一种具有清洁工件表面的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有清洁工件表面的真空镀膜机，包括镀膜设备，所述镀膜设备内设置有清洁结构，本实用新型专利技术涉及真空镀膜设备技术领域，本实用新型专利技术通过清洁结构内风机、进风管、三通管、吸尘管、吸头以及阀门的设置可以将支撑架上的工件的灰尘进行吸附清理，防止工件表面的灰尘影响镀膜后的质量，通过电机以及转杆的设置可以带动支撑架上的工件进行转动，从而使得清洁结构对工件进行全面的吸附清理，在灰尘清理完毕后，可以关闭阀门，防止外界空气进入镀膜设备内，实现完全密封，通过净化箱内过滤网的设置可以对灰尘进行吸附清理，防止污染环境。污染环境。污染环境。

【技术实现步骤摘要】
一种具有清洁工件表面的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，具体领域为一种具有清洁工件表面的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。
[0004]蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构
‑
迷走结构
‑
层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0005]目前，现有的真空镀膜机在镀膜过程中不能对工件进行清洁，工件表面的灰尘会影响工件镀膜以后的质量，为此，提出一种具有清洁工件表面的真空镀膜机。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有清洁工件表面的真空镀膜机，包括镀膜设备(1)，其特征在于：所述镀膜设备(1)内设置有清洁结构；所述清洁结构包括风机(2)、进风管(3)、三通管(4)、两个吸尘管(5)、多个吸头(6)以及阀门(7)；所述风机(2)位于镀膜设备(1)外左侧，所述进风管(3)的一端与风机(2)的进风口固定连接，所述三通管(4)其中一个的进风口与进风管(3)的另一端固定连接，两个所述吸尘管(5)固定贯穿于镀膜设备(1)左侧，两个所述吸尘管(5)的一端与三通管(4)的另外两个进风口固定连接，多个所述吸头(6)位于镀膜设备(1)内，且多个所述吸头(6)与两个所述吸尘管(5)固定连接，多个所述吸头(6)与两个所述吸尘管(5)相连通，所述进风管(3)上固定套装有阀门(7)。2.根据权利要求1所述的一种具有清洁工件表面的真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜设备(1)外顶部固定设置有电机(8)，所述电机(8)的驱动端活动贯穿于镀膜设备(1)顶部，所述电机(8)的驱动端固...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙雪霞，
申请(专利权)人：威海鑫晟渔具材料有限公司，
类型：新型
国别省市：