坩埚及熔融设备制造技术

本申请提供一种坩埚及熔融设备，坩埚包括第一封头及第二封头，第一封头上开设有第一槽，第二封头上开设有第二槽，第一封头与第二封头相互连接，第一槽与第二槽连通并共同围成条形收容腔。因为坩埚包括互相拼接的第一封头与第二封头，且第一槽与第二槽连通共同形成条形收容腔，如此，由第一封头及第二封头组合而成的坩埚相较于一体成型的坩埚在规格上具有明显优势，通过本方案中的拼接组合设计，可以在制备设备规格有限的前提下制造出更大型的坩埚。所以本申请提供的坩埚及熔融设备可以解决现有技术中坩埚尺寸小，无法制备大尺寸坩埚的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
坩埚及熔融设备


[0001]本技术涉及加热装置
，尤其涉及一种坩埚及熔融设备。

技术介绍

[0002]现有技术中无论是蒸镀设备、磁控溅射设备还是金属熔炼设备，都要用到坩埚来盛放熔融的固体。但是随着蒸镀设备、磁控溅射设备及金属熔炼设备体积的进一步增长，对坩埚的容积及宽广度也有了更高的要求。而现有的坩埚通常由制备设备一体成型制造，受限于制备设备的体积，一体型的坩埚体积增长遇到了瓶颈，坩埚的规格无法满足需求。
[0003]因此，如何制备大尺寸的坩埚成为了亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提供了一种坩埚，用以解决现有技术中坩埚尺寸小，无法制备大尺寸坩埚的问题。
[0005]本申请提供一种坩埚，坩埚包括：第一封头及第二封头，第一封头上开设有第一槽。第二封头上开设有第二槽。第一封头与第二封头相互连接，第一槽与第二槽连通并共同围成条形收容腔。
[0006]在上述方案中，第一封头与第二封头的拼接组合形成了坩埚，第一槽与第二槽连通形成条形收容腔，如此，由第一封头及第二封头组合而成的坩埚相较于一体成型的坩埚在规格上具有优势。通过本方案中的拼接组合设计，可以在制备设备规格有限的前提下制造出更大型的坩埚。
[0007]在一种可能的设计中，坩埚还包括至少一个中间段，第一封头与第二封头通过中间段连接，中间段开设有第三槽，第一槽、第二槽与第三槽互相连通。
[0008]在上述方案中，增设了中间段，使得坩埚能根据需求装配不同数量的中间段，以满足不同规格的需求，提高了坩埚的通用性。而可任意更换的中间段也方便坩埚对损坏的中间段进行替换，提高了坩埚整体的寿命，节约了坩埚的使用成本。
[0009]在一种可能的设计中，第一封头与中间段之间、两个中间段之间、中间段与第二封头之间均设置有可拆卸连接结构。
[0010]在上述方案中，使得第一封头、中间段及第二封头之间可以任意拆卸，因此，当第一封头、中间段及第二封头中任意一个损坏时可以进行替换，提高了坩埚整体的寿命。
[0011]在一种可能的设计中，可拆卸连接结构包括连接板及设于条形收容腔内表面的收容槽，收容槽的至少部分位于第一封头靠近中间段的一侧、中间段的两端及第二封头靠近中间段的一侧。
[0012]在上述方案中，收容槽至少部分设置在第一封头、中间段及第二封头上，如此，连接板可以通过插入收容槽使得坩埚的各个部分稳固地连接，因此，提高了坩埚各个部件之间连接的稳定性及坩埚的结构强度。
[0013]在一种可能的设计中，所述连接板的两端设置有连接部，所述收容槽内设置有连
接孔，连接部与连接孔通过紧固件连接。
[0014]在上述方案中，通过紧固件与连接部的连接，进一步提高了坩埚各个部件之间相互连接的稳定性及坩埚的结构强度。
[0015]在一种可能的设计中，紧固件为螺栓，连接部为螺纹孔。
[0016]在上述方案中，紧固件选用螺栓，连接部为螺纹孔，不仅便于紧固件的拆装，有利于提高坩埚的组装速度，而且成本低。
[0017]在一种可能的设计中，第一封头与中间段的连接处、中间段的两端、中间段与第二封头的连接处均设置有迷宫密封拼接结构。
[0018]在上述方案中，通过设置迷宫密封拼接结构提高了第一封头、中间段及第二封头之间的密封性能，使得条形密封腔内的物质不易泄露，进而提高了坩埚的安全性。
[0019]在一种可能的设计中，迷宫密封拼接结构包括至少一对相互嵌合的凸起部与凹槽部。
[0020]在上述方案中，通过凸起部与凹槽部之间的相互嵌合，进一步提高了密封性能。
