一种多源喷雾热解设备制造技术

一种多源喷雾热解设备，包括加热台、喷涂基板、X轴、Y轴直线模组，以及一一对应的多个Z轴直线模组和喷枪，X轴、Y轴和Z轴直线模组均包括滑动配合的固定部分和活动部分，X轴直线模组的固定部分沿X轴方向设置，Y轴直线模组的固定部分沿Y轴方向设置并与X轴直线模组的活动部分固定连接，Z轴直线模组的固定部分沿Z轴方向设置，Z轴直线模组的活动部分设有万向球，Z轴直线模组的活动部分通过万向球连接与之对应的喷枪；喷涂基板铺设在加热台上并位于喷枪下方，以用于承接所有喷枪喷出的前驱体溶液。本实用新型专利技术多源喷雾热解设备制备的纳米薄膜的致密性好，且实现了精确喷涂，可广泛用于纳米银线、MXene等材料薄膜的制备。MXene等材料薄膜的制备。MXene等材料薄膜的制备。

【技术实现步骤摘要】
一种多源喷雾热解设备


[0001]本技术涉及薄膜制造技术及相关设备领域，具体涉及一种多源喷雾热解设备。

技术介绍

[0002]随着科技的飞速进步，薄膜制造技术在产品和设备开发中起着越来越重要的作用。喷雾热解是一种以液相溶液作为前驱体，以雾状喷到加热的反应器上，随着溶剂的蒸发和金属盐的热分解析出过饱和固相制得纳米薄膜的方法。喷雾热解法可生长出品质优良的薄膜，且易于实现掺杂，是一种经济的薄膜制备方法，能够实现规模化生产，用于商业用途。但传统的喷雾热解设备一般采用单源（前驱体溶液来源）喷涂，喷涂工艺参数调节不便、可控参数小，从而限制了喷雾热解在纳米薄膜制备中的进一步应用。

技术实现思路

[0003]基于此，本技术提供了一种多源喷雾热解设备，以解决现有技术的喷雾热解设备采用单源喷涂，喷涂工艺参数调节不便、可控参数小，从而限制了喷雾热解在纳米薄膜制备中的进一步应用的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了一种多源喷雾热解设备，其包括加热台、喷涂基板、X轴直线模组、Y轴直线模组，以及一一对应的多个Z轴直线模组和喷枪，其中：<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多源喷雾热解设备，其特征在于，包括加热台、喷涂基板、X轴直线模组、Y轴直线模组，以及一一对应的多个Z轴直线模组和喷枪，其中：所述X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组均包括滑动配合的固定部分和活动部分，所述X轴直线模组的固定部分沿X轴方向设置，所述Y轴直线模组的固定部分沿Y轴方向设置并与所述X轴直线模组的活动部分固定连接，所述Z轴直线模组的固定部分沿Z轴方向设置，且所有所述Z轴直线模组的固定部分均固定在所述Y轴直线模组的同一活动部分上，或者所有所述Z轴直线模组的固定部分分别固定在所述Y轴直线模组的不同活动部分上，所述Z轴直线模组的活动部分设有万向球，所述Z轴直线模组的活动部分通过所述万向球连接与之对应的所述喷枪；所述喷涂基板铺设在所述加热台上并位于喷枪下方，以用于承接所有所述喷枪喷出的前驱体溶液。2.根据权利要求1所述的多源喷雾热解设备，其特征在于，每个所述喷枪各对应有控制器，所述控制器用于按预设喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱磊，宋健，曲婕，赖超，
申请(专利权)人：徐州纳烯新材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：