信息处理系统、信息处理装置、学习装置、信息处理方法、学习方法以及程序制造方法及图纸

信息处理系统，其具备：存储部，其存储将表示组合物的材料的材料信息、使用所述组合物的规定工艺中的工艺条件与通过所述工艺得到的组合物的性能信息赋予关联的对应信息；性能推定部，其基于输入的所述材料信息、所述工艺条件和所述对应信息，取得所述性能信息；以及输出部，其输出所述性能信息。其输出所述性能信息。其输出所述性能信息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】信息处理系统、信息处理装置、学习装置、信息处理方法、学习方法以及程序


[0001]本专利技术涉及信息处理系统、信息处理装置、学习装置、信息处理方法、学习方法以及程序。
[0002]本申请基于2019年9月11日在日本提出申请的特愿2019－165263号主张优先权，并将其内容引入本文。

技术介绍

[0003]伴随纳米技术的进步，越来越要求光致抗蚀剂、EB(Electron Beam，电子束)抗蚀剂等抗蚀剂的性能提升。因此，开发者通过使用各种各样的材料反复进行实验从而尝试开发新的抗蚀剂(例如参照非专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]非专利文献
[0006]非专利文献1：最新光致抗蚀剂材料开发和工艺最佳化技术(CMC出版(
シーエムシー
出版)，主编：河合晃)

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]然而，材料的备选种类多，使用抗蚀剂的场合也是各种各样，因此开发新抗蚀剂的开发者的负担大。另外，这样的问题不限于抗蚀剂，这是材料的备选多、使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.信息处理系统，其具备：存储部，其存储对应信息，所述对应信息是将表示组合物的材料的材料信息及使用所述组合物的工艺中的工艺条件与通过所述工艺得到的组合物的性能信息赋予关联的信息；性能推定部，其根据输入的所述材料信息、所述工艺条件和所述对应信息取得所述性能信息；以及输出部，其输出所述性能信息。2.根据权利要求1所述的信息处理系统，其中，所述组合物用于对象物的图案化，所述性能信息表示所述组合物用于所述图案化的情况下的性能。3.根据权利要求1或2所述的信息处理系统，其中，所述组合物为抗蚀剂。4.根据权利要求3所述的信息处理系统，其中，所述存储部将第1对应信息和第2对应信息作为所述对应信息进行存储，所述第1对应信息是将所述材料信息及所述工艺条件、与表示所述工艺条件的工艺中的所述抗蚀剂的物性的物性信息赋予关联的信息，所述第2对应信息是将所述材料信息、所述工艺条件及所述物性信息与所述性能信息赋予关联的信息，所述性能推定部基于输入的所述材料信息及所述工艺条件和所述第1对应信息输出所述物性信息，基于输出的该物性信息、所述材料信息及所述工艺条件和所述第2对应信息，取得所述性能信息。5.根据权利要求4所述的信息处理系统，其中，所述第1对应信息是将所述材料信息及所述工艺条件作为解释变量并将所述物性信息作为目标变量的非线性模型。6.根据权利要求4或5所述的信息处理系统，其中，所述第2对应信息由将所述材料信息、所述工艺条件及所述物性信息作为解释变量并将所述性能信息作为目标变量的线性模型表示。7.根据权利要求4至6中任一项所述的信息处理系统，其具备学习部，所述学习部通过基于所述材料信息及工艺条件、和表示该材料信息及该工艺条件的工艺中的所述抗蚀剂的物性的物性信息来进行机器学习，从而生成所述第1对应信息。8.根据权利要求7所述的信息处理系统，其中，所述第2对应信息是通过外推精度比所述学习部生成所述第1对应信息的方法高的方法取得的信息。9.根据权利要求4至8中任一所述的信息处理系统，其中，所述物性信息是表示下述抗蚀剂的物性的信息，该抗蚀剂是在所述工艺条件下被处理之前和/或被处理之后的抗蚀剂并且是所述材料信息所示材料的抗蚀剂。10.根据权利要求3至9中任一项所述的信息处...

【专利技术属性】
技术研发人员：山野仁诗，江口辽平，佐藤真，清水宏明，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：