VCSEL调谐装置和用于调谐VCSEL的方法制造方法及图纸

一种用于垂直腔面发射激光器VCSEL(20)的调谐装置，其包括：deltasigma调制器(10)，其配置为生成包括比特信号的比特流(BS)；以及电流源(11)，其配置为根据控制信号(CS)以可切换的方式向VCSEL(20)提供电流。比特流(BS)基于目标状态信号(TS)生成，并且控制信号(CS)对应于比特流(BS)的比特信号或从比特流(BS)的比特信号导出。信号导出。信号导出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】VCSEL调谐装置和用于调谐VCSEL的方法
[0001]本公开一般涉及一种用于垂直腔面发射激光器VCSEL的调谐装置，以及一种用于调谐VCSEL的方法。
[0002]对于许多应用来说，期望具有在其波长方面可调谐且分辨率高的激光器。特别是在激发光学谐振器或操作通常用于最先进的高灵敏度位移传感器的光学干涉仪时，调谐到精确波长的激光对于实现系统的特定效率和/或灵敏度至关重要。垂直腔面发射激光器VCSEL为这些应用提供了合适的解决方案，因为它们能够节约成本地制造并使用晶圆级加工来与所期望的系统集成。与传统的法布里
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珀罗二极管激光器相比，VCSEL的特征是具有卓越的高速调制效率。迄今为止，使用具有在反馈回路中并联连接的多个加权分接头的模拟积分器或高分辨率IDAC来在VCSEL的波长方面对其进行调谐，该反馈回路由光学部件(诸如基准腔或干涉仪)的输出来控制。这导致了还可能缺乏灵活性的复杂且敏感的设置。
[0003]要实现的目的是提供一种用于VCSEL的调谐装置和用于调谐VCSEL的方法的改进概念。
[0004]该目的通过独立权利要求的主题实现。在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于垂直腔面发射激光器VCSEL(20)的调谐装置(1)，所述调谐装置(1)包括
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delta sigma调制器(10)，其配置为生成包括比特信号的比特流(BS)；以及
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电流源(11)，其配置为根据控制信号(CS)以可切换的方式向所述VCSEL(20)提供电流；其中
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所述比特流(BS)基于目标状态信号(TS)生成；并且
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所述控制信号(CS)对应于所述比特流(BS)的比特信号或从所述比特流(BS)的比特信号导出。2.根据权利要求1所述的调谐装置(1)，其中所述控制信号(CS)是脉冲密度调制PDM信号。3.根据权利要求1或2所述的调谐装置(1)，其中所述电流作为偏置电流提供给所述VCSEL(20)。4.根据权利要求3所述的调谐装置(1)，其中所述偏置电流配置为控制所述VCSEL(20)的温度和/或输出功率。5.根据权利要求1至4之一所述的调谐装置(1)，其中所述目标状态信号(TS)对应于目标波长或从目标波长导出。6.根据权利要求1至5之一所述的调谐装置(1)，其还包括输入处理器(12)，所述输入处理器配置为通过将线性化算法应用于输入信号来生成所述目标状态信号(TS)。7.根据权利要求1至6之一所述的调谐装置(1)，其中基于所述目标状态信号(TS)和从所述VCSEL(20)接收的实际状态信号(AS)来生成所述比特流(BS)。8.根据权利要求1至7之一所述的调谐装置(1)，其还包括调制器(13)，所述调制器配置为通过调制所述比特流(BS)来生成所述控制信号(CS)。9.根据权利要求8所述的调谐装置(1)，其中所述调制器(13)将脉冲宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：科林，
申请(专利权)人：AMS国际有限公司，
类型：发明
国别省市：