准分子激光器性能综合测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供准分子激光器性能综合测试装置，包括腔体，所述腔体具有入光口，所述腔体内设置有旋转组件、第一光纤探头、第二光纤探头以及光电转换器，所述旋转组件上设置有分光组件，所述入光口对应所述分光组件的入射光路，所述第一光纤探头位于所述分光组件的透射光路上、第二光纤探头以及光电转换器均位于所述分光组件的反射光路上，所述第一光纤探头光纤连接波长计，所述第二光纤探头光纤连接光谱仪，所述光电转换器电连接示波器，本发明专利技术中，测试装置可对准分子激光器的综合性能，即准分子激光器的光束质量、光谱、脉宽、偏振及能量进行综合检测，具有实时、高效、自动、可靠的特点。可靠的特点。可靠的特点。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光器性能综合测试装置


[0001]本专利技术属于激光
，具体涉及一种准分子激光器性能综合测试装置。

技术介绍

[0002]传统的激光测试装置，测试光束质量、光谱或脉宽，受激光功率的限制，采用分开测试。准分子激光整体性能测试的种类繁多，搭建光路复杂，引入了较多的测试误差，而且测试效率偏低，费时费力。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例涉及一种准分子激光器性能综合测试装置，可对准分子激光器的综合性能，即准分子激光器的光束质量、光谱、脉宽、偏振及能量进行综合检测，具有实时、高效、自动、可靠的特点。
[0004]本专利技术实施例提供一种准分子激光器性能综合测试装置，包括腔体，所述腔体具有入光口，所述腔体内设置有旋转组件、第一光纤探头、第二光纤探头以及光电转换器，所述旋转组件上设置有分光组件，所述入光口对应所述分光组件的入射光路，所述第一光纤探头位于所述分光组件的透射光路上、第二光纤探头以及光电转换器均位于所述分光组件的反射光路上，所述第一光纤探头光纤连接波长计，所述第二光纤探头光纤连接光谱仪，所述光电转换器电连接示波器。
[0005]作为实施例之一，所述旋转组件包括第一旋转台和第二旋转台，所述分光组件包括第一分光镜和第二分光镜，所述第一分光镜位于所述第一旋转台上，所述第二分光镜位于所述第二旋转台上，所述入光口对应所述第一分光镜的入射光路，所述第二分光镜位于所述第一分光镜的反射光路上。
[0006]作为实施例之一，所述腔体内还设置有第二平移台和可移动地设置于所述第二平移台上的第二移动台面，所述第二移动台面上设置有第二能量计探头，所述第二能量计探头位于所述第一分光镜的透射光路上。
[0007]作为实施例之一，所述腔体内还设置有第三平移台和可移动地设置于所述第三平移台上的第三移动台面，所述第三移动台面上沿其移动方向并排设置有衰减片以及第三能量计探头，所述第三移动台面的移动方向垂直于所述第二分光镜的入射光路且位于所述第二分光镜的入射光路上。
[0008]作为实施例之一，所述第一分光镜和所述第二分光镜均为楔形分光镜。
[0009]作为实施例之一，所述腔体内还设置有第一平移台和可移动地设置于所述第一平移台上的第一移动台面，所述第一移动台面上沿其移动方向并排设置有聚焦镜与第一能量计探头，所述第一移动台面移动方向垂直于所述分光组件的入射光路且位于所述入光口与所述分光组件之间。
[0010]作为实施例之一，所述聚焦镜的焦距为0.25m-1m。
[0011]作为实施例之一，还包括光束质量分析仪，所述光束质量分析仪位于所述分光组
件的反射光路上。
[0012]作为实施例之一，所述第一光纤探头、所述第二光纤探头以及所述光电转换器的入射光路上设置有毛玻璃片。
[0013]作为实施例之一，所述腔体包括方框、底板以及上盖，所述底板与所述上盖相对设置且配合密封，所述上盖为透明板；所述底板上设置有多个排孔，多个所述排孔相邻间隔为10mm-20mm。
[0014]本专利技术实施例至少具有如下有益效果：
[0015]在本实施例的测试装置中，通过旋转组件可以调整分光组件的入射角度，进而可以达到调整分光组件的反射光路的目的，具体地，通过调整分光组件的反射光路实现控制调节激光分别进入第一光纤探头、第二光纤探头以及光电转换器，由此快速检测光束的波长、光谱、脉宽；以此本专利技术提供一种测试方便，测试效率高，光路简单，测试精度高的能够对准分子激光器的综合性能进行测试的测试装置。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1为本专利技术实施例提供的准分子激光器性能综合测试装置的测试光束质量的结构示意图；
