用各向异性声光调制器产生光束的系统和方法技术方案

本发明专利技术公开了一种包括光束源的光源系统，所述光束源产生第一输入光束。设置各向异性声光调制器（ＡＯＭ）来接收第一输入光束。ＡＯＭ包括多个换能器用于接收控制信号并产生相应的声波，所述声波作用于第一输入光束以产生具有不同频率和正交线偏振态的第一输出光束和第二二输出光束。对于具有一个偏振态的第一输入光束和对于具有两个偏振态的第一输入光束，第一输出光束和第二输出光束合并的光功率基本上等于第一输入光束的光功率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
基于偏振的或复用的外差干涉仪中的测量光学器件，例如那些在半导体器件制造设备中用于精密测量的测量光学器件，通常使用包括不同频率的正交偏振成分的光束。在外差干涉中使用双频/双偏振光源。两个正交偏振的光束成分之间的频率差很重要，因为它可能限制物体以多大速度移动时仍能够用这类测量系统精确测量距离。Zeeman(塞曼)分裂HeNe激光器可以提供正交偏振的光成分，但是差频限制在最大约为8MHz。双模稳频HeNe激光器也可以提供具有频率间隔的两个正交偏振光束，但是这个频率差在500-1500MHz范围内，不易由处理电路使用。满足光刻产业对于速度的要求而又与目前的电子技术相符的期望频率范围约为7-30MHz。以往使用了一些方法来产生外差干涉仪中期望的频率分裂。这些现有解决方案大部分包括在稳定激光源后对光进行调节以得到期望的频率。一种现有解决方案是使用两个高频声光调制器(AOM)来产生期望的差频。源激光束被分为正交偏振的两束。使每个线偏振光束都经过AOM。对来自每个AOM的第一级衍射光束用反射镜进行重定向，再用第二分束器重新组合使之共线、共心(co-bore)。尽管在这本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光源系统，包括：产生第一输入光束的光束源；设置为接收所述第一输入光束的各向异性声光调制器，其中，所述声光调制器包括多个换能器用于接收控制信号并产生相应的声波，所述声波作用于所述第一输入光束以产生具有不同频率和正交线偏振态 的第一输出光束和第二输出光束；其中，对于具有一个偏振态的第一输入光束以及对于具有两个偏振态的第一输入光束，所述第一输出光束和所述第二输出光束合并的光功率基本上等于所述第一输入光束的光功率。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：卡罗尔J考尔维勒，朱淼，凯丽D巴戈维尔，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]