电致变色器件制造技术

本实用新型专利技术提供一种电致变色器件，所述电致变色器件包含：第一衬底，所述第一衬底具有内表面和外表面；第一电极，所述第一电极设置在所述第一衬底的所述内表面处；第二衬底，所述第二衬底具有内表面和外表面，其中所述第二衬底的所述内表面面向所述第一衬底的所述内表面；第二电极，所述第二电极设置在所述第二衬底的所述内表面处；以及电光介质，所述电光介质设置在所述第一衬底和所述第二衬底的所述内表面之间。所述第一电极包含：金属网格，所述金属网格由金属迹线形成并且在所述金属迹线之间具有开口区域；以及第一透明导电涂层，所述第一透明导电涂层电耦合到所述金属网格并且至少在所述金属迹线之间延伸，以便延伸跨越所述开口区域。越所述开口区域。越所述开口区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电致变色器件


[0001]本技术整体涉及一种电光器件及其制造方法，且更具体地说，涉及一种用于电光器件中且更具体地用于电致变色器件的透明电极的构造。

技术介绍

[0002]现有技术存在已知的电致变色器件。然而，开发改进的电致变色器件一直是本领域的目标。

技术实现思路

[0003]根据本技术的一个方面，提供了一种电致变色器件，所述电致变色器件包括：第一衬底，所述第一衬底具有内表面和外表面；第一电极，所述第一电极设置在所述第一衬底的所述内表面处；第二衬底，所述第二衬底具有内表面和外表面，其中所述第二衬底的所述内表面面向所述第一衬底的所述内表面；第二电极，所述第二电极设置在所述第二衬底的所述内表面处；以及电致变色介质，所述电致变色介质设置在所述第一衬底和所述第二衬底的所述内表面之间。所述第一电极包括：金属网格，所述金属网格由金属迹线形成并且在所述金属迹线之间具有开口区域；以及第一透明导电涂层，所述第一透明导电涂层电耦合到所述金属网格并且至少在所述金属迹线之间延伸，以便延伸跨越所述开口区域。
[0004]根据本技术的另一实施方案，提供了一种电光器件，所述电光器件包括：第一衬底，所述第一衬底具有内表面和外表面；第一电极，所述第一电极设置在所述第一衬底的所述内表面处；第二衬底，所述第二衬底具有内表面和外表面，其中所述第二衬底的所述内表面面向所述第一衬底的所述内表面；第二电极，所述第二电极设置在所述第二衬底的所述内表面处；以及电光介质，所述电光介质设置在所述第一衬底和所述第二衬底的所述内表面之间。所述第一电极包括：金属网格，所述金属网格由金属迹线形成并且在所述金属迹线之间具有开口区域；以及第一透明导电涂层，所述第一透明导电涂层电耦合到所述金属网格并且至少在所述金属迹线之间延伸，以便延伸跨越所述开口区域。
[0005]根据本技术的另一实施方案，提供一种制造用于电光器件的透明电极的方法，所述方法包括：提供衬底；在所述衬底的表面上施加第一透明导电涂层；在所述第一透明导电涂层的顶部上沉积具有多个金属迹线的金属网格；以及在所述第一透明导电涂层和所述金属网格上方施加第二透明导电涂层。
[0006]参考以下说明书、权利要求书和附图，所属领域的技术人员将进一步理解和了解本技术的这些和其他特征、优点和目的。
附图说明
[0007]根据详细描述和附图将更加全面地理解本技术，其中：
[0008]图1是可以结合金属网格电极的电光器件的横截面视图；
[0009]图2是作为厚度的函数的透明导电氧化物层的透射率、FOM和薄层电阻的曲线图；
[0010]图3A是可用于具有金属网格结构和透明导电涂层的图1的电光器件中的透明电极的实例；
[0011]图3B是可用于具有金属网格结构和透明导电涂层的图1的电光器件中的透明电极的实例；
[0012]图3C是可用于具有金属网格结构的图1的电光器件中的透明电极的实例；
[0013]图4是作为覆盖面积的函数的金属网格的透射率和薄层电阻的曲线图；
[0014]图5是在改变覆盖时2欧姆/平方银网格的模拟涂层厚度的透明度与厚度的曲线图；
[0015]图6是具有和不具有抗反射涂层的各种金属的反射光谱的曲线图；
[0016]图7是沿着线VII
‑
VII截取的图3A和图3B中显示的透明电极的一部分的横截面视；并且
[0017]图8A至图8C是制造方法中处于不同构造阶段的图7中显示的透明电极的部分的横截面视图。
具体实施方式
[0018]本技术阐述的实施方案主要在于与电光器件有关的方法步骤和器件部件的组合。因此，设备部件与方法步骤已在适当情况下通过图中的常规符号表示，仅显示与理解本公开的实施方案有关的那些具体细节，以免因对于可受益于本说明书的所属领域的普通技术人员显而易见的细节而模糊了本公开。此外，所述描述和图中的相同数字表示相同元件。
