发光二极管及制备方法和显示面板技术

技术编号:33046650 阅读:25 留言:0更新日期:2022-04-15 09:30
本发明专利技术公开发光二极管及制备方法和显示面板,所述发光二极管包括半导体外延叠层,包含相对的第一表面和第二表面,包含第一半导体层、第二半导体层和第三半导体层,以及位于所述第二半导体层和第三半导体层之间的有源层;其特征在于:所述第一半导体层包括第一子层和第二子层,其中第一子层提供第一表面,第一表面为粗化的表面,第二子层相对第一子层更靠近第二表面,所述第一子层和第二子层具有包含Al的化合物半导体材料,并且第一子层的Al组分的含量低于所述第二子层的Al组分的含量。本发明专利技术可提升发光二极管的出光面的粗糙度,提升发光二极管的出光效率,同时可防止粗化过程中半导体外延叠层的过蚀刻现象的发生,提升发光二极管的可靠性。管的可靠性。管的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】发光二极管及制备方法和显示面板


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域,具体涉及发光二极管及制备方法和显示面板。

技术介绍

[0002]在LED领域中,随着显示应用领域的需求,一种将原本发光二极体晶片的尺寸减小而获得的微型LED(mLED)的新技术发展起来。微型LED(mLED)具有自发光、高效率、低功耗、高亮度、高稳定性、超高分辨率与色彩饱和度、响应速度快、寿命长等优点,已经在显示、光通信、室内定位、生物和医疗领域获得了相关的应用,并有望进一步扩展到可穿戴/可植入器件、增强显示/虚拟现实、车载显示、超大型显示以及光通信/光互联、医疗探测、智能车灯、空间成像等多个领域,具有明确可观的市场前景。进一步提高微型LED(mLED)的发光效率仍然是当前行业发展的重点。
[0003]微型LED(mLED)的发光效率主要由两个效率决定,第一个是电子空穴在有源区的辐射复合效率,即通常说的内量子效率;第二个是光的提取效率。欲提升发光效率可通过以下几个方式,其包括改善外延生长的品质,通过增加电子和空穴结合的几率,提升内部量子效率(IQE)。另一方面,发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.发光二极管,包括:半导体外延叠层,包含相对的第一表面和第二表面,包含第一半导体层、第二半导体层和第三半导体层,以及位于所述第二半导体层和第三半导体层之间的有源层;其特征在于:所述第一半导体层包括第一子层和第二子层,其中第一子层提供第一表面,第一表面为粗化的表面,第二子层相对第一子层更靠近第二表面,所述第一子层和第二子层具有包含Al的化合物半导体材料,并且第一子层的Al组分的含量低于所述第二子层的Al组分的含量。2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一子层由组合式(Al
X1
Ga1‑
X1
)
Y1
In1‑
Y1
P的化合物半导体材料组成,第二子层由组合式(Al
X2
Ga1‑
X2
)
Y
In1‑
Y2
P的化合物半导体材料组成,其中所述 0<X1<X2≤1,且所述X1和X2的差异介于0.1和0.35之间。3.根据权利要求2所述的发光二极管,其特征在于,所述第一子层中X1的范围为0.35~0.45。4.根据权利要求2所述的发光二极管,其特征在于:所述第二子层的X2的范围为0.5~0.7。5.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一子层的厚度范围为0~0.5um。6.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第二子层的厚度范围为0.8~4um。7.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一子层的粗化的第一表面的粗糙度Ra值为100~300nm。8.根据权利要求7所述的发光二极管,其特征在于:所述第一子层的粗化的第一表面的粗糙度Ra值为200~300nm。9.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一半导体层还包含第三子层,所述第三子层位于所述第二子层之上,且较第二子层靠近第二表面。10.根据权利要求9所述的发光二极管,其特征在于:所述第三子层跟第二子层具有包含Al的化合物半导体材料,所述第三子层的Al含量低于第二子层的Al含量。11.根据权利要求9所述的发光二极管,其特征在于:所述第三子层由组合式(Al
X3
Ga1‑
X3
)
Y3
In1‑
Y3
P的化合物半导体材料组成,其中所述 X3的范围为0.35~0.45。12.根据权利要求9所述的微发光二极管,其特征在于:所述第三子层的厚度为1~2μm。13.根据权利要求9所述的微发光二极管,其特征在于:所述第二子层的厚度为0.8~2μm。14.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:还包含绝缘保护层,形成于所述半导体外延叠层的表面和侧壁。15.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述发光二极管具有从2μm到5μm、5μm到10μm、10μm到20μm、20μm到50μm或从50μm到100μm的宽度或长度或高度。16.发光二极管,包括:半导体外延叠层,包含相对的第一表面和第二表面,包含第一半导体层、第二半导体层和第三半导体层,以及位于所述第二半导体层和第三半导体层之间的有源层;所述第一半导体层提供第一表面,第一表面为粗化的表面;

【专利技术属性】
技术研发人员:王彦钦陈劲华郭桓邵彭钰仁黄少华
申请(专利权)人:厦门市三安光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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