N-TOPCon电池及其制作工艺制造技术

一种N

【技术实现步骤摘要】
N
‑
TOPCon电池及其制作工艺


[0001]本申请涉及太阳能电池
，具体而言，涉及一种N
‑
TOPCon电池及其制作工艺。

技术介绍

[0002]N型TOPCon电池和HJT电池是当下比较热门的两大新型电池，N型TOPCon电池与现有的PERC电池产线具有很好的兼容性。对于N型TOPCon太阳能电池，目前的主流制备工艺包括：硅片
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制绒
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正面硼扩散形成N型硅片
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背面刻蚀
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隧穿氧化
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原位掺杂非晶硅
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去绕镀
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正面氧化铝
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正面氮化硅
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背面氮化硅
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印刷烧结
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测试分选。
[0003]P型太阳能电池的制备工艺中，需要对硅片进行磷扩散以使得硅片成为P型硅片，进行磷扩散的主要目的是为了形成PN结。而P型太阳能电池的寿命相较于N型太阳能电池寿命较短，现有技术中，有在常规P型太阳能电池的制作工艺前本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种N
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TOPCon电池的制作工艺，其特征在于，包括：S1：对硅片进行磷扩散以吸附所述硅片的杂质；S2:去除所述硅片表面形成的磷硅玻璃；S3：对所述硅片依次进行制绒、硼扩散形成pn结；S4：对步骤S3得到的硅片进行后处理制得N
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TOPCon电池。2.根据权利要求1所述的N
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TOPCon电池的制作工艺，其特征在于，所述对硅片进行磷扩散的步骤包括：在第一温度下通入磷源并将所述硅片保持在所述磷源的气氛下，然后在第二温度下保温，所述第一温度小于所述第二温度；可选地，所述第一温度为700～900℃，所述第二温度为800～1000℃。3.根据权利要求2所述的N
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TOPCon电池的制作工艺，其特征在于，所述磷源包括三氯氧磷、氧气和氮气。4.根据权利要求1～3任一项所述的N
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TOPCon电池的制作工艺，其特征在于，去除所述硅片表面形成的磷硅玻璃的步骤包括：将步骤S1得到的所述硅片采用HF进行清洗。5.根据权利要求1～3任一项所述的N
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TOPCon电池的制作...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑波，柯益萍，王闻捷，
申请(专利权)人：东方日升新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：