TOC处理装置和处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够稳定地制造目标TOC水质的处理水的TOC处理装置和处理方法。TOC处理装置构成为具有对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置(2)和去离子装置(4)，其特征在于，具有：流量计，测量紫外线氧化装置(2)的流量；TOC计(6)，测量去离子装置(4)的流出水的TOC浓度；以及控制装置(7)，被输入流量计的测量值和TOC计(4)的测量值，并基于这些测量值控制紫外线氧化装置(2)的紫外线照射量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】TOC处理装置和处理方法


[0001]本专利技术涉及一种TOC处理装置和处理方法。本专利技术尤其涉及一种使用通过紫外线(UV)照射来氧化分解有机物(TOC成分)的UV氧化装置的TOC处理装置和处理方法。

技术介绍

[0002]在从河水、工业用水、自来水等原水制造半导体制造工序、医药品制造工序等中使用的超纯水的情况下的通常的制造系统，由前处理系统、一次纯水系统和二次纯水制造工序(子系统)构成。
[0003]在子系统中，通常用泵取出从一次纯水系统导入副箱的一次纯水，用热交换器将超纯水的水温调节至所期望的温度后，导入UV氧化装置，并通过UV照射来氧化分解水中的TOC。将UV氧化装置的流出水导入到后段的离子交换装置中，以除去因氧化分解而产生的碳酸或有机酸等离子性物质。这样获得的超纯水送到使用点来使用，剩余的回水循环至副箱。
[0004]将UV氧化装置和后段的离子交换装置组合来氧化分解并除去水中的有机物的方法也应用于一次纯水系统。
[0005]以往，以处理水TOC的减少、稳定化为目的，对组合UV氧化装置和离子交换装置的TOC除去技术进行了各种研究。
[0006]在专利文献1中，提出了如下技术：在组入了UV氧化装置和离子交换装置的超纯水制造系统中，测定超纯水的TOC，并基于该结果控制原水流入量。
[0007]专利文献1是为了恒定地控制处理水TOC而使流量变动的技术，没有记载在流量变动的情况下制造目的TOC浓度的超纯水。
[0008]在专利文献2中，提出了测定UV氧化装置的入口水和出口水的过氧化氢(H2O2)浓度，并基于该测定结果控制UV氧化装置的UV照射量的技术。但是，由于H2O2浓度不一定与TOC浓度成比例，因此专利文献2作为TOC浓度的控制技术是不充分的。
[0009]在专利文献3中，提出了测定UV氧化装置的后段的离子交换装置的出口水的溶解氧(DO)浓度和TOC浓度，并基于这些测定值反馈控制UV氧化装置的UV照射量的技术。在专利文献3中未提及针对流量变动的对策。
[0010]在专利文献4中，作为组入UV氧化装置的照度调节机构的装置，提出了自动地切换点亮或调光点亮的UV灯和熄灯的UV灯的装置。
[0011]现有技术文献
[0012]专利文献
[0013]专利文献1：日本特开2016
‑
107249公报
[0014]专利文献2：日本特开2009
‑
112941号公报
[0015]专利文献3：日本特开2002
‑
263643号公报
[0016]专利文献4：日本特开2003
‑
24774号公报