[0018]图2为本专利技术实施例提供的准分子激光器性能综合测试装置的测试光谱的结构示意图；
[0019]图3为本专利技术实施例提供的准分子激光器性能综合测试装置的测试脉宽的结构示意图；
[0020]图4为本专利技术实施例提供的准分子激光器性能综合测试装置的腔体的结构示意图；
[0021]图5为图4的腔体俯视图；
[0022]图6为图5中A处放大图；
[0023]图7为本专利技术实施例提供的准分子激光器性能综合测试装置的橡胶密封圈的结构示意图。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]参见图1-图7，本专利技术实施例提供一种准分子激光器性能综合测试装置，包括腔体，腔体为长方体结构，其包括方框、底板6以及上盖5，底板6与上盖5相对设置且配合密封方框，方框由前板2、后板4以及两个侧板1(3)拼接组成，在方框对应上盖5的一侧具有环形
的密封槽35，且在该密封槽35内设置有橡胶密封圈36，当将上盖5安装于方框上时，上盖5压紧橡胶密封圈36，进而形成上盖5与方框之间的密封效果，具体是在上盖5的边沿处设置有通孔，以方便与方框之间的连接固定，当然底板6也采用类似的方式与方框底部连接固定；通常上盖5采用透明板，比如有机玻璃，从而可以方便观察腔体的内侧，进而利于腔体内的光路调节；在其中一侧板1上设置有入光口，准分子激光器产生的激光束由入光口进入腔体内，且在前板2上设置有进气口，在后板4上设置以后出气口，进气口位置处于前板2偏下位置，进气口直径小于或者等于6mm，视测试需求可相应更改直径大小，出气口位置处于前板2偏上位置，出气口直径小于或者等于6mm，视测试需求可相应更改直径大小，通过进气口可以向腔体内通入氮气，可以起到净化腔体内光路的目的。
[0026]参见图1-图3，进一步地，腔体内设置有旋转组件、第一光纤探头18、第二光纤探头27以及光电转换器32，旋转组件上设置有分光组件，入光口对应分光组件的入射光路，即由入光口进入腔体内的激光束可以入射至分光组件，然后通过控制旋转组件转动，进而可以达到调节分光组件的反射光路的目的。具体地，可以通过旋转组件将激光束射至第一光纤探头18、第二光纤探头27以及光电转换器32，且由于第一光纤探头18通过光纤19连接波长计20，由此当波长计20开启时，可以对激光束进行波长检测；而第二光纤探头27通过光纤28连接光谱仪29，当光谱仪29开启时，可以对激光束进行光谱测试；光电转换器32电连接示波器34，光电转换器32采用光电二极管探测器，可以将光信号转换为电信号，并通过BNC线33传输至示波器34，则当示波器34开启时，则可以测试准分子激光器的脉宽。第一光纤探头18、第二光纤探头27以及光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.准分子激光器性能综合测试装置，包括腔体，所述腔体具有入光口，其特征在于：所述腔体内设置有旋转组件、第一光纤探头、第二光纤探头以及光电转换器，所述旋转组件上设置有分光组件，所述入光口对应所述分光组件的入射光路，所述第一光纤探头位于所述分光组件的透射光路上、第二光纤探头以及光电转换器均位于所述分光组件的反射光路上，所述第一光纤探头光纤连接波长计，所述第二光纤探头光纤连接光谱仪，所述光电转换器电连接示波器。2.如权利要求1所述的准分子激光器性能综合测试装置，其特征在于：所述旋转组件包括第一旋转台和第二旋转台，所述分光组件包括第一分光镜和第二分光镜，所述第一分光镜位于所述第一旋转台上，所述第二分光镜位于所述第二旋转台上，所述入光口对应所述第一分光镜的入射光路，所述第二分光镜位于所述第一分光镜的反射光路上。3.如权利要求2所述的准分子激光器性能综合测试装置，其特征在于：所述腔体内还设置有第二平移台和可移动地设置于所述第二平移台上的第二移动台面，所述第二移动台面上设置有第二能量计探头，所述第二能量计探头位于所述第一分光镜的透射光路上。4.如权利要求2所述的准分子激光器性能综合测试装置，其特征在于：所述腔体内还设置有第三平移台和可移动地设置于所述第三平移台上的第三移动台面，所述第三移动台面上沿其移动方向并排设置有衰减片...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，李祖友，孔令浩，张蒙蒙，江锐，詹绍通，刘海东，刘明雷，李一鸣，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：