机台监控系统与机台监控方法技术方案

本发明专利技术公开了一种机台监控系统与机台监控方法，机台监控系统包括检测装置与数据处理装置。检测装置对多个机台进行检测以产生多个机台对应的多个检测信息；数据处理装置连接检测装置，并用以：接收多个检测信息，并依据多个检测信息从多个机台选择至少一个异常机台；计算多个检测信息中的多个第一检测信息对应的多个参数值，其中多个第一检测信息对应于至少一个异常机台；以及依据多个参数值从多个第一检测信息选择至少一个异常检测信息，以利用至少一个异常检测信息对至少一个异常机台进行校正。借此，可有效地解决机台的工艺参数飘移的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
机台监控系统与机台监控方法


[0001]本专利技术是有关于一种机台监控系统与机台监控方法。

技术介绍

[0002]现今工厂的生产排程趋于复杂且具高度不确定性的特性，这将造成在生产过程中必须因应生产状态即时地调整机台站点的工艺参数。举例而言，在晶圆制造过程中，机台的稳定性会与晶圆良率息息相关，故需要即时地监控生产晶圆的机台的工艺参数。一般而言，在众多产品的生产与复杂的制造过程中，常常需要仰赖人力逐一比对相同工艺中的各机台的工艺参数间是否有差异以检测异常因子。因此，若存在工艺参数飘移的机台，则需要尽早将异常因子排除，且在必要时，机台可能需要停机以进行改善，进而避免造成大量产品的损伤与报废。基于此，如何即时地解决工艺参数飘移的问题，是本领域急欲解决的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种机台监控系统，其可有效地解决机台的工艺参数飘移的问题。
[0004]本专利技术提供一种机台监控系统，包括检测装置与数据处理装置。检测装置对多个机台进行检测以产生多个机台对应的多个检测信息；数据处理装置连接检测装置，并用以：接收多个检测信息，并依据多个检测信息从多个机台选择至少一个异常机台；计算多个检测信息中的多个第一检测信息对应的多个参数值，其中多个第一检测信息对应于至少一个异常机台；以及依据多个参数值从多个第一检测信息选择至少一个异常检测信息，以利用至少一个异常检测信息对至少一个异常机台进行校正。
[0005]在一实施例中，多个检测信息对应于多个参数类别，且数据处理装置还用以：依据多个检测信息与多个参数类别对应的多个权重值产生多个机台对应的多个候选坐标；以及依据多个候选坐标以离群分析方法从多个机台选择至少一个异常机台。
[0006]在一实施例中，数据处理装置还用以：对多个检测信息进行正规化以产生多个正规化参数，并依据多个正规化参数与多个参数类别对应的多个权重值产生多个机台对应的多个候选坐标。
[0007]在一实施例中，数据处理装置还用以：依据多个候选坐标以利用离群分析方法从多个候选坐标选择至少一个离群坐标，以从多个机台选择至少一个离群坐标对应的至少一个异常机台。
[0008]在一实施例中，数据处理装置还用以：依据多个权重值与多个第一检测信息计算多个参数值，并依据多个参数值计算多个参数类别对应的多个总参数值；计算多个总参数值的参数总和，以依据参数总和与多个总参数值计算多个参数类别对应的多个总参数比例值；对多个总参数比例值进行排序，以产生总参数比例值排序信息；以及依据总参数比例值排序信息从多个参数类别选择至少一个异常参数类别，以从多个第一检测信息选择至少一个异常参数类别对应的至少一个异常检测信息。
[0009]本专利技术提供一种机台监控方法。此方法包括下列步骤：依据多个机台的多个检测信息产生多个机台对应的多个候选坐标，以依据多个候选坐标从多个机台选择至少一个异常机台；从多个检测信息中的多个第一检测信息计算出多个第一检测信息对应的多个参数值，其中多个第一检测信息对应于至少一个异常机台；以及依据多个贡献度值从多个第一检测信息选择至少一个异常检测信息，以利用至少一个异常检测信息对至少一个异常机台进行校正。
[0010]在一实施例中，多个检测信息对应于多个参数类别，且依据多个检测信息产生多个机台对应的多个候选坐标，以依据多个候选坐标从多个机台选择至少一个异常机台的步骤包括：依据多个检测信息与多个参数类别对应的多个权重值产生多个机台对应的多个候选坐标；以及依据多个候选坐标以离群分析方法从多个机台选择至少一个异常机台。
[0011]在一实施例中，依据多个检测信息与多个参数类别对应的多个权重值产生多个机台对应的多个候选坐标的步骤包括：对多个检测信息进行正规化以产生多个正规化参数，并依据多个正规化参数与多个参数类别对应的多个权重值产生多个机台对应的多个候选坐标。
[0012]在一实施例中，依据多个候选坐标以离群分析方法从多个机台选择至少一个异常机台的步骤包括：依据多个候选坐标以利用离群分析方法从多个候选坐标选择至少一个离群坐标，以从多个机台选择至少一个离群坐标对应的至少一个异常机台。
[0013]在一实施例中，从多个检测信息中的多个第一检测信息计算出多个第一检测信息对应的多个参数值的步骤包括：依据多个权重值与多个第一检测信息计算多个参数值。依据多个候选坐标以离群分析方法从多个机台选择至少一个异常机台的步骤包括：依据多个参数值计算多个参数类别对应的多个总参数值；计算多个总参数值的参数总和，以依据参数总和与多个总参数值计算多个参数类别对应的多个总参数比例值；对多个总参数比例值进行排序，以产生总参数比例值排序信息；以及依据总参数比例值排序信息从多个参数类别选择至少一个异常参数类别，以从多个第一检测信息选择至少一个异常参数类别对应的至少一个异常检测信息。
