本申请实施例提供一种高精度传输装置，所述传输装置包括：载物台、第一齿轮、第二齿轮和导轨，其中，所述第一齿轮设置于所述载物台与载物面相对的一侧，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮的旋转中心与所述第一齿轮的旋转中心之间的距离为第一预设距离，所述第二齿轮与所述导轨贴合设置，所述第二齿轮用于沿所述导轨运动以进行物体传输，所述第二齿轮在所述导轨上运动时，用于在所述导轨出现凸台时，所述第二齿轮转动以使得所述第一齿轮运动，所述第一齿轮的运动距离小于所述凸台的高度，能够降低传输装置运行时的抖动，从而提升传输装置的运行精度。传输装置的运行精度。传输装置的运行精度。
【技术实现步骤摘要】
高精度传输装置
[0001]本申请涉及机械结构
，具体涉及一种高精度传输装置。
技术介绍
[0002]导轨滑块系统在精密设备中广泛应用，随着科技的发展，元件制造越来越精细，如芯片制造已经在冲击1nm制程，对设备精度要求越来越高，设备零件加工精度越来越高。现有的导轨在运行时，由于导轨不会是绝对的平整，从而会导致导轨上的载物台在运动时会出现较大的抖动的情况，从而导致了设备的运行精度降低。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种高精度传输装置，能够降低传输装置运行时的抖动，从而提升传输装置的运行精度。
[0004]本申请实施例的第一方面提供了一种高精度传输装置，所述传输装置包括：载物台、第一齿轮、第二齿轮和导轨，其中，
[0005]所述第一齿轮设置于所述载物台与载物面相对的一侧，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮的旋转中心与所述第一齿轮的旋转中心之间的距离为第一预设距离，所述第二齿轮与所述导轨贴合设置，所述第二齿轮用于沿所述导轨运动以进行物体传输；
[0006]所述第二齿轮在所述导轨上运动时，用于在所述导轨出现凸台时，所述第二齿轮转动以使得所述第一齿轮运动，所述第一齿轮的运动距离小于所述凸台的高度。
[0007]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述第一齿轮的半径小于所述第二齿轮的半径。
[0008]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述第二齿轮包括半圆形齿轮、第一子轮和第二子轮，所述第一子轮设置于所述半圆形齿轮的第一端，所述第二子轮设置于所述半圆形齿轮的第二端，所述第一子轮和所述第二子轮用于承载所述第二齿轮在所述导轨上运动。
[0009]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述第一子轮和所述第二子轮的半径相同，所述第一子轮和所述第二子轮的半径小于所述第一齿轮的半径。
[0010]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述第二齿轮的旋转中心平行于所述导轨的下侧为凹面。
[0011]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述第二齿轮包括半圆形齿轮和K个第三子轮，所述K个第三子轮设置于所述半圆形齿轮上靠近所述导轨的一侧，所述K个第三子轮用于承载所述第二齿轮在所述导轨上运动。
[0012]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述K个第三子轮的半径相同。
[0013]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述第一齿轮和第二齿轮的材质相同。
[0014]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述传输装置还包括第三齿轮，所述第
三齿轮设置于所述载物台与载物面相对的一侧，所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮的旋转中心与所述第三齿轮的旋转中心之间的距离为第一预设距离，所述第一齿轮与所述第三齿轮相邻设置。
[0015]结合第一方面，在一个可能的实现方式中，所述传输装置还包括第四齿轮，所述第四齿轮设置于所述第一齿轮和所述第二齿轮之间，所述第四齿轮与所述第一齿轮啮合，所述第四齿轮与所述第二齿轮啮合。
[0016]实施本申请实施例，至少具有如下有益效果：
[0017]高精度传输装置包括载物台、第一齿轮、第二齿轮和导轨，其中，所述第一齿轮设置于所述载物台与载物面相对的一侧，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮的旋转中心与所述第一齿轮的旋转中心之间的距离为第一预设距离，所述第二齿轮与所述导轨贴合设置，所述第二齿轮用于沿所述导轨运动以进行物体传输，所述第二齿轮在所述导轨上运动时，用于在所述导轨出现凸台时，所述第二齿轮转动以使得所述第一齿轮运动，所述第一齿轮的运动距离小于所述凸台的高度。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本申请实施例提供了一种高精度传输装置的结构示意图；
[0020]图2为本申请实施例提供了另一种高精度传输装置的结构示意图；
[0021]图3为本申请实施例提供了另一种高精度传输装置的结构示意图；
[0022]图4A为本申请实施例提供了另一种高精度传输装置的结构示意图；
[0023]图4B为本申请实施例提供了另一种高精度传输装置的结构示意图；
[0024]图5为本申请实施例提供了另一种高精度传输装置的结构示意图；
[0025]图6为本申请实施例提供了另一种高精度传输装置的结构示意图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0027]本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0028]在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相
同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0029]请参阅图1，图1为本申请实施例提供了一种高精度传输装置的结构示意图。如图1所示，所述传输装置包括：载物台10、第一齿轮20、第二齿轮30和导轨40，其中，
[0030]所述第一齿轮20设置于所述载物台10与载物面相对的一侧，所述第一齿轮20与所述第二齿轮30啮合，所述第二齿轮30的旋转中心与所述第一齿轮20的旋转中心之间的距离为第一预设距离，所述第二齿轮30与所述导轨40贴合设置，所述第二齿轮30用于沿所述导轨40运动以进行物体传输；
[0031]所述第二齿轮30在所述导轨上运动时，用于在所述导轨40出现凸台时，所述第二齿30轮转动以使得所述第一齿20轮运动，所述第一齿轮20的运动距离小于所述凸台的高度。
[0032]其中，在导轨40出现凸台时，第二齿轮30和第一齿轮20的运动示意图如图2所示。第二齿轮30逆时针旋转，第一齿轮20向上移动，第一齿轮20向上移动则带动载物台10向上移动。第一预设距离通过经验值或历史数据设定。
[0033]本示例中，高精度传输装置包括载物台、第一齿轮、第二齿轮和导轨，其中，所述第一齿轮设置于所述载本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高精度传输装置，其特征在于，所述传输装置包括：载物台、第一齿轮、第二齿轮和导轨，其中，所述第一齿轮设置于所述载物台与载物面相对的一侧，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮的旋转中心与所述第一齿轮的旋转中心之间的距离为第一预设距离，所述第二齿轮与所述导轨贴合设置，所述第二齿轮用于沿所述导轨运动以进行物体传输；所述第二齿轮在所述导轨上运动时，用于在所述导轨出现凸台时，所述第二齿轮转动以使得所述第一齿轮运动，所述第一齿轮的运动距离小于所述凸台的高度。2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述第一齿轮的半径小于所述第二齿轮的半径。3.根据权利要求1或2所述的传输装置，其特征在于，所述第二齿轮包括半圆形齿轮、第一子轮和第二子轮，所述第一子轮设置于所述半圆形齿轮的第一端，所述第二子轮设置于所述半圆形齿轮的第二端，所述第一子轮和所述第二子轮用于承载所述第二齿轮在所述导轨上运动。4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述第一子轮和所述第二子轮的半径相同，所述第一子轮和所述第二子轮的半径小于所述第一齿轮的半径。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：王培峰，王双玲，
申请(专利权)人：茂硕电源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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