射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备技术方案

本发明专利技术公开了一种射频电源控制系统、方法、工艺腔室及半导体工艺设备。该系统包括：控制单元、安全互锁控制板和延时控制模组；全互锁控制板、延时控制模组、射频电源匹配器之间形成安全互锁回路；安全互锁控制板用于判断工艺腔室的安全状态是否满足射频电源的启动条件，若满足，则向射频电源发送可被开启的安全互锁信号，射频电源能够执行开启的动作；控制单元用于向射频电源发送开启的控制指令，以及向延时控制模组发送置位控制信号或重置控制信号；延时控制模组用于在接收到重置控制信号后保持安全互锁回路导通，在接收到置位控制信号后开始计时，并在计时达到设定时长后执行切断安全互锁回路的动作，使射频电源关闭。实现对射频电源的延时保护。对射频电源的延时保护。对射频电源的延时保护。

【技术实现步骤摘要】
射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备


[0001]本专利技术属于半导体制造
，更具体地，涉及一种射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备。

技术介绍

[0002]等离子体刻蚀设备在生产过程中，需要使用射频电源对等离子体提供能量对晶圆进行刻蚀，并在启辉完成后正常关闭射频电源。在关闭射频电源前可能会由于软件异常以及硬件故障而导致无法发出关闭指令，导致腔室内由于长时间启辉损坏射频电源或者对腔室造成损害。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提出一种射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备，实现对射频电源的延时保护，避免射频电源无法关闭导致的设备损坏。
[0004]第一方面，本专利技术提出一种射频电源控制系统，应用于半导体工艺设备中，包括：控制单元、安全互锁控制板和延时控制模组；
[0005]所述安全互锁控制板通过所述延时控制模组与所述射频电源连接，所述射频电源与匹配器连接，所述匹配器与所述安全互锁控制板连接，所述全互锁控制板、所述延时控制模组、所述射频电源和所述匹配器之间形成安全互锁回路；
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频电源控制系统，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括：控制单元、安全互锁控制板和延时控制模组；所述安全互锁控制板通过所述延时控制模组与所述射频电源连接，所述射频电源与匹配器连接，所述匹配器与所述安全互锁控制板连接，所述全互锁控制板、所述延时控制模组、所述射频电源和所述匹配器之间形成安全互锁回路；所述延时控制模组、所述射频电源、所述匹配器分别与所述控制单元连接；所述安全互锁控制板用于判断所述半导体工艺设备的工艺腔室的安全状态是否满足所述射频电源的启动条件，若满足，则向所述射频电源发送可被开启的安全互锁信号，所述射频电源能够执行开启的动作，否则，向所述射频电源发送关闭的安全互锁信号，使所述射频电源保持关闭；所述控制单元用于向所述射频电源发送开启的控制指令，以控制所述射频电源执行开启的动作，以及向所述延时控制模组发送置位控制信号或重置控制信号；所述延时控制模组用于在接收到所述重置控制信号后清空计时并保持所述安全互锁回路导通，在接收到所述置位控制信号后开始计时，并在计时达到设定时长后执行切断所述安全互锁回路的动作，使所述射频电源关闭。2.根据权利要求1所述的射频电源控制系统，其特征在于，所述延时控制模组包括至少一个延时继电器，每个所述延时继电器控制一个所述射频电源的延时关闭。3.根据权利要求1所述的射频电源控制系统，其特征在于，所述工艺腔室的安全状态包括射频电缆的连接状态、工艺腔室的闭合状态、屏蔽结构的完整状态、屏蔽结构的过热状态以及所述及匹配器的工作状态。4.一种射频电源控制方法，应用于权利要求1
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3任意一项所述的射频电源控制系统，其特征在于，所述方法通过所述控制单元执行，所述方法包括：步骤S1：读取需要所述工艺腔室执行的工艺任务，所述工艺任务包括顺序执行的多个工步；步骤S2：判断当前工步是否需要开启射频电源，若是，则进行步骤S...

【专利技术属性】
技术研发人员：乐中天，郭春，孙运东，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：