本实用新型专利技术公开了一种磁控靶的动密封结构，其技术方案的要点是包括有水套，在水套的外壁分别设有进水口和出水口，在所述水套内分别设有水管、与水管对接的水管头，在水管头的侧壁设有与所述进水口连通的进水孔，进水孔与水管头的内腔连通，水管头的内腔又与水管的内腔连通，所述水管置于靶座的内腔，在靶座与水管之间具有间隙，所述间隙与所述出水口连通，在靶座与水套之间设有防止水向外渗漏的骨架油封。本实用新型专利技术的骨架油封结构可减少旋转过程中的磨损和腐蚀，减少密封圈的拆装更换次数，减少维护保养次数，节约成本。节约成本。节约成本。
【技术实现步骤摘要】
一种磁控靶的动密封结构
[0001]本技术涉及一种磁控靶的动密封结构。
技术介绍
[0002]磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程，在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。磁控靶是磁控溅射的核心部件，按照形状以及溅射方式通常可分为矩形平面磁控靶、圆柱形磁控靶、圆形平面磁控靶。旋转圆柱磁控靶是圆柱靶的一种形式，通过靶材的旋转使得磁场分布更加均匀，从而提高靶材的利用率。
[0003]由于靶材需要水冷，在这里对于水的密封就显得尤为重要。通常的密封方式是采用O型密封圈的动密封形式，这种密封形式由于阴极的旋转加剧磨损，同时因为水的腐蚀作用，很容易发生破损从而导致密封失效，发生漏水现象。
技术实现思路
[0004]本技术目的是为了解决旋转圆柱磁控靶动密封封水不可靠、密封圈容易腐蚀泄漏、密封圈更换频率频繁的问题,提供一种磁控靶的动密封结构。
[0005]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]一种磁控靶的动密封结构，其特征在于：包括有水套1，在水套1的外壁分别设有进水口2和出水口3，在所述水套1内分别设有水管10、与水管10对接的水管头4，在水管头4的侧壁设有与所述进水口2连通的进水孔15，进水孔15与水管头4的内腔连通，水管头4的内腔又与水管10的内腔连通，所述水管10置于靶座5的内腔，在靶座5与水管10之间具有间隙11，所述间隙11与所述出水口3连通，在靶座5与水套1之间设有防止水向外渗漏的骨架油封6。
[0007]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述骨架油封6设有两个，分别为第一骨架油封和第二骨架油封，所述水套1内腔设有第一内台阶部101，第一骨架油封抵靠安装在第一内台阶部101上，第一骨架油封和第二骨架油封通过隔环7隔开，在所述水套1内壁设有抵住第二骨架油封以将两个骨架油封6定位的挡圈7。
[0008]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述骨架油封6包括内圈601和外圈602，所述内圈601和外圈602之间具有沟槽603，所述内圈601抵靠在所述水管头4外壁，所述外圈602抵靠在所述水套1内壁。
[0009]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述水管头4通过螺栓12固定在所述水套1内腔，所述水管头4置于水套1内腔的那端具有外台阶部401和内伸出部402，所述内伸出部402插入所述水管10内，所述外台阶部401抵靠在所述水管10的端部。
[0010]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述水管头4的外壁具有外凸部403，所述水套1的第一内台阶部101设有第二内台阶部102，外凸部403和第二内台阶部102之间夹紧有挡块13。
[0011]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述第二内台阶部102的内腔直径小于所述第一内台阶部101的内腔直径。
[0012]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述水管头4外壁与所述水套1的端部内壁之间设有多个密封圈14。
[0013]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：在所述进水口2处装有进水管18，在所述出水口3处装有出水管19。
[0014]如上所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述挡圈7为孔用弹性挡圈。
[0015]与现有技术相比，本技术有如下优点：
[0016]1、本技术的骨架油封结构可减少旋转过程中的磨损和腐蚀，减少密封圈的拆装更换次数，减少维护保养次数，节约成本。
[0017]2、本技术使用双骨架油封的密封方式，密封效果更好，降低漏水的可能性，双骨架油封双层保护，密封更可靠。。