技术实现思路

[0017]专利技术要解决的课题
[0018]本专利技术的目的在于，提供一种能够稳定地制造目标TOC浓度的处理水的TOC处理装置和处理方法。
[0019]解决课题的技术方案
[0020]本专利技术的TOC处理装置，其构成为具有对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置和在所述紫外线氧化装置的后段的去离子装置，其特征在于，具有：流量计，测量该紫外线氧化装置的被处理水流量；TOC计，测量该去离子装置的流出水的TOC浓度；以及控制机构，被输入该流量计的测量值和该TOC计的测量值，并基于这些测量值控制所述紫外线氧化装置的紫外线照射量。
[0021]在本专利技术的一技术方案中，所述控制机构基于所述流量计的测量值与所述TOC计的测量值的乘积和所述流量计的测量值与目标TOC值的乘积的差，或基于将所述TOC计的测量值与目标TOC值的差乘以所述流量计的测量值所得的值，控制所述紫外线照射量。
[0022]本专利技术的TOC处理方法，其使用如下构件：对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置；在所述紫外线氧化装置的后段的去离子装置；测量该紫外线氧化装置的被处理水流量的流量计；测量该去离子装置的流出水的TOC浓度的TOC计；以及被输入该流量计的测量值和该TOC计的测量值，并基于这些测量值控制所述紫外线氧化装置的紫外线照射量的控制机构，其特征在于，在所述TOC处理方法中，基于所述流量计的测量值与所述TOC计的测量值的乘积和所述流量计的测量值与目标TOC值的乘积的差，或基于将所述TOC计的测量值与目标TOC值的差乘以所述流量计的测量值所得的值，控制所述紫外线照射量。
[0023]专利技术效果
[0024]根据本专利技术的TOC处理装置和处理方法，即使原水的流量和TOC浓度变动，也能够稳定制造具有目标TOC浓度的处理水。
[0025]能够基于紫外线氧化装置的流量和流入紫外线氧化装置的流入水的TOC值来控制紫外线氧化装置，但为了保证处理水的水质，在本专利技术中监视处理水的TOC值。
附图说明
[0026]图1是本专利技术装置和方法的说明图。
[0027]图2是实施例的说明图。
具体实施方式
[0028]以下，参照图1进一步详细地说明本专利技术。
[0029]在图1中，被处理水经由管线1向低压紫外线氧化装置(以下，也称作UV装置)2供给，通过照射紫外线分解TOC成分。在该实施方式中，UV装置2为调光型低压UV装置。
[0030]UV装置2的流出水经由管线3向去离子装置4供给，去离子处理水向管线5流出。作为去离子装置，可以是混床式离子交换装置、两级型离子交换装置、电去离子装置等中的任一个。
[0031]TOC计6设置于管线5，其测量值输入UV装置2的控制装置7。
[0032]为了测定UV装置2的流水量，在管线1、3、5上均设置有流量计(省略图示)，其测量值(流量数据)输入控制装置7。
[0033]控制装置7运算由TOC计6测量的处理水TOC值与目标TOC值的差(ΔTOC)和流量值(F)的乘积F
·
ΔTOC，并基于此(即，以F
·
ΔTOC变为0作为目标)控制向UV装置2的输入功率。
[0034]或者，控制装置7运算由TOC计6测量的TOC值与流量值F的乘积，和目标TOC值与流量值F的乘积的差(该差的值等于F
·
ΔTOC)，并基于此控制向UV装置2的输入功率。
[0035]作为输入功率的控制方式，能够采用PID控制方式等，但不限定于此。
[0036]这样，通过基于处理水的TOC测量值、处理水的目标TOC值和被处理水流量这三者，控制UV向装置2的输入功率，即使被处理水的TOC值和被处理水的流量中的一个或两个变动，也能够稳定制造几乎与目标相同的TOC浓度的处理水。
[0037]在该实施方式中，作为UV装置2使用调光型UV装置。
[0038]在超纯水制造工序的UV装置中，虽然也使用可切换点亮的UV灯的个数的类型的UV装置，但在该类型的情况下，当点亮的灯的数量减少时，发生紫外线的照射不均，且处理水的TOC值变得容易变动。因此，在该实施方式中，作为UV装置2采用调光型UV装置。
[0039]在调光型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种TOC处理装置，其构成为具有对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置和在所述紫外线氧化装置的后段的去离子装置，其特征在于，具有：流量计，测量该紫外线氧化装置的被处理水流量；TOC计，测量该去离子装置的流出水的TOC浓度；以及控制机构，被输入该流量计的测量值和该TOC计的测量值，并基于这些测量值控制所述紫外线氧化装置的紫外线照射量。2.如权利要求1所述的TOC处理装置，其特征在于，所述控制机构基于所述流量计的测量值与所述TOC计的测量值的乘积和所述流量计的测量值与目标TOC值的乘积的差，或基于将所述TOC计的测量值与目标TOC值的差乘以所述流量计的测量值所得的值，控制所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：港康晴，佐佐木友野，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：发明
国别省市：