一种CIGS基体均匀加热装置及其加热控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种CIGS基体均匀加热装置及其加热控制方法，CIGS基体均匀加热装置包括有从前往后顺次连通的进片腔、升温腔、匀温腔、工艺腔、传送腔和出片腔，设置于升温腔内的腔盖加热升温装置和底部加热升温装置，设置于工艺腔内的底部加装装置，两个分别设置于匀温腔和传送腔内的高温计，以及主控器；腔盖加热升温装置的可控硅加热控制器、底部加热升温装置的可控硅加热控制器、底部加装装置的可控硅加热控制器、两个高温计均与主控器连接。本发明专利技术保证CIGS基体实现高温磁控溅射沉积，且保证CIGS基体加热温度的均匀性。CIGS基体加热温度的均匀性。CIGS基体加热温度的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种CIGS基体均匀加热装置及其加热控制方法


[0001]本专利技术涉及CIGS基体制造领域，具体是一种CIGS基体均匀加热装置及其加热控制方法。

技术介绍

[0002]随着全球能源形势趋紧，太阳能光伏发电作为一种可持续的能源替代方式，近年来得到迅速发展，在一些发达国家，如美国、德国、日本和西班牙等，得到了大范围的推广和应用。
[0003]铜铟硒太阳能薄膜电池是在玻璃或其它廉价衬底上沉积若干层金属化合物半导体薄膜，薄膜总厚度大约2
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3毫米，利用太阳光发电。铜铟硒电池具有成本低，性能稳定，抗辐射能力强等特性，光电转换效率目前是各种薄膜太阳电池之首。
[0004]铜铟镓硒(CIGS)电池的制作工艺中，窗口层AZO导电层，作为接受入射光的第一个膜层，需要较高的透光性及导电性，而如何确保这一膜层的性能，高温磁控溅射沉积技术是当前适应大规模生产的理想手段。而在实际应用中，现有的加热系统很不稳定性，尤其是大面积芯片加热系统，其控制难度高、加热丝之间干扰大，所以磁控溅射沉积操作中会舍弃加热系统，采用常温溅射，但是这样会致使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CIGS基体均匀加热装置，其特征在于：包括有从前往后顺次连通的进片腔、升温腔、匀温腔、工艺腔、传送腔和出片腔，设置于升温腔内的腔盖加热升温装置和底部加热升温装置，设置于工艺腔内的底部加装装置，两个分别设置于匀温腔和传送腔内的高温计，以及主控器；进片腔、升温腔、匀温腔、工艺腔、传送腔和出片腔内均设置有CIGS基体输送辊道且相互拼接；所述的腔盖加热升温装置设置于升温腔的腔盖内，腔盖加热升温装置包括有多个蛇形加热管和两个辅助加热丝，多个蛇形加热管均位于同一水平高度平铺设置，多个蛇形加热管位于两个辅助加热丝之间，两个辅助加热丝分别邻近于进片腔和匀温腔，每个辅助加热丝均为弹簧加热丝，且每个辅助加热丝均分为三段，包括有中部和两个端部，中部的长度是端部长度的两倍，端部加热功率是中部加热功率的两倍；所述的升温腔内的底部加热升温装置和工艺腔内的底部加装装置均包括有多个弹簧加热丝，每个弹簧加热丝设置于CIGS基体输送辊道相邻两个输送辊之间；所述的腔盖加热升温装置的可控硅加热控制器、底部加热升温装置的可控硅加热控制器、底部加装装置的可控硅加热控制器、两个高温计均与主控器连接。2.根据权利要求1所述的一种CIGS基体均匀加热装置，其特征在于：所述的升温腔内的CIGS基体输送辊为双向往复振荡式输送辊，升温腔内设置有两个分别朝向双向往复振荡式输送辊前端和后端的位置传感器，双向往复振荡式输送辊的驱动控制器、两个位置传感器均为主控器连接。3.根据权利要求1所述的一种CIGS基体均匀加热装置，其特征在于：所述的多个蛇形加热管均包括有两个U形槽口朝向一致U形加热管和弧形加热管，两个U形加热管之间连接有弧形加热管，使得两个U形加热管之间形成朝向相反的U形槽口结构。4.根据权利要求1所述的一种CIGS基体均匀加热装置，其特征在于：所述的匀温腔和传送腔内的高温计均设置于邻近于工艺腔的位置。5.根据权利要求1所述的一种CIGS基体均匀加热装置，其特征在于：所述的底部加热升温装置和底部加装装置均包括有均温罩壳，均温罩壳为顶端开口的矩形箱体结构，每个弹簧加热丝均设置于对应的均温...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，刘林，朱登华，蒋继文，贺琦琦，张威，
申请(专利权)人：凯盛光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：