一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，所述MEMS无线传感装置包括频率选择超构表面，所述频率选择超构表面包括多个呈阵列周期性排列的单元胞。本发明专利技术的MEMS无线传感装置利用人工超构表面灵活的电磁场操控能力，可以实现正常透过无线通信信号，并阻断稳态电磁干扰、瞬态电磁干扰，突破了传统电子设备抑制电磁干扰技术的瓶颈，同时解决强电磁环境下MEMS无线传感装置的可靠性和无线通信的问题。适应超强电磁环境的超构表面集成MEMS无线传感技术可极大地推动电子器件设备的信息化、智能化发展，对我国能源安全、经济社会乃至国家安全都具有重要的意义。国家安全都具有重要的意义。国家安全都具有重要的意义。

【技术实现步骤摘要】
一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置


[0001]本专利技术属于光电子学和电气工程领域，涉及适应强电磁环境的电子器件设备防护技术，特别是涉及一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置。

技术介绍

[0002]基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)的无线传感技术是工业物联网、大数据、人工智能、智慧城市、智慧能源、无人系统、空天技术等诸多领域的基础，在社会经济和国家安全方面发挥着越来越重要的作用。适应极端环境(如高温、深海、强电磁场等)的无线传感技术是科技制高点，也一直是国际前沿科技竞争的热点。当前，我国特高压电网的建设在不断加速，特高压电网成为事关国计民生的能源大动脉，而运用基于无线传感技术的电力工业物联网保障特高压电网的安全运行已经是我国重大的迫切需求。但是，特高压电网往往伴随着超强电磁场，而超强电磁场不仅对各类电子器件会有严峻的电磁干扰，还会引起电子器件的物理损伤(如局部放电、电击穿、机械应力等)甚至失效。除特高压电网之外，为了研制新一代信息化、智能化设备或装备，还有很多军民行业领域也迫切本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，其特征在于：所述MEMS无线传感装置包括频率选择超构表面，所述频率选择超构表面包括多个呈阵列周期性排列的单元胞。2.根据权利要求1所述的适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，其特征在于：所述单元胞呈正方形，所述频率选择超构表面的共振波长至少为所述单元胞的边长的十倍。3.根据权利要求1所述的适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，其特征在于：多个所述单元胞呈正方形阵列排布。4.根据权利要求3所述的适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，其特征在于：所述正方形阵列的每行或每列至少包括7个所述单元胞。5.根据权利要求1所述的适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，其特征在于：所述单元胞包括依次堆叠的第一金属层、介质层及第二金属层，所述第一金属层与所述第二金属层均包括镂空部分与非镂空部分。6.根据权利要求5所述的适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，其特征在于：所述第一金属层与所述第二金属层的图案互补。7.根据权利要求5所述的适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，其特征在于：所述第一金属层在水平面上的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，甘峰源，周易，杨雪雷，王磊，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：