本实用新型专利技术涉及真空腔体技术领域，特别是一种真空腔体温度控制装置，包括壳体和转动安装于所述壳体上的密封门，所述壳体内具有真空腔，所述密封门上设有温度传感器；所述真空腔的底壁上固定安装有传导热辐射的导热柱，所述导热柱上设有用于供热的加热丝，所述壳体的下端面设有用于移动所述加热丝的升降装置；所述真空腔的侧壁上固定安装有用于散热的第一导热板，所述第一导热板上连接有用于引流的导管，所述导管贯穿所述壳体；所述壳体上端设有抽气机；本实用新型专利技术通过加热丝进行加热，并通过升降装置控制加热丝和真空腔的接触，保证加热工作的进行，减少加热工作结束后，加热丝上的余热对真空腔的影响。的余热对真空腔的影响。的余热对真空腔的影响。
【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体温度控制装置
[0001]本技术涉及真空腔体
，特别是一种真空腔体温度控制装置。
技术介绍
[0002]真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变，真空腔体在很多材料的加工生产中起到非常重要的作用，而且在腔体内进行材料加工时，需要调节温度，从而使真空腔内部的满足生产工艺的需求。现有的设备例如一些真空管式炉设备，在工作时通过电阻丝进行加热，能够使真空腔快速升温，进而满足工作需求，但在加热过后，加热丝依旧能提供热量，工作后的余热会导致温度进一步缓慢上升，温度过高容易损坏仪器，对于整体的温度没有很好的控制，会影响工作的进行。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种真空腔体温度控制装置，解决真空腔体温度不易控制的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种真空腔体温度控制装置，包括壳体和转动安装于所述壳体上的密封门，所述壳体内具有真空腔，所述密封门上设有温度传感器；所述真空腔的底壁上固定安装有传导热辐射的导热柱，所述导热柱上设有用于供热的加热丝，所述壳体的下端面设有用于移动所述加热丝的升降装置；所述真空腔的侧壁上固定安装有用于散热的第一导热板，所述第一导热板上连接有用于引流的导管，所述导管贯穿所述壳体；所述壳体上端设有抽气机。
[0006]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过加热丝进行加热，并通过升降装置控制加热丝和真空腔的接触，保证加热工作的进行，减少加热工作结束后，加热丝上的余热对真空腔的影响，通过设置于密封门上的温度传感器测量真空腔内的温度变化，减少加热装置和散热装置对温度检测的影响。
[0007]进一步，所述导热柱内设有导热腔，所述加热丝位于所述导热腔52内
[0008]进一步，所述升降装置包括固定于所述壳体的底壁的两个电机，所述电机的下端连接有螺杆，所述加热丝下端固定连接有托板，所述托板和所述螺杆螺纹连接。
[0009]进一步，所述壳体的两侧壁上均固定安装有储液盒，所述储液盒上连接有泵机，所述泵机和所述导管连接。
[0010]进一步，所述第一导热板固定于所述真空腔背向所述密封门的侧壁，所述真空腔的侧壁设有第二导热板，所述第二导热板位于所述第一导热板两侧。
[0011]进一步，所述第一导热板和所述第二导热板通过所述导管连接，所述导管朝向所述第二导热板一端固定连接有电磁阀。
附图说明
[0012]图1为本技术一实施例的整体结构示意图。
[0013]图2为本技术一实施例的真空腔处剖面结构示意图。
[0014]图3为本技术一实施例的第二导热板处剖面结构示意图。
[0015]图中：11、壳体；12、真空腔；13、密封门；14、温度传感器；21、抽气机；22、连接板；23、液压杆；31、第一导热板；32、第二导热板；41、泵机；42、储液盒；43、导管；44、电磁阀；51、导热柱；52、升降槽；53、螺杆；54、托盘；55、加热丝；56、电机。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1，本技术提供
[0018]一种真空腔体温度控制装置，包括壳体11和转动安装于所述壳体11的密封门13，所述壳体11内具有真空腔12，所述密封门13上设有温度传感器14，所述温度传感器14朝向所述真空腔12一侧，固定于所述密封门13，能减少所述真空腔12内加热和散热装置造成的干扰，方便记录准确的真空腔12温度变化情况，所述壳体11上端设有抽气机21，用于排出空气，使真空腔12变成真空状态。
