本实用新型专利技术涉及一种含TMAH显影废液的处理装置。包括依次布置的废液储槽、反应装置、中和装置和固液分离装置；所述的废液储槽连接于反应装置的上部，反应装置的上部还连接有第一加药装置，所述的第一加药装置包括硫酸进口槽、硫酸亚铁进口槽和过硫酸钾进口槽，反应装置的下部与中和装置的上部连接，中和装置的上部还连接有第二加药装置，所述的第二加药装置包括氢氧化钙进口槽和氢氧化钠进口槽，中和装置的下部连接固液分离装置，所述的反应装置和中和装置的上部还连接有气体处理装置；所述的气体处理装置包括依次布置的硫酸吸收器、氢氧化钠吸收器、活性炭吸收器、真空泵；反应装置的反应釜壁设置导热油循环装置。反应釜壁设置导热油循环装置。反应釜壁设置导热油循环装置。
【技术实现步骤摘要】
一种含TMAH显影废液的处理装置
[0001]本技术属于危险废物处理
，具体涉及一种含TMAH显影废液的处理装置。
技术介绍
[0002]TMAH(四甲基氢氧化铵)广泛应用于电子领域中，如印刷电路板显影剂以及制作芯片过程中的清洗剂[主要成分为TMAH(四甲基氢氧化铵)：1.0
‑
3.0％，表面活性剂：2.2
‑
3.0％，氨水：0.5
‑
1.0％，氢氧化钾：0.5
‑
1.0％]。四甲基氢氧化铵具有强碱性，腐蚀性强。对皮肤、眼睛和粘膜有强刺激性和腐蚀性。吸入、可引起喉、支气管炎症、痉挛、化学性肺炎及肺水肿等。加热到沸点时易分解成三甲胺、二甲醚(90％)和甲醇(5％)。目前TMAH显影废液的处理主要采用蒸发法、电解法、生物降解法等及其配套的装置，实际应用成本偏高，因此，选择安全高效的装置及方法处理此类废液势在必行。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种含TMAH显影废液的处理装置，实现TMAH显影废液的安全处理，高效且安全。
[0004]本技术的技术方案：一种含TMAH显影废液的处理装置，包括依次布置的废液储槽、反应装置、中和装置和固液分离装置；
[0005]所述的废液储槽连接于反应装置的上部，反应装置的上部还连接有第一加药装置，所述的第一加药装置包括硫酸进口槽、硫酸亚铁进口槽和过硫酸钾进口槽，反应装置的下部与中和装置的上部连接，中和装置的上部还连接有第二加药装置，所述的第二加药装置包括氢氧化钙进口槽和氢氧化钠进口槽，中和装置的下部连接固液分离装置，所述的反应装置和中和装置的上部还连接有气体处理装置；所述的气体处理装置包括依次布置的硫酸吸收器、氢氧化钠吸收器、活性炭吸收器、真空泵；
[0006]反应装置的反应釜壁设置导热油循环装置；
[0007]中和装置的反应釜壁设置冷却水循环装置。
[0008]进一步的，所述的导热油循环装置包括自反应装置中部外壁至其下部外壁设置的导热油循环腔，导热油循环腔的侧壁设置导热油进口，导热油循环腔的底部设置导热油出口。
[0009]再进一步的，所述的反应装置的反应釜上还设置有加热棒、温度计和pH计。
[0010]再进一步的，所述的加热棒接于所述的导热油循环腔上。
[0011]再进一步的，所述的加热棒对称设置有多个。
[0012]再进一步的，所述的冷却水循环装置包括自中和装置中部外壁至其下部外壁设置的冷却水循环腔，冷却水循环腔的侧壁设置冷却液进口，冷却水循环腔的底部设置冷却液出口。
[0013]再进一步的，所述的废液储槽的输出端设置第一抽泵，第一抽泵的输出端与反应
装置的上部连接。
[0014]再进一步的，反应装置底部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第二抽泵，第二抽泵的输出端与中和装置的上部连接，中和装置的下部与固液分离装置之间设置第三抽泵。
[0015]本技术的技术效果：本技术提供一种能针对含TMAH显影废液的安全处理装置，通过控制体系酸碱度、温度和氧化体系，经多级反应(酸化、催化氧化、中和)工艺实现TMAH显影废液的安全处理。本技术技术采用硫酸溶液调节废液pH至酸性，采用过硫酸钾+硫酸亚铁反应体系催化氧化TMAH显影废液，同时降解废液COD指标含量，最后使用氢氧化钙和氢氧化钠调节体系pH至弱碱性，反应全程对体系的三废进行有效的收集和处理，以达到处置含TMAH显影废液时操作环境安全的一种组合式工艺装置。
附图说明
[0016]图1为本技术的装置图。
具体实施方式
[0017]参照附图，本技术提供一种能针对含TMAH显影废液的安全处理装置，通过控制体系酸碱度、温度和氧化体系，经多级反应(酸化、催化氧化、中和)工艺实现TMAH显影废液的安全处理。本技术技术采用硫酸溶液调节废液pH至酸性，采用过硫酸钾+硫酸亚铁反应体系催化氧化TMAH显影废液，同时降解废液COD指标含量，最后使用氢氧化钙和氢氧化钠调节体系pH至弱碱性，反应全程对体系的三废进行有效的收集和处理，以达到处置含TMAH显影废液时操作环境安全的一种组合式工艺装置。
