波纹管泵装置制造方法及图纸

波纹管泵装置(1)具有控制部(6)，该控制部(6)进行如下初始控制，即，在开始其运转之前，对电磁阀(4、5)进行切换而事先将加压空气供给至吸入侧空气室(26A、26B)，由此决定在运转中供给至吸入侧空气室(26A、26B)的加压空气的空气压力即运转空气压力(P1、P2)。作为初始控制，控制部(6)以使得事先供给至吸入侧空气室(26A、26B)的加压空气的空气压力逐渐升高的方式将控制指令输出至电动气动调节器(51、52)，在被从接近传感器(29B、31B)输入了检测到波纹管(13、14)的伸长位置的检测信号时，将在该时刻供给至吸入侧空气室(26A、26B)的加压空气的空气压力决定为运转空气压力(P1、P2)。P2)。P2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】波纹管泵装置


[0001]本专利技术涉及一种波纹管泵装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造、化学工业等中，作为为了输送供给药液、溶剂等移送流体而使用的波纹管泵，已知以如下方式构成的结构，即，将泵壳体与泵头的两侧连结而形成2个空气室，在上述空气室的内部设置彼此独立且能够伸缩的一对波纹管，对各空气室交替地供给加压空气而使得各波纹管收缩或伸长(例如，参照专利文献1)。
[0003]关于专利文献1中记载的波纹管泵，一对波纹管中的一个波纹管收缩而将移送流体吸入至其内部，与此同时，另一个波纹管伸长而将其内部的移送流体排出。另外，所述另一个波纹管收缩而将移送流体吸入至其内部，与此同时，所述一个波纹管伸长而将其内部的移送流体排出。
[0004]专利文献1：日本特开2012
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211512号公报

技术实现思路

[0005]关于上述波纹管泵，在其运转开始时为了使一对波纹管分别伸长而将向各空气室供给的加压空气的空气压力设定为恒定的压力值。然而，为了使波纹管伸长所需的加压空气的空气压力(适当空气压力)根据吸入至波纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种波纹管泵装置，其具有：流体室，加压流体相对于该流体室而进行供给及排出；以及伸缩自由的波纹管，如果加压流体供给至所述流体室，则所述波纹管伸长至规定的伸长位置而将移送流体吸入至该波纹管内，如果从所述流体室将加压流体排出，则所述波纹管收缩而将该波纹管内的移送流体排出，其中，所述波纹管泵装置具有：电磁阀，其对加压流体相对于所述流体室的供给及排出进行切换；流体压力调整部，其对供给至所述流体室的加压流体的流体压力进行调整；检测部，其检测到所述波纹管处于所述伸长位置而输出检测信号；以及控制部，其进行如下初始控制，即，在开始所述波纹管泵装置的运转之前，对所述电磁阀进行切换而事先将加压流体供给至所述流体室，由此决定在所述运转中供给至所述流体室的加压流体的流体压力即运转流体压力，作为所述初始控制，所述控制部以使得事先供给至所述流体室的加压流体的流体压力逐渐升高的方式将控制指令输出至所述流体压力调整部，在被从所述检测部输入了所述检测信号时，将在该时刻供给至所述流体室的加压流体的流体压力决定为所述运转流体压力。2.根据权利要求1所述的波纹管泵装置，其中，所述控制部以使得事先供给至所述流体室的加压流体的流体压力阶梯式地升高的方式，将控制指令输出至所述流体压力调整部。3.根据权利要求1或2所述的波纹管泵装置，其中，所述波纹管泵装置还具有输出使所述运转开始的操作指令的操作开关，所述控制部如果被输入所述操作指令，则在进行所述初始控制之后开始所述运转。4.根据权利要求1至3中任一项所述的波纹管泵装置，其中，作为所述流体室，所述波纹管泵装置具有第1流体室以及第2流体室，作为所述波纹管，所述波纹管泵装置具有：第1波纹管，其通过相对于所述第1流体室对加压流体进行供给及排出而将移送流体吸入以及排出；以及第2波纹管，其相对于所述第1波纹管独立地伸缩自由，并且通过相对于所述第2流体室对加压流体进行供给及排出而将移送流体吸入以及排出，作为所述电磁阀，所述波纹管泵装置具有：第1电磁阀，其对加压流体相...

【专利技术属性】
技术研发人员：乙野裕纪，友利爱，手岛一清，
申请(专利权)人：日本皮拉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：