本实用新型专利技术公开了一种提高纯水电阻率装置，包括纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第一电阻率仪、第二过滤器、抛光混床、第二电阻率仪、集水箱、主管道和第一管道，所述纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第二过滤器、抛光混床和集水箱依次通过主管道连通，移动小混床和第一过滤器之间的主管道上设有第一电阻率仪，第一管道一端与第一电阻率仪与移动小混床之间的主管道连通，另一端与纯水箱连通，抛光混床和集水箱之间的主管道上设有第二电阻率仪。本实用新型专利技术的优点在于，该装置提高了纯水电阻率，满足钢瓶清洗要求。并且通过第一管道能够将移动小混床过滤后的纯水回流至纯水箱内，提高纯水的利用率。提高纯水的利用率。提高纯水的利用率。
【技术实现步骤摘要】
一种提高纯水电阻率装置
[0001]本技术涉及高纯特种气体
，具体为一种提高纯水电阻率装置。
技术介绍
[0002]作为集成电路产业关键原材料的高纯特种气体，不仅在集成电路产业中占有重要的地位，其在太阳能光伏、平面显示器、化合物半导体器件、石油化工、光纤通讯也都有着不可或缺的作用，广泛应用在薄膜、掺杂、刻蚀、扩散、气相沉积等工艺中。随著科学技术的发展，对于高纯特种气体的品质要求也越来越高，一般对于气体的纯度要求要大于99.9999％，其杂质总浓度不高于1ppm(ppm表示百万分之一)。
[0003]高纯特种气体钢瓶对清洗纯水电阻率的要求非常高。一般纯水制备设备离用水点距离过远，纯水会因管路长度、温度、流量等因素导致用水点纯水电阻率达不到使用要求。如果钢瓶清洗纯水达不到要求会使钢瓶清洗时受到污染影响钢瓶清洗合格率，甚至会影响高纯电子气体产品的纯度。介于特种气体的这些属性，其钢瓶清洗纯水电阻率显得尤其重要。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题在于如何提高纯水电阻率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种提高纯水电阻率装置，包括纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第一电阻率仪、第二过滤器、抛光混床、第二电阻率仪、集水箱、主管道和第一管道，所述纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第二过滤器、抛光混床和集水箱依次通过主管道连通，所述移动小混床和第一过滤器之间的主管道上设有第一电阻率仪，所述第一管道一端与所述第一电阻率仪与移动小混床之间的主管道连通，另一端与纯水箱连通，所述抛光混床和集水箱之间的主管道上设有第二电阻率仪。
[0007]通过移动小混床和抛光混床的配合设置对纯水进行过滤，提高了纯水电阻率，满足钢瓶清洗要求。并且通过第一管道能够将移动小混床过滤后的纯水回流至纯水箱内，提高纯水的利用率。
[0008]优选地，所述纯水箱上还设有液位计。
[0009]优选地，所述纯水箱与纯水泵之间的主管道上设有第一出水阀。
[0010]优选地，所述纯水泵与第一过滤器之间的主管道上设有压力传感器。
[0011]优选地，所述杀菌器与移动小混床之间的主管道上设有第一进水阀，所述第一电阻率仪与第一管道之间的主管道上设有第二出水阀。
[0012]优选地，所述第二过滤器与抛光混床之间的主管道设有第二进水阀，所述第二电阻率仪与集水箱之间的主管道之间设有第三出水阀。
[0013]优选地，所述第二过滤器与第二进水阀之间的主管道和抛光混床与第二电阻率仪之间的主管道之间还连通有第二管道，所述第二管道上设有旁通阀。
[0014]优选地，所述旁通阀为常闭阀门。
[0015]优选地，所述第一管道上设有回水阀。
[0016]优选地，所述杀菌器为紫外线杀菌灯管。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0018]通过移动小混床和抛光混床的配合设置对纯水进行过滤，提高了纯水电阻率，满足钢瓶清洗要求。并且通过第一管道能够将移动小混床过滤后的纯水回流至纯水箱内，提高纯水的利用率。
附图说明
[0019]图1为本技术实施例的一种提高纯水电阻率装置的结构示意图。
具体实施方式
[0020]为便于本领域技术人员理解本技术技术方案，现结合说明书附图对本技术技术方案做进一步的说明。
