光扫描系统的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法制造方法及图纸

本发明专利技术的光扫描系统的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将第一数据及第二数据在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下保存于存储部，并且将第三数据保存于存储部的工序。序。序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光扫描系统的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法


[0001]本公开涉及光扫描系统的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法。

技术介绍

[0002]已知有光扫描装置，其具备反射镜器件和磁铁，该反射镜器件具有：第一可动部，其设置有反射镜；第二可动部，其以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴摆动的方式支撑第一可动部；以及支撑部，其以反射镜能够以沿着Y轴的第二轴为中心轴摆动的方式支撑第二可动部，该磁铁产生对设置于第一可动部的第一驱动用线圈、及设置于第二可动部的第二驱动用线圈发挥作用的磁场(例如，参照专利文献1)。在这种光扫描装置中，有时使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动。此外，对于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指，输入第一驱动用线圈的电流信号的频率低于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。另外，对于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指：输入第二驱动用线圈的电流信号的频率低于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2011
‑
33980号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]在将上述那样的光扫描装置用于例如3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的情况下，需要将相对于目标摆动角的误差抑制在例如
±
0.1
°
以下。
[0008]因此，本公开的目的在于，提供能够在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作的光扫描系统的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法。
[0009]用于解决问题的手段
[0010]本公开的一方面的光扫描系统的制造方法，其中，该光扫描系统具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于第一驱动用线圈及第二驱动用线圈的磁场；温度传感器，其测量反射镜器件及磁铁的使用温度；运算部，其将用于使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入第一驱动用线圈，并且将用于使反射
镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入第二驱动用线圈；以及存储部，其存储数据，该光扫描系统的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将针对多个装置结构中的各个获取的第一数据及第二数据，在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描系统的存储部，并且将针对至少一个装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描系统的存储部的工序。
[0011]本专利技术人等发现：在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下，相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，对每个个体(即，对每个反射镜器件及磁铁的组合)不一致；以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离，对每个个体不一致；以及相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化主要由于磁铁的温度特性而产生。因此，通过上述那样制造光扫描系统，在制造的光扫描系统中，能够使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动，并且能够使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动。通过以上，根据该光扫描系统的制造方法，能够制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描系统。
[0012]在本公开一方面的光扫描系统的制造方法中，也可以为，在获取第三数据的工序中，针对多个装置结构中的代表性的装置结构获取第三数据，在保存第一数据、第二数据及第三数据的工序中，将针对多个装置结构中的各个获取的第一数据及第二数据，在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描系统的存储部，并且将针对代表性的装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描系统的存储部。由此，能够高效地制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描系统。此外，针对多个装置结构中的代表性的装置结构，获取用于修正相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据，将针对代表性的装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描系统的存储部，如上述，是由于相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化主要由于磁铁的温度特性而产生。
[0013]在本公开一方面的光扫描系统的制造方法中，也可以为，在获取第三数据的工序中，针对多个装置结构中的各个获取第三数据，在保存第一数据、第二数据及第三数据的工序中，将针对多个装置结构中的各个获取的第一数据、第二数据及第三数据，在保持多个装置结构中的各个和第一数据、第二数据及第三数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描系统的存储部。由此，能够制造在使反射镜以第一轴及第
二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现更高精度的动作的光扫描系统。
[0014]本公开的一方面的光扫描系统的制造方法也可以为，还具备：以基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、以及由存储部存储的第一数据、第二数据及第三数据来生成第一电流信号及第二电流信号的方式，构成运算部的工序。由此，在制造的光扫描系统中，能够容易得到精确的第一电流信号及第二电流信号。
[0015]本公开的一方面的光扫描装置的制造方法，其中，该光扫描装置具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光扫描系统的制造方法，其中，所述光扫描系统具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场；温度传感器，其测量所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度；运算部，其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈，并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈；以及存储部，其存储数据，所述光扫描系统的制造方法具备：组装各自具备所述反射镜器件和所述磁铁的多个装置结构的工序；针对所述多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化，所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方；针对所述多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于所述使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第一数据及所述第二数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第一数据及所述第二数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描系统的所述存储部，并且将针对所述至少一个装置结构获取的所述第三数据保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描系统的所述存储部的工序。2.根据权利要求1所述的光扫描系统的制造方法，其中，在获取所述第三数据的所述工序中，针对所述多个装置结构中的代表性的装置结构获取所述第三数据，在保存所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据的所述工序中，将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第一数据及所述第二数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第一数据及所述第二数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描系统的所述存储部，并且将针对所述代表性的装置结构获取的所述第三数据保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描系统的所述存储部。3.根据权利要求1所述的光扫描系统的制造方法，其中，在获取所述第三数据的所述工序中，针对所述多个装置结构中的各个获取所述第三数据，在保存所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据的所述工序中，将针对所述多个
装置结构中的各个获取的所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描系统的所述存储部。4.根据权利要求1～3中任一项所述的光扫描系统的制造方法，其中，还具备：以基于所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、所述第二目标摆动角及所述第二目标频率、所述使用温度、以及由所述存储部存储的所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据来生成所述第一电流信号及所述第二电流信号的方式，构成所述运算部的工序。5.一种光扫描装置的制造方法，其中：所述光扫描装置具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场；运算装置，其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈，并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈；以及存储装置，其存储数据，所述光扫描装置的制造方法具备：组装各自具备所述反射镜器件和所述磁铁的多个装置结构的工序；...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木大几，藁科祯久，北浦隆介，河冈秀宜，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：