侦测物品表面缺陷的方法及其系统技术方案

本发明专利技术内容公开了一种侦测物品表面缺陷的方法及其系统，侦测物品表面缺陷的方法包含：提供物品；提供侦测物品表面缺陷的系统包含：激光发射模块、激光侦测模块、及分析模块，激光侦测模块电性连接激光发射模块，并且分析模块电性连接激光侦测模块；使用激光发射模块，发射激光至物品的表面；使用激光侦测模块，侦测激光照射至表面时的多个照射位置；使用分析模块，基于多个照射位置，分析表面的表面特征；基于表面特征，判定表面是否存在表面缺陷。本发明专利技术内容还提供了一种侦测物品表面缺陷的系统，相较于公知的自动光学检测系统或是人眼辨识，侦测解析度不会受到照明亮度或是拍摄角度的影响，具有更佳的解析度，可分辨更细微的表面缺陷。表面缺陷。表面缺陷。

【技术实现步骤摘要】
侦测物品表面缺陷的方法及其系统


[0001]本
技术实现思路
涉及侦测表面缺陷的方法及其系统。具体来说，本
技术实现思路
涉及使用激光侦测表面缺陷的方法及其系统。

技术介绍

[0002]半导体工艺中，部分工艺例如高温或是元件转移过程的摩擦或碰撞等，可能造成晶圆或是晶圆处理设备中的元件产生表面缺陷(例如热熔痕或是刮痕)，影响后续工艺的良率。举例而言，当晶圆存放载具内缘存在表面缺陷时，易造成机械手臂在存取晶圆时，受到表面缺陷的干涉，造成晶圆破片。
[0003]现行检查表面缺陷的方法，主要是依靠人眼判读或是自动光学检测系统。然而，当表面缺陷较不明显时，人眼判读容易漏检，至于自动光学检测系统，则有灯光以及撷取角度的限制，若灯光不足或撷取角度不适当，也容易漏检，此外，解析度也存在着限制。
[0004]因此，如何能提供无须灯光并且高解析度，即能侦测物品表面缺陷的方法以及系统，是亟欲解决的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的内容在于提供一种供侦测物品表面缺陷的方法及其系统，相较于公知的自动光学检测系统或是人眼辨识，侦测解析度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种侦测物品表面缺陷的方法，其特征在于，包含：提供物品；提供侦测物品表面缺陷的系统，所述系统包含：激光发射模块；激光侦测模块，电性连接所述激光发射模块；以及分析模块，电性连接所述激光侦测模块；使用所述激光发射模块，发射激光至所述物品的表面；使用所述激光侦测模块，侦测所述激光照射至所述表面时的多个照射位置；使用所述分析模块，基于所述多个照射位置，分析所述表面的表面特征；以及基于所述表面特征，判定所述表面是否存在表面缺陷。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述物品包括晶圆、或晶圆处理设备中的元件。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面缺陷包括物理性损伤。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光发射单束光或扇形光。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，若将沿所述激光的发射点垂直于所述表面的方向所平行的坐标轴设定为X轴，并将与所述表面上的任一方向所平行的坐标轴设定为Y轴，则所述多个照射位置中任一个的信息包括X轴坐标与Y轴坐标。6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，分析所述表面的所述表面特征步骤，包括呈现所述多个照射位置的多个Y轴坐标与对应所述多个Y轴坐标的多个X轴坐标。7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，判定...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘逸文，周孙甫，胡欣成，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：