【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种小型化高重复频率的高能量飞秒激光器,属于飞秒激光
技术介绍
自从上世纪90年代开始,飞秒激光已经在物理、化学、生物、医学、通信以及大科学工程等方面得到了越来越广泛的应用。对于不同的应用领域和研究对象所要求的飞秒激光输出的脉冲能量是完全不同的,特别是飞秒微加工的发展。飞秒微加工包括飞秒在金属、无机透明介质以及多聚物中刻写微米乃至纳米尺度的微结构,例如打孔、切割、打标、掩模修复、光波导和光栅的直接写入、高密度光存储等。在实际应用中,不但需要脉冲短(<100fs),也需要一定的能量,例如几百纳焦到数个微焦。同时还需要较高的重复频率。目前市场上销售的飞秒激光器的指标通常是几个纳焦能量、100MHz的重复频率、脉宽小于100fs。而放大器一般是1~2kHz、有数毫焦到数百毫焦能量。即高重复频率的激光器的输出能量太小;而高能量的激光器的重复频率太低。因此市场上需要一种既产生高能量,又工作在高重复频率的飞秒激光器。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种小型化高重复频率的高能量飞秒激光器,该飞秒激光器实用性强,成本低。本专利技术是通过下述技术方案加以实现的,一种小型化高重复频率的高能量飞秒激光器,其特征是在飞秒激光器的一个臂上设置多通长腔,在另一个臂上设置腔倒空,所述的多通长腔由球面反射镜3、4构成,所述的腔倒空是在8和10球面反射镜的束腰设置声光调制器9构成。本专利技术的优点是可以获得高重复频率的高峰值功率的飞秒激光脉冲.即重复频率大于10KHz量级,获得每个脉冲的能量大于150纳焦。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中1为可饱和吸收镜 ...
【技术保护点】
一种小型化高重复频率的高能量飞秒激光器,其特征是在飞秒激光器的一个臂上设置多通长腔,在另一个臂上设置腔倒空,所述的多通长腔由球面反射镜(3)和(4)构成,所述的腔倒空是在(8)和(10)球面反射镜的束腰设置声光调制器(9)构成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张志刚,柴路,王请月,王专,曹士英,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:12[中国|天津]
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