表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序。具备：图像获取单元(10)，在一边使被检查物(5)相对于配置于不同位置的照明装置(2a)、(2b)、线传感器(1)相对地移动一边逐个切换来自各照明装置的照明光照射至被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在分别位置偏移照明光的切换量的状态下获取多个图像；对位单元(10)，将获取到的对应于各照明装置的图像进行对位；以及判别单元(10)，从通过对位单元对位的图像中，判别被检查物的表面缺陷。检查物的表面缺陷。检查物的表面缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序


[0001]本专利技术涉及用于判别具有正反射性状较强的表面的产品、部件等被检查物的表面缺陷的表面缺陷判别装置、具备该表面缺陷判别装置的外观检查装置以及程序。

技术介绍

[0002]在产品、部件的表面的划痕破坏外观。而且，在用于制作如膜这样的薄膜的成膜板上存在由划痕等引起的凹凸的情况下，凹凸被转印至制造出的薄膜而成为薄膜的缺陷。
[0003]因此，提出了用于检测各种产品、部件、成膜板等的表面缺陷的外观检查装置。
[0004]例如，在专利文献1中公开了一种技术，其特征在于，通过一边切换多个方向的光源一边拍摄部件，并解析照明光源的方向及其拍摄图像，来判别图像的阴影是缺陷还是污垢。
[0005]专利文献1:日本特开平11－118450号公报
[0006]然而，专利文献1所记载的专利技术是以被检查物静止为前提，例如，无法一边移动传送带一边检查难以静止控制的被滚筒驱动的传送带部件，而判别表面缺陷。
[0007]因此，期望能够一边使被检查物相对于照明装置、拍摄图像的线传感器相对移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种表面缺陷判别装置，具备：图像获取单元，在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在位置分别偏移上述照明光的切换量的状态下获取多个图像；对位单元，将由上述图像获取单元获取的对应于各照明装置的图像进行对位；以及判别单元，根据由上述对位单元对位的图像，判别被检查物的表面缺陷。2.根据权利要求1所述的表面缺陷判别装置，其中，上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，上述表面缺陷判别装置具备子像素图像创建单元，上述子像素图像创建单元在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像，上述对位单元将由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像进行对位。3.一种表面缺陷判别装置，具备：图像获取单元，在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而按每个上述照明光获取多个图像，上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，上述表面缺陷判别装置还具备：子像素图像创建单元，在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像；以及判别单元，基于由子像素图像创建单元创建的子像素图像，来判别被检查物的表面缺陷。4.根据权利要求3所述的表面缺陷判别装置，其中，具备对位单元，上述对位单元将由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像进行对位。5.根据权利要求2～4中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，上述子像素图像创建单元在按每个区域修正了上述重叠区域的受光量的状态下，从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量。6.根据权利要求2～5中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，上述子像素图像创建单元根据在前一次以前推断出的子像素的受光量的和来求出上述重叠区域的受光量，并从像素整体的受光量减去所求出的受光量来推断本次子像素的受光量。7.根据权利要求6所述的表面缺陷判别装置，其中，
上述子像素图像创建单元将开始拍摄后的最初的像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为最初的子像素的受光量。8.根据权利要求2～7中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，在像素整体的受光量未超过规定阈值的情况下，上述子像素图像创建单元将像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为本次的子像素的受光量，在像素整体的受光量超过规定阈值的情况下，上述子像素图像创建单元通过从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次的子像素的受光量。9.根据权利要求2、4～8中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，上述对位单元通过根据下述式子将亮度值K
ij
修正为修正值K
’
ij
，来进行由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像的对位，[式4]其中，i：子像素推断位置的索引j：点亮的照明装置的识别编号。10.根据权利要求1、2、4～9中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点不重叠并且各亮点处于预先设定的范围内的情况下，上述判别单元判定为在被检查物的表面存在凹缺陷或凸缺陷。11.根据权利要求10所述的表面缺陷判别装置，其中，在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置相反的情况下，上述判别单元判定为存在凹缺陷，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置不相反的情况下，上述判别单元判定为存在凸缺陷。12.根据权利要求1、2、4～11中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点重叠时，上述判别单元判定为在被检查物的表面存在灰尘或污垢。13.根据权利要求1、2、4～12中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，将整体的受光量超过规定阈值的像素检测为缺陷候补像素，对于检测出的缺陷候补像素，通过上述对位单元对位子像素图像，并且通过判定单元来判别被检查物的表面缺陷。14.根据权利要求1～13中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，使用LED或可见光半导体激光器作为上述照明装置的光源。15.根据权利要求1～14中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，上述照明装置为三个以上，配置在以上述线传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：原田孝仁，阿部芳久，山田正之，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达株式会社，
类型：发明
国别省市：