半导体激光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种半导体激光装置，其具备用于防止散热器的制冷剂流路的腐蚀，并且长期稳定地对半导体激光器阵列进行冷却的构造。该半导体激光装置具备半导体激光器堆、制冷剂供给器、绝缘性配管和制冷剂。制冷剂供给器向半导体激光器堆供给制冷剂。制冷剂包含碳氟化合物。绝缘性配管是具有柔软性的绝缘性管子。在绝缘性配管内配置有接地的导电体。该导电体起着除去当制冷剂在绝缘性配管内流通时生成的静电的作用。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种半导体激光装置，其具有作为发光源的半导体激光列阵(Semiconductor Laser Array)，同时还具有用于有效地冷却该半导体激光列阵的结构。
技术介绍
近年来，正在开发可得到数W～100W高输出的半导体激光装置。这种半导体激光装置也作为激光手术刀、激光烙铁、激光指示器等的光源来使用。半导体激光列阵的电-光转换效率为50％左右，因此，投入的电力有一半变成了热量。由于热量，激光输出、效率、元件寿命受到很大的影响。为了高效地冷却上述热量，使用以热传递效率较高、热容量较大的水作为制冷剂的散热器。作为上述散热器公知的有，例如，将多个铜制的平板状部件组合而形成微细的流路，使冷却水在该流路内循环的结构的散热器。冷却水与装载在流路上部的半导体激光列阵进行热交换，由此来冷却该半导体激光列阵(参照例如专利文献1和2)。如上所述的半导体激光装置具有层叠多个半导体激光列阵的堆(stack)结构。为了实现高输出，多个散热器分别插入在层叠的各个半导体激光列阵之间。这些散热器不仅冷却半导体激光列阵，还在半导体激光列阵之间发挥导电通路的作用，因此，在各个半导体激光列阵的动作中，向散本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光装置，其特征在于，具备：半导体激光器阵列；搭载了所述半导体激光器阵列的散热器；在所述散热器内流动的包含碳氟化合物的制冷剂；将所述制冷剂供给给所述散热器的制冷剂供给器；连接所述散热器和所述 制冷剂供给器的之间，在内部流通所述制冷剂的绝缘性配管；和配置在所述绝缘性配管内的处于接地状态的导电体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫岛博文，菅博文，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]