【技术实现步骤摘要】
一种基于相变材料的2
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2光波导开关及其制备方法
[0001]本专利技术属于光电子
，特别涉及的是一种基于相变材料的2
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2光波导开关及其制备方法。
技术介绍
[0002]随着虚拟现实、增强显示、云计算、大数据和人工智能等
的发展，对于通信的容量提出了更高的要求，寻找新的复用技术成为了光通信领域中新的研究热点。利用空间维度作为信息承载的新资源，为网络技术带来了新变化，空间维度的复用增加了通信网络的物理维度和信息容量，是一种亟待发展和利用的复用技术。空间模式复用，简称“模分复用”，是空间维度复用技术的一种，它利用正交的空间模式为每个工作波长提供多个信号通道，使得光通信的传输容量得到显著的提升。为了能够在硅芯片构建MDM网络，模式多路复用器/解复器，模式滤波器，模阶转换器，双模功率分配器，可重构的模式复用开关等是构建该复用网络的基本器件。可重构的模式复用开关是其中最基本的器件之一，可以在多模式频道实现数据和信号的切换，是构建更加灵活、有效的MDM网络，及实现硅芯片全光网络功能必不可
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于相变材料的2
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2光波导开关的制备方法，其特征在于包括如下步骤：（1）波导结构的制备在SiO2衬底材料上覆盖光刻胶，在基底上采用聚焦电子束曝光得到器件结构形状，所述器件结构为两根波导呈轴对称分布，所述波导的两端呈弯曲状，中间呈直线状，波导的宽度为100～800纳米，两根波导的直线段的间距为100~500纳米；采用反应离子刻蚀平台对基底进行刻蚀，得到高度为100～800纳米的两个输入端口和两个输出端口、中间为耦合区域的波导结构；(2)相变材料的集成对步骤（1）得到的波导结构进行光刻胶旋涂，在波导结构的耦合区域进行电子束曝光后，采用脉冲激光沉积工艺，以脉冲频率为3.5...
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