一种基于氧化铋p-n型转变电位的光电化学柔性可穿戴汗液pH传感器制造技术

技术编号:32903374 阅读:22 留言:0更新日期:2022-04-07 11:53
本发明专利技术公开了一种基于氧化铋p

【技术实现步骤摘要】
一种基于氧化铋p

n型转变电位的光电化学柔性可穿戴汗液pH传感器


[0001]本专利技术涉及光电化学传感
,具体涉及一种基于氧化铋p

n型转变电位的光电化学柔性可穿戴汗液pH传感器。

技术介绍

[0002]人体汗液的pH值能够提供很多关于健康状况的重要信息,各类皮肤疾病(例如皮炎、痤疮和真菌感染等)会导致汗液的pH值发生变化,因此监测汗液的pH值可以为评估个人健康状况提供重要的参考[Balaji A N,Yuan C,et al.pH Watch

Leveraging pulse oximeters inexisting wearables for reusable,real

time monitoring of pH in sweat[C].The 17th AnnualInternational Conference.2019:262

274.]。
[0003]利用柔性可穿戴传感器对汗液pH进行监测是一种行之有效的方法,相比本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于氧化铋p

n型转变电位的光电化学柔性可穿戴汗液pH传感器,其特征在于,包括氧化铋工作电极、参比电极、对电极、透明柔性基底和光源,氧化铋工作电极的制备包括以下步骤:(1)采用射频磁控溅射法在透明柔性的云母基底上沉积铟掺杂氧化锡薄膜:用纯度为99.99%的铟掺杂氧化锡靶材,溅射功率为50

150W,基底温度为室温

350℃,氩气流量为10

50sccm,溅射压力为0.5

3pa,沉积时间为300

3600s,基底旋转速度为10

30r/min;(2)采用直流磁控溅射法在步骤(1)所得ITO薄膜上沉积Bi金属,使用纯度为99.99%的Bi金属靶材,溅射功率为20

60W,基底温度为室温

350℃,氩气流量为10

50sccm,溅射压力为0.5

3pa,沉积时间为60

600s,基底旋转速度为10

30r/min;(3)将步骤(2)所得氧化铋薄膜加热30

120min,加热温度为250

350℃,加热工具为加热台、烘箱、管式炉中的一种,得到氧化铋工作电极。2.根据权利要求1所述基于氧化铋p

n型转变电位的光电化学柔性可穿戴汗液pH传感器,其特征在于,氧化铋工作电极的制备包括以下步骤:(1)采用射频磁控溅射法在透明柔性的云母基底上沉积铟掺杂氧化锡薄膜:用纯度为99.99%的铟掺杂氧化锡靶材,溅射功率为100

150W,基底温度为200

350℃,氩气流量为10

50sccm,溅射压力为1.5

2pa,沉积时间为1200

2400s,基底旋转速度为20

30r/min;(2)采用直流磁控溅射法在步骤(1)所得ITO薄膜上沉积Bi金属,使用纯度为99.99%的Bi金属靶材,溅射功率为40

60W,基底温度为100

350℃,氩气流量为30

50sccm,溅射压力为1

2pa,沉积时间为100

240s,基底旋转速度为20

30r/min;(3)将步骤(2)所得氧化铋薄膜加热30

60min,加热温度为270

350℃,加热工具为加热台、烘箱、管式炉中的一种,得到氧化铋工作电极。3.根据权利要求1所述基于氧化铋p

n型转变电位的光电化学柔性可穿戴汗液pH传感器,其特征在于,参比电极的制备包括如下步骤:(1)琼脂加入饱和KCl的混合溶液中,琼脂的含量为1wt%~5wt%,将混合溶液加热至沸腾使琼脂完全溶解;(2)将Ag/AgCl固定在透明柔性基底上得到柔性Ag/AgCl薄膜,步骤(1)所得混合溶液滴涂...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪福宪董博恒卫莉玲
申请(专利权)人:广东省科学院测试分析研究所中国广州分析测试中心
类型:发明
国别省市:

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