一种高频感应辅助加热电化学沉积装置制造方法及图纸

技术编号:32743369 阅读:13 留言:0更新日期:2022-03-20 08:50
一种高频感应辅助加热电化学沉积装置。本实用新型专利技术为了解决现有的电化学沉积涂层的膜基结合力差的问题,快速加热基体表面初始涂层,实现涂层与基体之间冶金结合。本实用新型专利技术包括电化学沉积电源、阴极工件、阳极板、工件连接杆、阳极连接杆、Y轴丝杠、X轴丝杠、高频电源、镀液、水冷铜管、保护气体箱、电化学沉积槽、超声波清洗机等,所述水冷铜管位于保护气体箱内。本实用新型专利技术属于表面工程改性领域。本实用新型专利技术属于表面工程改性领域。本实用新型专利技术属于表面工程改性领域。

【技术实现步骤摘要】
一种高频感应辅助加热电化学沉积装置


[0001]本技术涉及一种高频感应辅助加热电化学沉积装置,属于表面工程改性领域。

技术介绍

[0002]结构件的失效形式之一是表面损伤,表面工程是赋予材料表面功能化并提高它的使役性能的重要工艺。表面工程技术方法较多,包括:磁控溅射、多弧离子镀等物理气相沉积、化学气相沉积、化学沉积、电化学沉积等。
[0003]其中,电化学沉积方法是利用电解的方法将经过处理后的金属基体放入电解质溶液(水溶液、非水溶液或熔盐)中,在直流电的作用下,电解质溶液中的金属阳离子运动至基体表面并且被还原沉积涂层,其是一种电化学过程,它具有工艺简单、可重复、成本低等优势,在工业领域获得了广泛应用。
[0004]但是,由于电化学沉积方法的膜基结合过程是物理结合,因此该方法的膜基结合力差而限制了其在高性能涂层领域的应用。

技术实现思路

[0005]针对已有电化学沉积涂层的膜基结合力差的问题,本技术专利提供一种高频感应辅助加热电化学沉积装置。本技术专利的电化学沉积工艺具有膜基结合力高、工艺稳定及成本低等特点。
[0006]本技术为解决上述问题采取的技术方案是:
[0007]本技术公开了一种高频感应辅助加热电化学沉积装置,本技术包括电化学沉积电源1、阴极工件2、阳极板3、工件连接杆4、阳极连接杆5、Y轴丝杠6、X轴丝杠 7、高频电源8、镀液9、水冷铜管10、保护气体箱11、氩气保护气体12、电化学沉积槽 13、超声波清洗机14、气体输入接头15,所述阴极工件2、阳极板3和镀液9位于电化学沉积槽13内,阴极工件2和阳极板3浸泡在镀液9内,阴极工件2可拆卸连接在工件连接杆4上,工件连接杆4可拆卸固定在Y轴丝杠6上,阳极板3可拆卸连接在阳极连接杆5,阳极连接杆5可拆卸固定在电化学沉积槽13侧壁上,Y轴丝杠6和X轴丝杠7 位于高频电源8、超声波清洗机14和电化学沉积槽13的上面,Y轴丝杠6固定在X轴丝杠7上,阴极工件2通过Y轴丝杠6和X轴丝杠7分别实现垂直运动和水平运动,水冷铜管10可拆卸连接在高频电源8,水冷铜管10位于保护气体箱11内,氩气保护气体12 通过气体输入接头15进入保护气体箱11,阴极工件2在水冷铜管10内实现垂直往复运动,超声波清洗机14位于高频电源8和电化学沉积槽13之间,超声波清洗机14实现阴极工件2超声清洗功能,所述电化学沉积电源1的阴极和阳极分别连接阴极工件2和阳极板3。
[0008]进一步的是,所述电化学沉积电源1的输出电流0.1