[0019]如图2所示，所述真空腔12的底壁上固定安装有导热柱51，所述导热柱51内设有向下贯穿所述壳体11的导热腔52，所述导热腔52内设有用于加热的加热丝55，所述加热丝55位于所述导热腔52内和所述导热腔52的内壁抵接，所述加热丝55工作产生热量，所述加热丝55产生的热量通过所述导热柱51辐射到所述设真空腔12内，为了解决加热是55对真空腔12加热到一定程度后，需要停止供热，维持相应的温度即可，或者在干燥真空腔时需要升温，而后需要控制温度下落，加热丝55不能迅速降温，容易影响整体的温度控制效率，因此，所述壳体11的下端面设有用于移动所述加热丝55的升降装置，通过升降装置控制所述加热丝55和导热柱51的分离，对温度控制有较大的帮助；所述升降装置包括固定于所述壳体11的底壁的两个电机56，所述电机56的下端连接有螺杆53，所述加热丝55下端固定连接有托板54，所述托板54和所述螺杆53螺纹连接，通过两个所述电机56的工作驱动所述螺杆53转动，进而控制所述托板54和所述加热丝55移动。
[0020]对所述真空腔12进行加热干燥后，为满足工作需要，需要对真空腔进行降温，所述真空腔12的侧壁上固定安装有用于散热的第一导热板31，所述第一导热板31内部空，所述第一导热板31上连接有用于引流的导管43，所述导管43贯穿所述壳体11，所述壳体11的两侧壁上均固定安装有储液盒42，所述储液盒42上连接有泵机41，所述泵机41和所述导管43连接，两侧的泵机41工作，将用于降温的液体在导管43内运输，液体从一侧的泵机41灌入第一导热板31吸收热量，并从另一侧排出，当一侧储液盒42内的液体不够时，从另一侧已冷却的储液盒42内滚入液体，储液盒42内可根据需要进行更换用于提供低温的低温液或用于散热的水。
[0021]不同工作状态下，对温度的变化需求不同，所述第一导热板31固定于所述真空腔12背向所述密封门13的侧壁，所述真空腔12的侧壁设有第二导热板32，所述第二导热板32位于所述第一导热板31两侧，所述第一导热板31和所述第二导热板32通过所述导管43连
接，所述导管43朝向所述第二导热板32一端固定连接有电磁阀44，如图3所示，通过电磁阀44控制第二导热板32是否工作，当第二导热板32启动时，能提高整体散热效率。
[0022]工作状态
[0023]将需要进行处理的材料放置于真空腔12内，关闭封闭门13，启动抽气机21，通过抽气机21排出真空腔12内的空气，保证使用效果。根据工作需要，当需要升温时，加热丝55工作，产生热量，并通过导热柱51将热辐射传导到真空腔12内，当加热结束，电机56工作，驱动螺杆53转动，螺杆53带动盘54向下移动，托盘54带动加热丝55和导热柱51分离，防止加热丝55上的余热对真空腔温度变化造成影响，当需要散热时，两侧的泵机41启动工作，一侧泵机41将储液盒42内的液体通过导管43注入第一导热板41内，另一侧的泵机41将吸收热量的液体从第一导热板41内抽出，当需要维持低温环境本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空腔体温度控制装置，包括壳体（11）和转动安装于所述壳体（11）上的密封门（13），所述壳体（11）内具有真空腔（12）；其特征在于：所述密封门（13）上设有温度传感器（14）；所述真空腔（12）的底壁上固定安装有传导热辐射的导热柱（51），所述导热柱（51）上设有用于供热的加热丝（55），所述壳体（11）的下端面设有用于移动所述加热丝（55）的升降装置；所述真空腔（12）的侧壁上固定安装有用于散热的第一导热板（31），所述第一导热板（31）上连接有用于引流降温液的导管（43），所述导管（43）贯穿所述壳体（11）；所述壳体（11）上端设有抽气机（21）。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体温度控制装置，其特征在于：所述导热柱（51）内设有导热腔（52），所述加热丝（55）位于所述导热腔（52）内。3.根据权利要求2所述的一种真空腔体温度控制装置，其特征在于：所述升降装置包括固定于所述壳体（11...
【专利技术属性】
技术研发人员：宫动锋，蔡鸿福，
申请(专利权)人：杭州铄峰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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