一种RF屏蔽全金属闸板阀制造技术

本申请公开了一种RF屏蔽全金属闸板阀，包括：缸体、缸体固定连接的阀体以及设置在阀体内部的定位框架，缸体内设置有活塞与顶杆；定位框架上设置有第一移动模块和第二移动模块，第一移动模块和第二移动模块与顶杆固定连接，第一移动模块和第二移动模块中的一个设置有密封组件，另一个设置有屏蔽组件；活塞通过顶杆带动第一移动模块和第二移动模块在阀体内往复移动；缸体上设置有真空通道，定位框架位于阀体的第一下限位且第一移动模块处于定位框架上的第二下限位时，第一移动模块的轴线与真空通道的轴线位置对应；定位框架位于阀体的第一上限位且第二移动模块处于定位框架的第三上限位时，第二移动模块的轴线与真空通道的轴线位置对应。轴线位置对应。轴线位置对应。

【技术实现步骤摘要】
一种RF屏蔽全金属闸板阀


[0001]本申请一般涉及控制阀
，具体涉及一种RF屏蔽全金属闸板阀。

技术介绍

[0002]闸板阀是真空系统中必不可少的一种阀门，在航天、加速器、光源、电子、半导体、真空系统、能源、机械以及相关科研超高真空系统中有着广泛的应用。
[0003]目前市面上比较常用的闸板阀是使用橡胶密封，由于橡胶本身的放气率较大，使用过程中还会影响系统的极限真空；且橡胶比较容易老化，尤其是加速器等带有一定辐射剂量的使用环境中老化速度会更快，造成密封性能变差、使用寿命缩短等影响系统正常运行的情况出现；因此，橡胶本身材质的原因，使用橡胶作为密封材料的闸板阀作为真空系统区段阀的真空系统很难达到超高真空的要求。
[0004]另外，现有闸板阀上未设置RF(Radio Frequency)屏蔽装置，在加速器真空环境中使用，当束流通过该位置时也会产生较大的阻抗以及高次模，影响束流的稳定性、增加损耗进而影响束流的寿命。

技术实现思路

[0005]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种RF屏蔽全金属闸板阀，可以满足超本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，包括：缸体、所述缸体固定连接的阀体以及设置在所述阀体内部的定位框架，其中，所述缸体内设置有活塞以及与所述活塞连接的顶杆，所述顶杆自所述缸体延伸至所述阀体内；所述定位框架上设置有第一移动模块和第二移动模块，所述第一移动模块和所述第二移动模块与所述顶杆固定连接，所述第一移动模块和所述第二移动模块中的一个设置有密封组件，另一个设置有屏蔽组件；所述活塞在所述缸体内往复移动，通过所述顶杆带动所述第一移动模块和所述第二移动模块在所述阀体内往复移动；所述缸体上设置有真空通道，所述定位框架位于阀体的第一下限位且所述第一移动模块处于所述定位框架上的第二下限位时，所述第一移动模块的轴线与所述真空通道的轴线位置对应；所述定位框架位于阀体的第一上限位且所述第二移动模块处于所述定位框架的第三上限位时，所述第二移动模块的轴线与所述真空通道的轴线位置对应。2.根据权利要求1所述的RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，所述定位框架上通过定位板将所述定位框架划分为第一容纳腔和第二容纳腔，所述第一移动模块设置在所述第一容纳腔内，所述第二移动模块设置在所述第二容纳腔内；所述定位板在位于所述第一容纳腔内的上端面为所述第一移动模块的第二下限位，所述定位板在位于所述第二容纳腔内的下端面为所述第二移动模块的第三上限位。3.根据权利要求2所述的RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，所述第一移动模块包括第一安装板、第二安装板和第一中心连杆，其中，所述第一中心连杆与所述顶杆固定连接，所述第一安装板和所述第二安装板通过多个第一连杆机构与所述第一中心连杆连接；所述第一连杆机构包括与所述第一中心连杆铰接的第一连杆，所述第一连杆通过第一连杆安装座固定在所述第一安装板或者第二安装板上，所述第一连杆安装座上设置有用于限制所述第一连杆转动的第一限位面。4.根据权利要求3所述的RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，所述第一连杆用于在所述第一中心连杆向下运动时，带动所述第一安装板和所述第二安装板向下运动；所述第一连杆还用于在所述第一安装板和所述第二安装板到达所述第二下限位时，在所述第一中心连杆继续向下运动时，所述第一连杆驱动所述第一安装板和所述第二安装板沿垂直于所述第一中心连杆的方向运动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王徐建，董海义，何平，宋洪，马永胜，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：新型
国别省市：