一种金属掩膜板制作用涂胶工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，包括清洗、填充、打磨以及涂胶。本发明专利技术按照清洗、填充、打磨、涂胶的顺序进行对金属掩膜板进行涂胶前的准备工作，将金属板表面的针孔以及缺陷处进行填充，在进行打磨，保证金属板板面的平整度。板面的平整度。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜板制作用涂胶工艺


[0001]本专利技术涉及金属掩膜板制备
，尤其涉及一种金属掩膜板制作用涂胶工艺。

技术介绍

[0002]光掩模版、掩膜版，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位；
[0003]现有市场上的金属板在制作前，忽略了金属板表面针孔与缺陷处没有被填充，在感光胶涂抹在金属板的表面后，流动的胶体在凝固前流进凹陷处内部，导致后期涂胶出现感光胶表面不平整。

技术实现思路

[0004]本专利技术提出了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，以解决金属板表面针孔与缺陷处没有被填充导致后期涂胶出现感光胶表面不平整问题。
[0005]本专利技术提出了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，其特征在于，包括如下步骤：
[0006]M1、清洗：将待加工的金属掩膜板放置在盛有氢氧化钠本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，其特征在于，包括如下步骤：M1、清洗：将待加工的金属掩膜板放置在盛有氢氧化钠溶液的器皿中浸泡，将液面的高度没过水平放置的金属掩膜板的上端面，且金属掩膜板的下端与器皿底部之间用防腐蚀的垫片分离开，浸泡13
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20分钟后，利用夹子将金属掩膜板进行翻面，保证两个端面能够完全的与溶液相互接触，浸泡结束后，将金属掩膜板放置在卡匣内侧，再将透水的卡匣放入掩膜板清洗机内进行清洗；M2、填充：由于金属掩膜板外部的存在不易发现的针孔或缺失的区域，在将感光胶涂抹在金属板的表面时，一段时间后，感光胶在硬化的过程中胶体向凹陷处以及针孔的内侧凹陷，从而使得感光胶在完全硬化之后，出现表面不平整，在经过清洗之后的金属掩膜板水平放置在支架上，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面；M3、完成M2步骤之后，对金属的表面进行打磨；M4，在打磨之后，将金属表面的金属粉末利用风机除去后，再将金属掩膜板放置在加热炉中进行预热，温度控制在30
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60摄氏度，预热的时间控制在10
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15分钟，预热结束后，将实现配置好的感光胶均匀的喷在金属掩膜板的外表面，借助金属掩膜板预热的温度，感光胶在喷射在金属掩膜板的表面后，凝固的时间延长，从而有充足的时间将感光胶与金属掩膜板之间的气泡进行处理。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐军，
申请(专利权)人：湖北浚星光电有限公司，
类型：发明
国别省市：