一种可扩展毫米波相控阵单元及有源天线阵面制造技术

本实用新型专利技术公开一种可扩展毫米波相控阵单元及有源天线阵面，包括从上到下依次设置的第一层玻璃衬底、第二层玻璃衬底和介质层，第二层玻璃衬底内设置有半导体器件层，第一层玻璃衬底远离第二层玻璃衬底的端面上设置若干天线单元，介质层远离第二层玻璃衬底的端面上设置有若干BGA阵列，BGA阵列与半导体器件层、天线单元均连接；本实用新型专利技术将天线与射频有源电路集成在一起，形成片上天线，采用石英玻璃作为天线的衬底，具有介电常数低，与半导体工艺兼容等优点，满足毫米波单元的高精度加工要求；与传统的天线集成工艺相比，大大缩短了天线与射频前端之间的距离，减小了用于连接天线与电路的键合线引入的寄生电容等寄生参数，减小了互连损耗。小了互连损耗。小了互连损耗。

【技术实现步骤摘要】
一种可扩展毫米波相控阵单元及有源天线阵面


[0001]本技术涉及天线领域，具体涉及一种可扩展毫米波相控阵单元及有源天线阵面。

技术介绍

[0002]目前，相控阵雷达正朝着小型化、轻薄化、高集成的方向发展，尤其是在空间有限的情况下，传统的有源天线阵面有多方面的不足。传统有源天线阵面的天线单元与TR组件等通过射频电缆等方式进行信号传输，其占用的体积大，馈线距离长，损耗较大，而且毫米波波长短，传统的有源天线阵面封装形式难以实现毫米波相控阵雷达的半波长单元间距，以及天线阵面的高集成和轻薄化。并且传统有源天线阵面较难进行阵列单元数的扩展，天线单元数较多时，成本高，可靠性低。
[0003]鉴于上述缺陷，本技术创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本技术。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术缺陷，本技术采用的技术方案在于，提供一种可扩展毫米波相控阵单元，包括从上到下依次设置的第一层玻璃衬底、第二层玻璃衬底和介质层，所述第二层玻璃衬底内设置有半导体器件层，所述第一层玻璃衬底远离所述第二层玻璃衬底的端面上设置若干天线单元，所述介质层远离本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可扩展毫米波相控阵单元，其特征在于，包括从上到下依次设置的第一层玻璃衬底、第二层玻璃衬底和介质层，所述第二层玻璃衬底内设置有半导体器件层，所述第一层玻璃衬底远离所述第二层玻璃衬底的端面上设置若干天线单元，所述介质层远离所述第二层玻璃衬底的端面上设置有若干BGA阵列，所述BGA阵列与所述半导体器件层、所述天线单元均连接；所述半导体器件层包括有源或无源芯片。2.如权利要求1所述的可扩展毫米波相控阵单元，其特征在于，所述第一层玻璃衬底和所述第二层玻璃衬底之间还设置有若干层玻璃衬底。3.如权利要求2所述的可扩展毫米波相控阵单元，其特征在于，所述第一层玻璃衬底、所述第二层玻璃衬底和所述玻璃衬底的厚度不小于100um。4.如权利要求1所述的可扩展毫米波相控阵单元，其特征在于，所述介质层设置有第一层介质层和第二层介质层，所述第二层介质层的两端面分别设置有若干第一重布线层和若干第二重布线层，所述第一重布线层设置在所述第一层介质层和所述第二层介质层之间。5.如权利要求4所述的可扩展毫米波相控阵单元，其特征在于，所述可扩展...

【专利技术属性】
技术研发人员：季宏凯，王蕴玉，刘元昆，赵丁雷，朱国振，邱宇，刘娟，刘勇，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第三十八研究所，
类型：新型
国别省市：