【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于制造横向结半导体器件的方法,包括步骤:(i)形成具有叠层的半导体结构(2),其中叠层是通过设置成多个基本平行平面的多层半导体材料(4,6,8)形成,第一层(4)中的半导体材料具有第一浓度的第一极性的过剩电荷载流子,和 (ii)从第一层(4)选择性去除半导体材料至一个沿第一方向变化的深度,该第一方向基本上平行于结构中的层平面,以提供沿第一方向在有源层(8)中的第一极性的电荷载流子的浓度梯度。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:GR纳什,JH杰斐森,KJ纳什,
申请(专利权)人:秦内蒂克有限公司,
类型:发明
国别省市:GB[英国]
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