一种真空干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空干燥装置，涉及基板制造技术领域。该真空干燥装置包括干燥仓、支撑组件、举升组件及真空泵。干燥仓的底部设置有送料口，送料口处滑动设置有密封门，以打开或关闭送料口；支撑组件包括多个支撑杆，多个支撑杆处于同一高度且水平滑动设置于干燥仓的侧壁；举升组件包括驱动件及支撑板，支撑板间隔设置有多个支撑待干燥件的支撑柱，驱动件能够驱动支撑板将待干燥件送入干燥仓，并将待干燥件支撑于支撑杆上，此时支撑杆处于待干燥件的分隔线处；真空泵与干燥仓连通，以对干燥仓抽真空。该真空干燥装置的支撑杆设置于产品之间的分隔线处，防止对产品范围内的膜层造成影响，从而大大提高了产品的良品率。从而大大提高了产品的良品率。从而大大提高了产品的良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空干燥装置


[0001]本技术涉及基板制造
，尤其涉及一种真空干燥装置。

技术介绍

[0002]薄膜晶体管液晶显示器的基板制作过程中，真空减压干燥是一道重要的工序。真空减压干燥是对涂布有光致抗蚀剂等膜层的涂覆液的基板进行减压干燥处理，使得膜层内的溶液较容易达到沸点蒸发，从而使膜层固化。
[0003]然而，目前的真空干燥装置，其内部的支撑台上设置有多个支撑柱，在进行真空减压干燥时，基板放置在支撑柱上。由于支撑柱为固定的，在对基板进行真空减压干燥时，基板与支撑柱的接触位置固定，当基板的膜层形貌固定后，会在与支撑杆相接触的位置出现明显的环状不良，对产品的良品率造成影响。
[0004]针对上述问题，需要开发一种真空干燥装置，以解决膜层经真空干燥后形貌固定，会在与支撑柱接触的位置出现明显的环形不良的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提出一种真空干燥装置，能够防止对产品范围内的膜层造成影响，从而大大提高了产品的良品率。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：/>[0007]一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：干燥仓(1)，所述干燥仓(1)的底部设置有送料口(11)，所述送料口(11)处滑动设置有密封门，以打开或关闭所述送料口(11)；支撑组件(2)，所述支撑组件(2)包括多个支撑杆(21)，多个所述支撑杆(21)处于同一高度且水平滑动设置于所述干燥仓(1)的侧壁；举升组件(3)，所述举升组件(3)包括驱动件(31)及支撑板(32)，所述支撑板(32)间隔设置有多个支撑待干燥件的支撑柱(321)，所述驱动件(31)能够驱动所述支撑板(32)通过所述送料口(11)将所述待干燥件送入所述干燥仓(1)，并将所述待干燥件支撑于所述支撑杆(21)上，此时所述支撑杆(21)处于所述待干燥件的分隔线处；及真空泵(4)，所述真空泵(4)与所述干燥仓(1)连通，以对所述干燥仓(1)抽真空。2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述干燥仓(1)的侧壁沿竖直方向间隔设置有多个所述支撑组件(2)。3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述干燥仓(1)的侧壁沿竖直方向间隔设置有多个隔断组件(5)，所述隔断组件(5)能够封闭所述干燥仓(1)并将所述干燥仓(1)分隔为多个独立仓(12)，每个所述独立仓(12)内均设置有一个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪杰，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：