一种提高纯水电阻率装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种提高纯水电阻率装置，包括纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第一电阻率仪、第二过滤器、抛光混床、第二电阻率仪、集水箱、主管道和第一管道，所述纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第二过滤器、抛光混床和集水箱依次通过主管道连通，移动小混床和第一过滤器之间的主管道上设有第一电阻率仪，第一管道一端与第一电阻率仪与移动小混床之间的主管道连通，另一端与纯水箱连通，抛光混床和集水箱之间的主管道上设有第二电阻率仪。本实用新型专利技术的优点在于，该装置提高了纯水电阻率，满足钢瓶清洗要求。并且通过第一管道能够将移动小混床过滤后的纯水回流至纯水箱内，提高纯水的利用率。提高纯水的利用率。提高纯水的利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种提高纯水电阻率装置


[0001]本技术涉及高纯特种气体
，具体为一种提高纯水电阻率装置。

技术介绍

[0002]作为集成电路产业关键原材料的高纯特种气体，不仅在集成电路产业中占有重要的地位，其在太阳能光伏、平面显示器、化合物半导体器件、石油化工、光纤通讯也都有着不可或缺的作用，广泛应用在薄膜、掺杂、刻蚀、扩散、气相沉积等工艺中。随著科学技术的发展，对于高纯特种气体的品质要求也越来越高，一般对于气体的纯度要求要大于99.9999％，其杂质总浓度不高于1ppm(ppm表示百万分之一)。
[0003]高纯特种气体钢瓶对清洗纯水电阻率的要求非常高。一般纯水制备设备离用水点距离过远，纯水会因管路长度、温度、流量等因素导致用水点纯水电阻率达不到使用要求。如果钢瓶清洗纯水达不到要求会使钢瓶清洗时受到污染影响钢瓶清洗合格率，甚至会影响高纯电子气体产品的纯度。介于特种气体的这些属性，其钢瓶清洗纯水电阻率显得尤其重要。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于如何提高纯水电阻率。
[0005]为解决上述技术问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：包括纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第一电阻率仪、第二过滤器、抛光混床、第二电阻率仪、集水箱、主管道和第一管道，所述纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第二过滤器、抛光混床和集水箱依次通过主管道连通，所述移动小混床和第一过滤器之间的主管道上设有第一电阻率仪，所述第一管道一端与所述第一电阻率仪与移动小混床之间的主管道连通，另一端与纯水箱连通，所述抛光混床和集水箱之间的主管道上设有第二电阻率仪。2.根据权利要求1所述的一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：所述纯水箱上还设有液位计。3.根据权利要求1所述的一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：所述纯水箱与纯水泵之间的主管道上设有第一出水阀。4.根据权利要求1所述的一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：所述纯水泵与第一过滤器之间的主管道上设有压力传感器。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，陶伟，
申请(专利权)人：全椒南大光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：