述填充层通过柔性材料来形成。3.根据权利要求1所述的电容器，其中，所述填充层通过点胶工艺来形成。4.根据权利要求1所述的电容器，其中，通过调整所述电容焊盘的数量N或者通过调整绝缘材料的介电常数来调整所述电容器的电容量。5.一种包括电容器的直接飞行时间DToF传感器，包括：底板；发射光源，其被固定在所述底板上，并且被配置为向外部发射光线；传感单元，其被固定在所述底板上，并且包括第一传感单元、第二传感单元以及隔离区；以及传感器外壳，其被固定在所述底板上，并且包括第一通孔、第二通孔、挡墙以及填充层，其中，在所述隔离区上形成N个电容焊盘，作为电容器的第一极板，并且连接到所述传感单元的电源节点，其中，所述传感器外壳的挡墙被配置为所述电容器的第二极板，并且连接到接地节点，以及其中，所述填充层被配置为填充在所述挡墙和所述传感单元的隔离区之间，以连接所述挡墙和所述隔离区。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马治邦，杨骁，王万胜，史斌，
申请(专利权)人：上海惚恍微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：