【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器的锁波光路
[0001]本专利技术涉及激光器领域，尤其涉及一种半导体激光器的锁波光路。
技术介绍
[0002]激光器是一种能发射激光的装置，其常见的半导体激光器由于具有效率高、寿命长等优势在工业加工、军事、医疗、安防等领域中得到广泛地应用，为了提高输出激光的质量，会对半导体激光器内部光路进行锁波处理，目前半导体激光的锁波方式分为单光路锁波和多光路锁波。
[0003]请参见公告号为CN20338897U的专利文件，该专利文件公开了一种采用单光路锁波方式的半导体激光器，每一激光芯片对应设有一体布拉格光栅（VBG），但是随着半导体输出功率的增加，激光芯片的数量也会伴随增加，这样所需设置的体布拉格光栅增多，增加产品成本和壳体的体积，并且每个芯片的出射激光射向体布拉格光栅后都会有能量损耗，影响半导体激光器的输出功率。
[0004]请参见公告号为CN203071399U的专利文件，该专利文件公开了一种采用多光路锁波方式的半导体激光器，多个激光芯片通过一体布拉格光栅来锁波，这样该体布拉格光栅单位面积内的能量...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器的锁波光路，其特征在于，包括光路整形模块和至少一锁波模块，所述锁波模块包括锁波单元、激光单元和转向单元;所述锁波单元包括引导芯片和VBG锁波器，所述引导芯片射出引导激光，经准直后的所述引导激光射向所述VBG锁波器完成锁波，经锁波后的所述引导激光在快轴方向包括第一光区和第二光区，所述第一光区经所述转向单元后射向所述光路整形模块，所述第二光区经所述转向单元后射向所述激光单元；所述激光单元包括一激光芯片，所述激光芯片所处台阶高度低于所述引导芯片所处台阶高度；所述第一光区经所述光路整形模块聚焦后进入光纤内；所述第二光区诱导所述激光芯片射出单一波长的锁波激光，所述锁波激光与所述引导激光的波长相等，所述锁波激光射向所述转向单元，经所述转向单元转向后的所述锁波激光射向所述光路整形模块，转向后的所述锁波激光经所述光路整形模块聚焦后进入光纤内。2.根据权利要求1所述的一种半导体激光器的锁波光路，其特征在于，所述转向单元包括相对设置的第一反射镜和第二反射镜；所述第一光区位于所述第二光区的下方；所述第一反射镜的顶面垂直高度不小于所述第二反射镜的顶面垂直高度；所述第一光区射向所述第一反射镜，经所述第一反射镜转向后的所述第一光区射向所述光路整形模块；所述第二光区依次从所述第一反射镜和所述第二反射镜的上方经过且射向所述激光单元；所述激光芯片射出固定波长的锁波激光射向所述第二反射镜，经所述第二反射镜转向后的所述锁波激光射向所述光路整形模块。3.根据权利要求1所述的一种半导体激光器的锁波光路，其特征在于，所述转向单元包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜；所述第一光区位于所述第二光区的上方；所述第一反射镜设于所述引导激光的光路方向上，所述第二反射镜设于所述激光单元的出光方向上，所述第三反射镜设于所述第一反射镜的光路反射方向上，所述第三反射镜与所述第二反射镜相对准，所述第一反射镜顶面的垂直高度大于所述第三反射镜的顶面垂直高度，所述第三反射镜顶面的垂直高度大于所述第二反射镜的顶面垂直高度；经所述第一反射镜转向后的所述第一光区从所述第三反射镜的上方经过且射向所述光路整形模块；经所述第一反射镜转向后的所述第二光区射向所述第三反射镜且经所述第三反射镜转向后从所述第二反射镜的上方经过射向所述激光单元；所述激光芯片射出固定波长的锁波激光射向所述第二反射镜，经所述第二反射镜转向后的所述锁波激光射向所述光路整形模块。4.根据权利要求3所述的一种半导体激光器的锁波光路，其特征在于，所述锁波模块包括第一锁波模块和第二锁波模块，所述第一锁波模块中的第三反射镜与所述第二锁波模块中的第一反射镜相对准。
5.根据权利要求3所述的一种半导体激光器的锁波光路，其特征在于，所述锁波模块包括第一锁波模块和第二锁波模块，所述第一锁波模块中的第三反射镜与所述第二锁波模块中的第一反射镜交错设置。6.一种半导体激光器的锁波光路，其特征在于，包括光路整形模块和第一锁波模块，所述第一锁波模块包括第一锁波单元、第一激光单元和第一转向单元;所述第一锁波单元包括呈阶梯设置的第一引导芯片和第二引导芯片，所述第一引导芯片所处台阶的垂直高度大于所述第二引导芯片所处台阶高度，所述第一引导芯片经第一VBG锁波器锁波后射出单一波长的第一引导激光，所述第二引导芯片经第二VBG锁波器锁波后射出单一波长的第二引导激光，经准直后的所述第二引导激光射向所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：周少丰，黄良杰，丁亮，欧阳春宝，
申请(专利权)人：深圳市星汉激光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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