多输出谐波激光器及使用该谐波激光器的方法技术

一种固态激光器（１０ａ），其具有激光谐振腔（２０ａ），激光谐振腔（２０ａ）在两端具有输出端（２２ａ１，２２ｂ１），以提供两个独立的激光微加工光束（４２ａ１，４２ｂ１）。一组波长转换器（２６ａ１，２６ｂ１）可以被用来将所述激光微细加工（ｍｉｎｏ－ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）光束转换成谐波波长输出，从而减少波长转换器的损害危险，并使得能够从单一光束中产生更高的总平均谐波Ｃ功率。激光微细加工光束可以是不同的，以独立地执行不同的激光操作，或者可适于具有基本相同的参数以允许对基本相同的工件（５４）执行同步平行的高质量激光操作，或者激光微细加工光束可被组合成提供单一激光系统输出（４２ｅ）。所述两个激光加工光束可以进一步分离或复合，以适合具体应用。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
0001本专利技术涉及固态激光器，更具体地是涉及使用至少两个谐波光束以执行微加工操作(例如通孔形成)的激光器系统或方法。
技术介绍
0002传统固态激光器在一给定时间仅提供单个激光输出光束，并且传统固态谐波激光器在一给定时间仅提供单谐波激光输出光束。示例性固态谐波激光器在约1-100kHz重复率的单光束中产生平均功率为8-10W的UV激光脉冲。为了增加给定激光器微加工操作的激光器系统吞吐量，本领域技术人员已经利用具有多于一个激光头或利用各种激光束分离技术的激光器系统。这些技术具有许多优点。0003如果通过利用并行处理操作同时处理相同的目标，从而利用两个或更多个激光器来增加系统吞吐量，则额外的激光器需要更多空间，并大大增加了激光器系统的成本。技术人员应该意识到，即使当这样的激光器利用相同的抽运源、激光介质、谐波转换器、以及具有“相同”设计的输出耦合反射镜，并且另外地利用相同的光学路径组件和系统控制电子装置，也很难匹配激光输出参数，例如每个不同激光束(当它们是新的时候由于组件的质量的变化所产生的，以及由于组件的寿命相关的退化中的变化所产生的)的每脉冲能量、光束形状或质量、和/或发散角或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固态激光器，包括：　　　　固态激光介质，其沿着光学路径设置，以接收来自激光抽运源的激光抽运光，所述激光介质适于促进具有第一波长的激光输出的产生；　　　　Ｑ开关，其沿着所述光学路径设置在所述第一和第二输出端口之间，以将所述激光输出变换为脉冲激光输出；　　　　第一和第二输出端口，其沿着所述光学路径设置，并且处于所述激光介质的不同侧，以传播脉冲激光输出的各自的第一和第二激光加工光束；以及　　　　第一和第二波长转换器，其沿着所述光学路径设置，并且分别处于所述激光介质的不同侧，所述第一和第二波长转换器适于将所述脉冲激光输出的波长转换为所述第一波长的谐波，使得所述第一和第二激光加工光束具有一个谐波波长...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y孙，
申请(专利权)人：电子科学工业公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]