一种减少崩边的用于玻璃的激光加工方法技术

本发明专利技术公开了一种减少崩边的用于玻璃的激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)采用第一激光器对玻璃进行钻孔或切割加工，加工后的表面处产生崩边；(2)采用第二激光器对步骤(1)中产生的崩边处进行照射，加热软化玻璃表面，使崩边减小或弥合；所述第二激光器为二氧化碳激光器。本发明专利技术减少了玻璃的崩边数量，减小了崩边的尺寸，从而获得更高的激光玻璃加工质量。璃加工质量。璃加工质量。

【技术实现步骤摘要】
一种减少崩边的用于玻璃的激光加工方法


[0001]本专利技术涉及一种激光加工方法，具体涉及一种用于对玻璃进行钻孔或切割的加工方法。

技术介绍

[0002]玻璃是一种短程有序、长程无序的非晶无机非金属固体，其一般具有透光率高、强度高、抗压强度大、耐磨损等优点，广泛应用在建筑、汽车、精密光学、半导体、消费电子、航空航天等各个方面。但是，其脆性高、硬度大，加工难度较大。
[0003]为了取代传统的玻璃机械加工方法，开发出了激光熔融法、激光划线法、超快激光材料去除法、光丝法、热裂法等一系列激光分离技术。对激光玻璃打孔而言，也发展出单脉冲打孔、脉冲串定点冲击打孔、旋切、螺旋打孔等多种加工方式。因为热应力、多光子吸收、裂片等过程的存在，经过激光加工之后的玻璃广泛存在微裂纹和崩边的情况。例如，就近来得到广泛关注的光丝法而言，其利用高峰值功率飞秒激光在玻璃内部自聚焦成丝，形成光丝通道，此后采用热应力等方法裂片。但是，无论是采用机械或者热应力裂片等方式，其切割分离表面仍然不可避免产生微米级别的崩边，无法满足高端加工需要。
[0004]为解决玻璃崩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减少崩边的用于玻璃的激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：(1) 采用第一激光器对玻璃进行钻孔或切割加工，加工后的表面处产生崩边；(2) 采用第二激光器对步骤(1)中产生的崩边处进行照射，加热软化玻璃表面，使崩边减小或弥合；所述第二激光器为二氧化碳激光器。2.根据权利要求1所述的减少崩边的用于玻璃的激光加工方法，其特征在于：所述第一激光器为短脉冲激光器，其输出脉冲宽度介于10皮秒至50纳秒之间，第一激光器的输出激光波长选自340纳米到360纳米、510纳米到540纳米或1.02到1.08微米。3.根据权利要求1所述的减少崩边的用于玻璃的激光加工方法，其特征在于：采用所述第二激光器对崩边处进行照射时，在崩边尺寸小于2微米时停止。4.根据权利要求1所述的减少崩边的用于玻璃的激光加工方法，其特征在于：第一激光器发出的激光束...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋仕彬，
申请(专利权)人：杭州银湖激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：