用于制造横向半导体器件的方法技术

技术编号:3312976 阅读:177 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种横向结半导体器件及其制造方法,该方法包括步骤:形成具有叠层的半导体结构(2),该叠层通过设置成多个基本平行平面的多层半导体材料形成,其中第一层(4)中的半导体材料具有第一浓度的第一极性的过剩电荷载流子,并从第一层(4)选择性去除半导体材料至一个沿第一方向变化的深度,该第一方向基本上平行于结构中的层平面,以提供沿第一方向的在有源层(8)中第一极性的电荷载流子的浓度梯度。一种光子源,其包含所述横向结半导体器件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于制造横向结半导体器件的方法,包括步骤:(i)形成具有叠层的半导体结构(2),其中叠层是通过设置成多个基本平行平面的多层半导体材料(4,6,8)形成,第一层(4)中的半导体材料具有第一浓度的第一极性的过剩电荷载流子,和 (ii)从第一层(4)选择性去除半导体材料至一个沿第一方向变化的深度,该第一方向基本上平行于结构中的层平面,以提供沿第一方向在有源层(8)中的第一极性的电荷载流子的浓度梯度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:GR纳什JH杰斐森KJ纳什
申请(专利权)人:秦内蒂克有限公司
类型:发明
国别省市:GB[英国]

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