【技术实现步骤摘要】
纳米氧化铈液辅助磨削的供给系统与方法
[0001]本专利技术涉及纳米氧化铈液辅助磨削加工领域,具体地,涉及一种纳米氧化铈液辅助磨削的供给系统与方法,尤其涉及一种面向纳米氧化铈液的物理方法防止纳米氧化铈颗粒沉降和团聚,形成均匀的纳米氧化铈液,保持其长久、有效的辅助磨削功能。
技术介绍
[0002]目前,硬脆性材料如光学元件(石英玻璃、BK7等)、半导体元件(单晶碳化硅、单晶硅、氧化镓单晶等)需要高质量的表面(低表面粗糙度和亚表面损伤)。但是这些元件的加工大多采用昂贵的纳米级别机床和超细磨粒的磨具等。磨削深度受限在纳米尺度内,导致加工效率极低,加工成本高昂。现有技术中的纳米氧化铈雾化液辅助磨削可得到较好的磨削结果,但是,纳米氧化铈颗粒的沉降和团聚导致其辅助磨削功能随着磨削加工的进行有所降低。现有方法是采用添加化学物质达到纳米氧化铈颗粒分散的目的,但是,化学过程非常复杂,难于精确计算和控制、以及配量不匹配将影响其功能。
[0003]专利文献CN104448786A公开了一种聚氨酯/纳米氧化铈水分散液的制备方法。主要包括以下 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种纳米氧化铈液辅助磨削供给系统,其特征在于,包括纳米氧化铈液(1)、超声液体处理装置(2)、循环泵(3)、管头(4)、磨削工作台、回流管(5)、容器(6);所述磨削工作台用于承载工件;所述磨削工作台上设置有磨削区域,所述工件在所述磨削区域中被磨削;所述纳米氧化铈液(1)存放在所述容器(6)中,超声液体处理装置(2)的工作端浸没在纳米氧化铈液(1)中,循环泵(3)的输入端连接容器(6),循环泵(3)的输出端通过管头(4)连接磨削工作台,从而将容器(6)内的纳米氧化铈液(1)导向至磨削区域,磨削工作台通过回流管(5)连接容器(6),从而使磨削工作台中的纳米氧化铈液(1)回流至容器(6)。2.根据权利要求1所述的纳米氧化铈液辅助磨削供给系统,其特征在于,所述超声液体处理装置(2)为超声振动棒装置。3.根据权利要求1所述的纳米氧化铈液辅助磨削供给系统,其特征在于,所述超声振动棒装置的超声功率2000W,频率20KHZ。4.根据权利要求1所述的纳米氧化铈液辅助磨削供给系统,其特征在于,所述管头(4)为圆头、扁头或孔洞圆扁头。5.根据权利要求1所述的纳米氧化铈液辅助磨削供给系统,其特征在于,所述循环泵(3)为水泵,...
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