【附图说明】
[0018]图1是磁控靶设备的立体图；
[0019]图2是磁控靶设备的俯视图；
[0020]图3是磁控靶设备的剖视图；
[0021]图4是图2中B处的局部放大图，图中箭头代表水流方向；
[0022]图5是水管头的立体图；
[0023]图6是骨架油封的立体图。
[0024]图中：1为水套；101为第一内台阶部；102为第二内台阶部；2为进水口；3为出水口；4为水管头；401为外台阶部；402为内伸出部；403为外凸部；5为靶座；6为骨架油封；601为内圈；602为外圈；603为沟槽；7为隔环；8为挡圈；9为主动齿轮；10为水管；11为间隙；12为螺栓；13为挡块；14为密封圈；15为进水孔；16为从动齿轮；17为电机；18为进水管；19为出水管。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图对本技术技术特征作进一步详细说明以便于所述领域技术人员能够理解。
[0026]一种磁控靶的动密封结构，如图1至图6所示，包括有水套1，在水套1的外壁分别设有进水口2和出水口3，在所述水套1内分别设有水管10、与水管10对接的水管头4，在水管头4的侧壁设有与所述进水口2连通的进水孔15，进水孔15与水管头4的内腔连通，水管头4的内腔又与水管10的内腔连通，所述水管10置于靶座5的内腔，在靶座5与水管10之间具有间隙11，所述间隙11与所述出水口3连通，在靶座5与水套1之间设有防止水向外渗漏的骨架油封6。
[0027]水套1的作用是将发动机燃烧室和缸体内壁的温度通过热传导将热能转移到冷却液(指气缸体和气缸盖的内外壳之间的空间，冷却液在其间循环)，所述靶座5通过电机17、主动齿轮9、从动齿轮16驱动旋转，故外层水密封需要用动密封。
[0028]如图4所示，水从进水口2经进水孔15依次流入水管头4内腔、水管10内腔，再从水
管10另一端的一个孔流入靶座5与水管10之间的间隙11，再从出水口3流入，实现对旋转中的靶座5的水冷，骨架油封6可以有效防止间隙11中的水经水套1内壁渗出。
[0029]优选地，所述骨架油封6设有两个，分别为第一骨架油封和第二骨架，所述水套1内腔设有第一内台阶部101，第一骨架油封抵靠安装在第一内台阶部101上，第一骨架油封和第二骨架油封通过隔环7隔开，在所述水套1内壁设有抵住第二骨架油封以将两个骨架油封6定位的挡圈7。
[0030]进一步地，所述挡圈7优选采用孔用弹性挡圈，防止掉落。
[0031]设置两个骨架油封6可以大大增强密封性能，所述骨架油封6为环状，通过挡圈7和隔环7分隔固定在水套1和靶座5之间。
[0032]进一步地，所述骨架油封6包括内圈601和外圈602，所述内圈601和外圈602之间具有沟槽603，所述内圈601抵靠在所述水管头4外壁，所述外圈602抵靠在所述水套1内壁。
[0033]如上所述的磁控靶的动密封结构，所述水管头4通过螺栓12固定在所述水套1内腔，所述水管头4置于水套1内腔的那端具有外台阶部401和内伸出部402，所述内伸出部402插入所述水管10内，所述外台阶部401抵靠在所述水本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁控靶的动密封结构，其特征在于：包括有水套(1)，在水套(1)的外壁分别设有进水口(2)和出水口(3)，在所述水套(1)内分别设有水管(10)、与水管(10)对接的水管头(4)，在水管头(4)的侧壁设有与所述进水口(2)连通的进水孔(15)，进水孔(15)与水管头(4)的内腔连通，水管头(4)的内腔又与水管(10)的内腔连通，所述水管(10)置于靶座(5)的内腔，在靶座(5)与水管(10)之间具有间隙(11)，所述间隙(11)与所述出水口(3)连通，在靶座(5)与水套(1)之间设有防止水向外渗漏的骨架油封(6)。2.根据权利要求1所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述骨架油封(6)设有两个，分别为第一骨架油封和第二骨架油封，所述水套(1)内腔设有第一内台阶部(101)，第一骨架油封抵靠安装在第一内台阶部(101)上，第一骨架油封和第二骨架油封通过隔环(7)隔开，在所述水套(1)内壁设有抵住第二骨架油封以将两个骨架油封(6)定位的挡圈(7)。3.根据权利要求2所述的磁控靶的动密封结构，其特征在于：所述骨架油封(6)包括内圈(601)和外圈(602)，所述内圈(601)和外圈(602)之间具有沟槽(603)，所述内圈(601)抵靠在所述水管头(4)外...
【专利技术属性】
技术研发人员：张健宁，胡双丽，田耕涛，黄志云，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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