[0014]基于上述，本专利技术提供的机台监控系统将可即时地检测出具有异常状态的机台，并针对具有异常状态的机台检测出哪些异常因子将造成机台的异常状态，进而依据这些造成机台的异常状态的异常因子对机台进行校正，以借此解决工艺参数飘移的问题。
附图说明
[0015]图1根据本专利技术的实施例绘示机台监控系统的方块图。
[0016]图2是根据本专利技术一些示范性实施例的机台监控方法的流程图。
[0017]图3是根据本专利技术另一些示范性实施例的机台监控方法的流程图。
[0018]图4是根据本专利技术一些示范性实施例的群组分布图的示意图。
[0019]主要附图标记说明：
[0020]100
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机台监控系统，110
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检测装置，120
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数据处理装置，130(1)～130(N)
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机台，S201～S205、S301～S3017
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步骤，gp1～gp2
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群组。
具体实施方式
[0021]图1根据本专利技术的实施例绘示机台监控系统100的方块图。参照图1，机台监控系统100可用以监控各种工艺的机台。在本实施例中，为让本专利技术能更明显易懂，将以对多个机台130(1)～130(N)进行监控为例，其中N可以为任意正整数，且机台130(1)～130(N)可以是任意数量的工艺的机台，并没有针对N与工艺的数量有特别的限制。
[0022]再者，机台监控系统100可包括检测装置110与数据处理装置120。检测装置110可即时地对机台130(1)～130(N)进行检测，以产生机台130(1)～130(N)对应的多个检测信息。
[0023]在一些实施例中，数据处理装置120例如包括储存装置(未绘示)及处理器(未绘示)。储存装置例如是任何型态的随机存取存储器(random access memory，RAM)、唯读存储器(read
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only memory，ROM)、快闪存储器(flash memory)、硬碟或类似元件或上述元件的组合。处理器例如是中央处理单元(Central Proc本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机台监控系统，其特征在于，包括：检测装置，对多个机台进行检测以产生所述多个机台对应的多个检测信息；数据处理装置，连接所述检测装置，并用以：接收所述多个检测信息，并依据所述多个检测信息从所述多个机台选择至少一个异常机台；计算所述多个检测信息中的多个第一检测信息对应的多个参数值，其中所述多个第一检测信息对应于所述至少一个异常机台；以及依据所述多个参数值从所述多个第一检测信息选择至少一个异常检测信息，以利用所述至少一个异常检测信息对所述至少一个异常机台进行校正。2.如权利要求1所述的机台监控系统，其特征在于，所述多个检测信息对应于多个参数类别，且所述数据处理装置还用以：依据所述多个检测信息与所述多个参数类别对应的多个权重值产生所述多个机台对应的多个候选坐标；以及依据所述多个候选坐标以离群分析方法从所述多个机台选择所述至少一个异常机台。3.如权利要求2所述的机台监控系统，其特征在于，所述数据处理装置还用以：对所述多个检测信息进行正规化以产生多个正规化参数，并依据所述多个正规化参数与所述多个参数类别对应的所述多个权重值产生所述多个机台对应的所述多个候选坐标。4.如权利要求2所述的机台监控系统，其特征在于，所述数据处理装置还用以：依据所述多个候选坐标以利用所述离群分析方法从所述多个候选坐标选择至少一个离群坐标，以从所述多个机台选择所述至少一个离群坐标对应的所述至少一个异常机台。5.如权利要求2所述的机台监控系统，其特征在于，所述数据处理装置还用以：依据所述多个权重值与所述多个第一检测信息计算所述多个参数值，并依据所述多个参数值计算所述多个参数类别对应的多个总参数值；计算所述多个总参数值的参数总和，以依据所述参数总和与所述多个总参数值计算所述多个参数类别对应的多个总参数比例值；对所述多个总参数比例值进行排序，以产生总参数比例值排序信息；以及依据所述总参数比例值排序信息从所述多个参数类别选择至少一个异常参数类别，以从所述多个第一检测信息选择所述至少一个异常参数类别对应的所述至少一个异常检测信息。6.一种机台监控方法，其特征在于，包括：依据多个机台的多个检测信息产生所述多个机台对应的多个候选坐标，以依据所述多个候选坐标从所述多个机台选择至少一个异常机台；从所述多个检测信息中的多个第一检测信息计算出所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡秀慧，彭义芳，林维斌，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：