[0021]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0022]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0023]参阅图1，本实施例公开了一种提高纯水电阻率装置，包括纯水箱1、纯水泵2、第一过滤器3、杀菌器4、移动小混床5、第一电阻率仪6、第二过滤器7、抛光混床8、第二电阻率仪9、集水箱10、主管道11和第一管道12，所述纯水箱1、纯水泵2、第一过滤器3、杀菌器4、移动小混床5、第二过滤器7、抛光混床8和集水箱10依次通过主管道11连通，所述移动小混床5和第一过滤器3之间的主管道11上设有第一电阻率仪6，所述第一管道12一端与所述第一电阻率仪6与移动小混床5之间的主管道11连通，另一端与纯水箱1连通，所述抛光混床8和集水箱10之间的主管道上设有第二电阻率仪9。
[0024]通过移动小混床5和抛光混床8的配合设置对纯水进行过滤，提高了纯水电阻率，满足钢瓶清洗要求。并且通过第一管道12能够将移动小混床5过滤后的纯水回流至纯水箱1内，提高纯水的利用率。
[0025]所述纯水箱1上还设有液位计13，用于监控纯水箱1内的液位。
[0026]所述纯水泵2与第一过滤器3之间的主管道11上设有压力传感器14，用于监测主管道11内的水压。
[0027]所述纯水箱1与纯水泵2之间的主管道11上设有第一出水阀15，所述杀菌器4与移动小混床5之间的主管道11上设有第一进水阀16，所述第一电阻率仪6与第一管道12之间的主管道11上设有第二出水阀17；所述第二过滤器7与抛光混床8之间的主管道11设有第二进
水阀18，所述第二电阻率仪9与集水箱10之间的主管道11之间设有第三出水阀19。
[0028]所述第一管道12上设有回水阀20。
[0029]所述第二过滤器7与第二进水阀18之间的主管道11和抛光混床8与第二电阻率仪9之间的主管道11之间还连通有第二管道21，所述第二管道21上设有旁通阀22，所述旁通阀22为常闭阀门；具体的，当需要更换所述抛光混床8时，打开所述旁通阀22，使得纯水从第二管道21通过。
[0030]进一步的，所述杀菌器4为紫外线杀菌灯管。
[0031]本实施例的工作原理为：打开第一出水阀15、第一进水阀16、第二出水阀17、第二进水阀18和回水阀20，并开启纯水泵2，纯水通过第一过滤器过滤后进入杀菌器4杀菌，然后再通过移动小混床5过滤后并通过第一电阻率仪6对过滤后的纯水监测，当电阻率低于15兆时需更换移动小混床5，经过移动小混床5过滤后的纯水一部分进入第二过滤器7内过滤，一部分回流至纯水箱1内，回收利用，通过第二过滤器7过滤后的纯水进入抛光混床8内再次过滤，并通过第一电阻率仪6对过滤后的纯水监测，过滤后纯水流入集水箱10内收集，当电阻率低于17兆时，打开所述旁通阀22，使得纯水从第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：包括纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第一电阻率仪、第二过滤器、抛光混床、第二电阻率仪、集水箱、主管道和第一管道，所述纯水箱、纯水泵、第一过滤器、杀菌器、移动小混床、第二过滤器、抛光混床和集水箱依次通过主管道连通，所述移动小混床和第一过滤器之间的主管道上设有第一电阻率仪，所述第一管道一端与所述第一电阻率仪与移动小混床之间的主管道连通，另一端与纯水箱连通，所述抛光混床和集水箱之间的主管道上设有第二电阻率仪。2.根据权利要求1所述的一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：所述纯水箱上还设有液位计。3.根据权利要求1所述的一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：所述纯水箱与纯水泵之间的主管道上设有第一出水阀。4.根据权利要求1所述的一种提高纯水电阻率装置，其特征在于：所述纯水泵与第一过滤器之间的主管道上设有压力传感器。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，陶伟，
申请(专利权)人：全椒南大光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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