10A。
[0009]进一步的是,所述高频电源8输出功率300W

1500W、输出电流频率100KHz

300KHz。
[0010]进一步的是,所述水冷铜管10的内径50mm

200mm。
[0011]本技术的有益效果是:本技术提出了一种高频感应辅助加热电化学沉积装置,阴极工件表面电化学沉积的一定厚度的初始涂层经过高频感应热处理,实现初始涂层与基体之间冶金结合,提高电化学沉积涂层的膜基结合力,满足电化学沉积高膜基结合力的科研和工业需求。
附图说明
[0012]图1和图2是本技术的结构示意图。
[0013]图中涉及到的部件名称及标号如下:
[0014]电化学沉积电源1、阴极工件2、阳极板3、工件连接杆4、阳极连接杆5、Y轴丝杠 6、X轴丝杠7、高频电源8、镀液9、水冷铜管10、保护气体箱11、氩气保护气体12、电化学沉积槽13、超声波清洗机14、气体输入接头15。
具体实施方式
[0015]具体实施方式一:结合图1和图2说明本实施方式,本实施方式所述一种高频感应辅助加热电化学沉积装置包括电化学沉积电源1、阴极工件2、阳极板3、工件连接杆4、阳极连接杆5、Y轴丝杠6、X轴丝杠7、高频电源8、镀液9、水冷铜管10、保护气体箱 11、氩气保护气体12、电化学沉积槽13、超声波清洗机14、气体输入接头15,
[0016]所述阴极工件2、阳极板3和镀液9位于电化学沉积槽13内,阴极工件2和阳极板3 浸泡在镀液9内,阴极工件2可拆卸连接在工件连接杆4上,工件连接杆4可拆卸固定在 Y轴丝杠6上,阳极板3可拆卸连接在阳极连接杆5,阳极连接杆5可拆卸固定在电化学沉积槽13侧壁上,Y轴丝杠6和X轴丝杠7位于高频电源8、超声波清洗机14和电化学沉积槽13的上面,Y轴丝杠6固定在X轴丝杠7上,阴极工件2通过Y轴丝杠6和X 轴丝杠7分别实现垂直运动和水平运动,水冷铜管10可拆卸连接在高频电源8,水冷铜管10位于保护气体箱11内,氩气保护气体12通过气体输入接头15进入保护气体箱11,阴极工件2在水冷铜管10内实现垂直往复运动,超声波清洗机14位于高频电源8和电化学沉积槽13之间,超声波清洗机14实现阴极工件2超声清洗功能,所述电化学沉积电源1的阴极和阳极分别连接阴极工件2和阳极板3。
[0017]具体实施方式二:结合图1和图2说明本实施方式,本实施方式所述一种高频感应辅助加热电化学沉积装置的电化学沉积电源1的输出电流0.1

10A。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。
[0018]具体实施方式三:结合图1和图2说明本实施方式,本实施方式所述一种高频感应辅助加热电化学沉积装置的高频电源8输出功率300W

1500W、输出电流频率 100KHz

300KHz。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。
[0019]具体实施方式四:结合图1和图2说明本实施方式,本实施方式所述一种高频感应辅助加热电化学沉积装置的水冷铜管10的内径50mm

200mm。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。
[0020]本技术工作过程如下:
[0021]步骤一、将阴极工件2、阳极板3和一定成分的镀液9置于电化学沉积槽13内;
[0022]步骤二、将电化学沉积电源1的阴极和阳极分别连接阴极工件2和阳极板3,启动电化学沉积电源1,沉积一定厚度的涂层;
[0023]步骤三、关闭电化学沉积电源1,通过Y轴丝杠6提升阴极工件2脱离电化学沉积槽 13,通过X轴丝杠7将阴极工件2移动至超声波清洗机14内并超声清洗工件表面的残余镀液;
[0024]步骤四、通过X轴丝杠7将阴极工件2移动至水冷铜管10,将氩气保护气体12注入保护气体箱11,启动高频电源8对阴极工件2表层加热;
[0025]步骤五、关闭高频电源8,通过Y轴丝杠6和X轴丝杠7将阴极工件2移动至电化学沉积槽13,启动电化学沉积电源1,在阴极工件2表层获得膜基结合强度良好的涂层。
[0026]以上所述,仅是本技术的较佳实施例而已,并非对本技术作任何形式上的限制,虽然本技术已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本技术,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本技术技术方案范围内,当可利用本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高频感应辅助加热电化学沉积装置,其特征在于:所述一种高频感应辅助加热电化学沉积装置包括电化学沉积电源(1)、阴极工件(2)、阳极板(3)、工件连接杆(4)、阳极连接杆(5)、Y轴丝杠(6)、X轴丝杠(7)、高频电源(8)、镀液(9)、水冷铜管(10)、保护气体箱(11)、氩气保护气体(12)、电化学沉积槽(13)、超声波清洗机(14)、气体输入接头(15);所述阴极工件(2)、阳极板(3)和镀液(9)位于电化学沉积槽(13)内,阴极工件(2)和阳极板(3)浸泡在镀液(9)内,阴极工件(2)可拆卸连接在工件连接杆(4)上,工件连接杆(4)可拆卸固定在Y轴丝杠(6)上,阳极板(3)可拆卸连接在阳极连接杆(5),阳极连接杆(5)可拆卸固定在电化学沉积槽(13)侧壁上,Y轴丝杠(6)和X轴丝杠(7)位于高频电源(8)、超声波清洗机(14)和电化学沉积槽(13)的上面,Y轴丝杠(6)固定在X轴丝杠(7)上,阴极工件(2)通过Y轴丝杠(6)和X轴丝杠(7)分别实现垂直运动和水平运动,水冷铜管...

【专利技术属性】
技术研发人员:许建平陈晶李青川潘岩
申请(专利权)人:黑龙江省海振科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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