[0019]出于本文中描述的目的，术语“上”、“下”、“右”、“左”、“后”、“前”、“竖直”、“水平”和其派生词将与本技术在图1中的定向有关。除非另有说明，否则术语“前”应指离器件的预期观看者较近的器件表面，而术语“后”应指离器件的预期观看者较远的器件表面。然而，应理解，除了明确指定相反的方向之外，本技术可以采用各种替代定向。还应理解，附图中说明且在下文说明书中所描述的具体器件和过程仅仅是所附权利要求书中定义的专利技术性概念的示例性实施方案。因此，除非权利要求书另有明确叙述，否则与本文中所公开的实施方案有关的具体尺寸和其他物理特性不应被视为限制性的。
[0020]术语“包含(including)”、“包括(comprise)”、“包括(comprising)”或其任何其他变型旨在涵盖非排它的包含物，使得包括一系列元件的过程、方法、物件或设备不仅仅包含那些元件，而且可包含并未明确地列出的或并非此类过程、方法、物件或设备固有的其他元件。前面带有“包括...”的元件并不妨碍包括所述要素的过程、方法、制品或设备中存在额外的相同要素。
[0021]本文所述的实施方案整体涉及一种电光器件。图1显示电光器件10 的结构的实例。电光器件10可包括第一衬底12，该第一衬底具有内表面 12a和外表面12b；第一电极14，该第一电极设置在第一衬底12的内表面 12a处；第二衬底16，该第二衬底具有内表面16a和外表面16b，其中第二衬底16的内表面16a面向第一衬底12的内表面12a；第二电极18，该第二电极设置在第二衬底16的内表面16a处；以及电光介质22，该电光介质设置在第一衬底12的内表面12a与第二衬底16的内表面16a之间。尽管第一电极14和第二电极18两者示出为跨越相应内表面12a和内表面 16a的连续涂层，但是电极14和18中的一者可替代地取决于应
用而图案化。周边密封件20可设置在第一电极14与第二电极18之间，以提供用于容纳电光介质22的密封腔室。
[0022]使用此类电光器件进行成像、显示和感测等通常涉及在某些材料中的光学特性和电场之间的相互作用方式中的信号调制或能量转换。取决于应用，此类调制可以用吸收性、半透明或透明电极14和18来实现，所述电极具有来自x射线、紫外线(UV)、可见光、红外线(IR)到射频(RF) 波等的不同光谱范围的各种导电性。无论是待生成、接收还是调制的电信号或光信号，大的动态范围通常会导致更好的效率、可调谐性或灵敏度。金属、半导体、透明导电氧化物(TCO)和介电材料的光学特性随透射、反射和吸收的光谱范围而变化。举例来说，金属在可见光和近红外(NIR) 光谱中是反射的。相比之下，半导体对于IR是透明的并且在可见光谱中是略微反射的，并且介电材料对于可见光和NIR光是透明的。半导体和介电的导电性相对较差，因此限制其用作电极。与导电性更强的金属相比，由于其可见光的高透明度和可接受的导电性，透明导电氧化物(TCO)是有吸引力的材料中的一者。TCO与液晶(LC)一起广泛用于显示行业。由于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电致变色器件，其特征在于，所述电致变色器件包括：第一衬底，所述第一衬底具有内表面和外表面；第一电极，所述第一电极设置在所述第一衬底的所述内表面处；第二衬底，所述第二衬底具有内表面和外表面，其中所述第二衬底的所述内表面面向所述第一衬底的所述内表面；第二电极，所述第二电极设置在所述第二衬底的所述内表面处；以及电致变色介质，所述电致变色介质设置在所述第一衬底和所述第二衬底的所述内表面之间，其中所述第一电极包括：第一金属网格，所述第一金属网格由第一金属迹线形成并且在所述第一金属迹线之间具有第一开口区域；第一透明导电涂层，所述第一透明导电涂层电耦合到所述第一金属网格并且至少在所述第一金属迹线之间延伸，以便延伸跨越所述第一开口区域；以及第二透明导电涂层，所述第二透明导电涂层定位在所述第一金属网格的与所述第一透明导电涂层相对的侧上，其中所述第一透明导电涂层和所述第二透明导电涂层是相同的。2.如权利要求1所述的电致变色器件，其特征在于，所述第一金属迹线是金属材料的堆叠。3.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：高健，G，
申请(专利权)人：金泰克斯公司，
类型：新型
国别省市：