[0021]在一种可能的设计中，迷宫密封拼接结构还包括粘接密封层，粘接密封层设置于凸起部与凹槽部之间。
[0022]在上述方案中，粘接密封层进一步提高了凸起部与凹槽部直接的密封性能。
[0023]本申请还提供一种熔融设备，包括加热装置及上述任一项的坩埚，加热装置用于加热蒸发坩埚内的物质。可以理解，熔融设备包括上述任一项的坩埚，显然也具有上述坩埚的优点。
[0024]本申请提供了一种坩埚，其由第一封头与第二封头拼接组合形成，第一封头上的第一槽与第二封头上的第二槽连通形成条形收容腔。
[0025]如此，由第一封头及第二封头组合而成的坩埚相较于一体成型的坩埚在规格上具有优势。通过本方案中的拼接组合设计，可以在制备设备规格有限的前提下制造出更大型的坩埚。
[0026]本申请实施例的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例而了解。本申请实施例的目的和其他优点在说明书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。
【附图说明】
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0028]图1为本申请实施例提供的坩埚的结构示意图；
[0029]图2为本申请实施例提供的坩埚的另一视角的结构示意图；
[0030]图3为本申请实施例提供的第一封头的结构示意图；
[0031]图4为本申请实施例提供的第二封头的结构示意图；
[0032]图5为本申请实施例提供的中间段的结构示意图；
[0033]图6为本申请实施例提供的连接板的结构示意图；
[0034]图7为本申请实施例提供的第一封头与中间段之间的可拆卸连接结构的剖视图；
[0035]图8为本申请实施例提供的熔融设备的结构示意图。
[0036]附图标记：
[0037]100、坩埚；
[0038]200、熔融设备；
[0039]1、第一封头；
[0040]11、第一槽；
[0041]2、第二封头；
[0042]21、第二槽；
[0043]3、中间段；
[0044]31、第三槽；
[0045]4、条形收容腔；
[0046]5、可拆卸连接结构；
[0047]51、连接板；
[0048]511、连接部；
[0049]52、收容槽；
[0050]521、连接孔；
[0051]6、迷宫密封拼接结构；
[0052]61、凸起部；
[0053]62、凹槽部；
[0054]63、粘接密封层。
[0055]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
【具体实施方式】
[0056]为了更好的理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0057]应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，其特征在于，包括：第一封头，所述第一封头上开设有第一槽；第二封头，所述第二封头上开设有第二槽；所述第一封头与所述第二封头相互连接，所述第一槽与所述第二槽连通并共同围成条形收容腔。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚还包括至少一个中间段，所述第一封头与所述第二封头通过所述中间段连接，所述中间段开设有第三槽，所述第一槽、所述第二槽与所述第三槽互相连通。3.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第一封头与所述中间段之间、两个所述中间段之间、所述中间段与所述第二封头之间均设置有可拆卸连接结构。4.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述可拆卸连接结构包括连接板及设于所述条形收容腔内表面的收容槽，所述收容槽的至少部分位于所述第一封头靠近所述中间段的一侧、所述中间段的两端及所述第二封头靠近所述中间段的一侧。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢毅，刘萧松，李克强，邹明，
申请(专利权)人：宁德时代新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：