[0018]为解决上述问题，本技术采用如下技术方案—处置装置：
[0019]一种TMAH显影废液处置装置，其特征在于：包括依次布置的废液储槽1、反应装置2、中和装置3、固液分离装置4。
[0020]所述的废液储槽1连接于反应装置2的上部，反应装置2的上部还连接有硫酸进口槽5a、硫酸亚铁进口槽5b和过硫酸钾进口槽5c，反应装置2的下部与中和装置3的上部连接，中和装置3的上部还连接有氢氧化钙进口槽6a和氢氧化钠进口槽6b，中和装置3的下部连接固液分离装置4，所述的反应装置2和中和装置3的上部还连接有气体处理装置7；所述的气体处理装置7包括依次布置的硫酸吸收器7a、氢氧化钠吸收器7b、活性炭吸收器7c、真空泵7d；
[0021]反应装置2的反应釜壁设置导热油循环装置2a；
[0022]中和装置3的反应釜壁设置冷却水循环装置3a。
[0023]进一步的，所述的导热油循环装置2a包括自反应装置2中部外壁至其下部外壁设置的导热油循环腔，导热油循环腔的侧壁设置导热油进口，导热油循环腔的底部设置导热油出口。
[0024]进一步的，所述的反应装置2的反应釜上还设置有加热棒2b、温度计和pH计。
[0025]再进一步的，所述的加热棒2b接于所述的导热油循环腔上。
[0026]进一步优选的，所述的加热棒2b对称设置有多个。
[0027]进一步的，所述的冷却水循环装置3a包括自中和装置3中部外壁至其下部外壁设
置的冷却水循环腔，冷却水循环腔的侧壁设置冷却液进口，冷却水循环腔的底部设置冷却液出口。
[0028]再进一步的，所述的废液储槽1的输出端设置第一抽泵8a，第一抽泵8a的输出端与反应装置2的上部连接。
[0029]再进一步的，反应装置2底部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第二抽泵8b，第二抽泵8b的输出端与中和装置3的上部连接，中和装置3的下部与固液分离装置4之间设置第三抽泵8c。
[0030]再进一步的，固液分离装置4的下位设置生化处理装置9。
[0031]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案—处置工艺：
[0032]处置方法原理：以含TMAH显影废液(pH：9.0
‑
11.0，总氮：1000～4000mg/L，COD:20000
‑
40000mg/L)作为主要处置对象，首先采用硫酸调节pH至1.0
‑
2.0，调节完毕后再使用硫酸亚铁催化过硫酸钾形成
·
SO4‑
氧化降解废液中的四甲基氢氧化铵及COD指标，并开启导热油加热棒2b调节体系温度至65℃，进一步催化过硫酸钾形成
·
SO4本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种含TMAH显影废液的处理装置，其特征在于：包括依次布置的废液储槽(1)、反应装置(2)、中和装置(3)和固液分离装置(4)；所述的废液储槽(1)连接于反应装置(2)的上部，反应装置(2)的上部还连接有第一加药装置(5)，所述的第一加药装置(5)包括硫酸进口槽(5a)、硫酸亚铁进口槽(5b)和过硫酸钾进口槽(5c)，反应装置(2)的下部与中和装置(3)的上部连接，中和装置(3)的上部还连接有第二加药装置(6)，所述的第二加药装置(6)包括氢氧化钙进口槽(6a)和氢氧化钠进口槽(6b)，中和装置(3)的下部连接固液分离装置(4)，所述的反应装置(2)和中和装置(3)的上部还连接有气体处理装置(7)；所述的气体处理装置(7)包括依次布置的硫酸吸收器(7a)、氢氧化钠吸收器(7b)、活性炭吸收器(7c)、真空泵(7d)；反应装置(2)的反应釜壁设置导热油循环装置(2a)；中和装置(3)的反应釜壁设置冷却水循环装置(3a)。2.根据权利要求1所述的一种含TMAH显影废液的处理装置，其特征在于：所述的导热油循环装置(2a)包括自反应装置(2)中部外壁至其下部外壁设置的导热油循环腔，导热油循环腔的侧壁设置导热油进口，导热油循环腔的底部设置导热油出口...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振宇，郭鹏飞，余端，胡长江，朱海杰，熊鑫，
申请(专利权)人：安徽浩悦环境科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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